【技术实现步骤摘要】
一种横向绝缘栅双极型晶体管及制作方法
[0001]本专利技术涉及晶体管
,具体而言,涉及一种横向绝缘栅双极型晶体管及制作方法。
技术介绍
[0002]横向绝缘栅双极晶体管具有电压控制、低导通电阻和高输入阻抗等优点,且兼具纵向分立器件所没有的可集成性和与集成电路工艺兼容,是智能功率集成电路中典型的核心器件。横向功率半导体器件因其有着和集成电路工艺良好兼容的便利获得了功率集成电路领域的普遍青睐。
[0003]近年来,随着SOI基SPIC的快速发展,其高速、高集成度、高稳定性、抗辐照和良好的隔离性等优点,使得SOI
‑
LIGBT越来越受到推崇和关注,其中,SOI
‑
LIGBT为横向绝缘栅双极型晶体管。虽然基于电导调制效应的双极载流子输运机制可使SOI
‑
LIGBT具有低导通压降和大电流处理能力,但由于器件关断时漂移区中存储的大量非平衡载流子,导致SOI
‑
LIGBT器件有着较长的关断拖尾现象,增加了器件的开关损耗,限制了SOI
‑
LIGBT的开关频率和应用范围。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中的上述不足,本专利技术提供的一种横向绝缘栅双极型晶体管及制作方法解决了现有横向绝缘栅双极型晶体管存在较大开关损耗的问题。
[0005]为了达到上述专利技术目的,本专利技术采用的技术方案为:一种横向绝缘栅双极型晶体管,包括:晶体管主体单元、隔离保护单元、第一电极、第二电极和第三电极;
[000 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,包括:晶体管主体单元、隔离保护单元、第一电极(101)、第二电极(102)和第三电极(103);所述晶体管主体单元与隔离保护单元接触;所述晶体管主体单元和隔离保护单元上分布设置有第一电极(101)、第二电极(102)和第三电极(103)。2.根据权利要求1所述的横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述隔离保护单元包括:P型硅衬底(209)、深n阱区(206)、浅槽隔离区(210)、第一空穴注入区(208)和第一电子注入区(207);所述深n阱区(206)设置在P型硅衬底(209)上;所述第一空穴注入区(208)设置在P型硅衬底(209)上;所述第一电子注入区(207)设置在深n阱区(206)上;所述浅槽隔离区(210)分布设置在隔离保护单元和晶体管主体单元上。3.根据权利要求2所述的横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述晶体管主体单元包括:空穴注入半导体深阱区(203)、电子注入半导体深阱区(204)、电子注入半导体漂移区(205)、电子注入发射区(201)、第二空穴注入区(202)、第三空穴注入区(213)和第二电子注入区(214);所述空穴注入半导体深阱区(203)、电子注入半导体漂移区(205)和电子注入半导体深阱区(204)设置在深n阱区(206)中;所述电子注入半导体漂移区(205)位于空穴注入半导体深阱区(203)和电子注入半导体深阱区(204)之间,分别与空穴注入半导体深阱区(203)和电子注入半导体深阱区(204)接触;所述电子注入发射区(201)和第三空穴注入区(213)设置在空穴注入半导体深阱区(203)上;所述第二空穴注入区(202)和第二电子注入区(214)设置在电子注入半导体深阱区(204)上;所述电子注入发射区(201)与电子注入半导体漂移区(205)不接触。4.根据权利要求3所述的横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述电子注入发射区(201)和电子注入半导体漂移区(205)上设置有绝缘栅氧层(211);所述绝缘栅氧层(211)上设置有多晶硅层(212)。5.根据权利要求4所述的横向绝缘栅双极型晶体管,其特征在于,所述浅槽隔离区(210)包括:第一浅槽隔离子区(2101)、第二浅槽隔离子区(2102)和第三浅槽隔离子区(2103);所述第一浅槽隔离子区(2101)设置在P型硅衬底(209)的外层,分布于P型硅衬底(209)顶部的四个侧面,构成矩形环状结构;所述第二浅槽隔离子区(2102)设置在深n阱区(206)和P型硅衬底(209)交界处,构成矩形环状结构;所述第三浅槽隔离子区(2103)一侧设置在空穴注入半导体深阱区(203)和深n阱区(206)的交界处,其对侧设置在电子注入半导体深阱区(204)和深n阱区(206)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪志刚,熊琴,
申请(专利权)人:图灵芯半导体成都有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。