本发明专利技术提供切削装置，该切削装置能够防止由于切削刀具的错误安装所导致的加工不良的产生。该切削装置对被加工物进行切削，其中，该切削装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；切削单元，其具有主轴，该主轴在前端部安装有对保持面所保持的被加工物进行切削的切削刀具；拍摄单元，其对安装于切削单元的切削刀具的外周部进行拍摄；以及判定部，其对切削刀具的朝向进行判定，在切削刀具的外周部设置有多个突起部，该多个突起部包含将在利用切削刀具对被加工物进行切削时产生的切削屑送出的第1面和与第1面连接的第2面，判定部根据由拍摄单元获取的突起部的图像来判定安装于切削单元的切削刀具的朝向。判定安装于切削单元的切削刀具的朝向。判定安装于切削单元的切削刀具的朝向。
【技术实现步骤摘要】
切削装置
[0001]本专利技术涉及对被加工物进行切削的切削装置。
技术介绍
[0002]通过将形成有多个器件的晶片分割而进行单片化，制造分别具有器件的多个器件芯片。另外，将多个器件芯片安装在基座基板上，利用由树脂构成的密封材料(模制树脂)包覆所安装的器件芯片，由此得到封装基板。通过将该封装基板分割而进行单片化，制造分别具有封装化的多个器件芯片的多个封装器件。器件芯片或封装器件组装于移动电话、个人计算机等各种电子设备。
[0003]在晶片、封装基板等被加工物的分割中使用切削装置。切削装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；以及切削单元，其对被加工物实施切削加工。在切削单元中内置有主轴，在主轴的前端部安装有环状的切削刀具。当利用卡盘工作台对被加工物进行保持并一边使切削刀具进行旋转一边使卡盘工作台与切削单元相对地移动时(加工进给)，切削刀具切入至被加工物，对被加工物进行切削、分割。
[0004]切削刀具的构造、材质等根据作为切削的对象物的被加工物的材质、性质等而适当地选择。例如在对由生陶瓷构成的板状物进行切削而进行分割时，有时使用在外周部设置有多个锯齿状的突起部的切削刀具(参照专利文献1)。
[0005]专利文献1：日本特开平4
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179505号公报
[0006]在利用具有锯齿状的突起部的切削刀具对被加工物进行切削的情况下，将切削刀具以规定的朝向安装于切削单元。具体而言，突起部具有前刀面和后刀面，切削刀具按照前刀面与后刀面相比配置于切削刀具的旋转方向前方的方式固定于主轴的前端部。
[0007]但是，在将切削刀具安装于切削单元时，作业者需要目视辨别微细的突起部的朝向，并且需要在考虑切削时的加工进给方向等的同时以规定的朝向安装切削刀具。因此，容易产生以错误的朝向安装切削刀具的错误安装。而且，当在以错误的朝向安装了切削刀具的状态下继续进行被加工物的切削时，有可能无法按照预期对被加工物进行切削而产生加工不良。
[0008]另外，在被加工物的切削中，有时使用在一对切削单元中按照相互面对的方式安装有一对切削刀具的所谓的双主轴类型的切削装置。在双主轴类型的切削装置中，切削刀具相对于主轴的朝向在一对切削单元中互不相同。因此，作业者容易弄错切削刀具的正确的朝向，更容易产生切削刀具的错误安装。
技术实现思路
[0009]本专利技术是鉴于该问题而完成的，其目的在于，提供能够防止由于切削刀具的错误安装所导致的加工不良的产生的切削装置。
[0010]根据本专利技术的一个方式，提供一种切削装置，其对被加工物进行切削，其中，该切削装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对该被加工物进行保持；切削单元，其具有主轴，该
主轴在前端部安装有对该保持面所保持的该被加工物进行切削的切削刀具；拍摄单元，其对安装于该切削单元的该切削刀具的外周部进行拍摄；以及判定部，其对该切削刀具的朝向进行判定，在该切削刀具的外周部设置有多个突起部，该多个突起部包含将在利用该切削刀具对该被加工物进行切削时产生的切削屑送出的第1面和与该第1面连接的第2面，该判定部根据由该拍摄单元获取的该突起部的图像来判定安装于该切削单元的该切削刀具的朝向。
[0011]另外，优选的是，该判定部根据由该拍摄单元拍摄的该突起部的该第1面和该第2面的尺寸来判定该切削刀具的朝向。另外，优选的是，该判定部根据由该拍摄单元拍摄的该突起部的该第1面和该第2面的倾斜来判定该切削刀具的朝向。另外，优选的是，该判定部根据对由该拍摄单元拍摄的该突起部的图像与参照图像进行比较的结果来判定该切削刀具的朝向。
[0012]本专利技术的一个方式的切削装置能够根据由拍摄单元获取的切削刀具的突起部的图像来判定安装于切削单元的切削刀具的朝向。由此，能够避免在以错误的朝向安装了切削刀具的状态下继续进行被加工物的切削，从而能够防止由于切削刀具的错误安装所导致的加工不良的产生。
附图说明
[0013]图1是示出切削装置的立体图。
[0014]图2的(A)是示出切削刀具的主视图，图2的(B)是将切削刀具的外周部放大而示出的主视图。
[0015]图3是示出切削单元的分解立体图。
[0016]图4是示出拍摄单元的局部剖面主视图。
[0017]图5的(A)是示出第1切削单元的侧视图，图5的(B)是示出第2切削单元的侧视图。
[0018]图6是示出控制单元的框图。
[0019]图7的(A)是示出拍摄图像的图像图，图7的(B)是示出合成图像的图像图。
[0020]图8的(A)是示出实施刃尖位置检测处理的合成图像的一部分的图像图，图8的(B)是示出实施检测范围设定处理的合成图像的一部分的图像图，图8的(C)是示出实施极值确定处理的合成图像的一部分的图像图。
[0021]图9是示出实施尺寸计算处理的合成图像的一部分的图像图。
[0022]图10的(A)是示出合成图像的图像图，图10的(B)是示出边缘检测图像的图像图，图10的(C)是示出实施直线提取处理的边缘检测图像的图像图。
[0023]图11的(A)是示出参照图像的图像图，图11的(B)是示出正确安装状态的切削刀具的突起部的拍摄图像的图像图，图11的(C)是示出错误安装状态的切削刀具的突起部的拍摄图像的图像图。
[0024]标号说明
[0025]11：被加工物；13：带(划片带)；15：框架；2：切削装置；4：基台；4a、4b、4c：开口；6：盒支承台；8：盒；10：卡盘工作台(保持工作台)；10a：保持面；12：移动机构；14：工作台罩；16：防尘防滴罩；18：夹具；20a、20b：切削单元；22：支承构造；24a、24b：移动机构；26：Y轴导轨；28a、28b：Y轴移动板；30a、30b：Y轴滚珠丝杠；32：Y轴脉冲电动机；34a、34b：Z轴导轨；
36a、36b：Z轴移动板；38a、38b：Z轴滚珠丝杠；40a、40b：Z轴脉冲电动机；42：拍摄单元；44：清洗单元；46：旋转工作台；46a：保持面；48：喷嘴；50：罩；52：显示单元(显示部、显示装置)；54：通知单元(通知部、通知装置)；56：控制单元(控制部、控制装置)；58：切削刀具；58a：开口；60：突起部(凸部、锯刃)；60a：第1面(前刀面)；60b：第2面(后刀面)；60c：前端；60d：底(刃底)；62：壳体；64：主轴；64a：开口；64b：螺纹槽；66：刀具安装座；66a：开口；68：凸缘部；68a：正面；68b：凸部；70：凸台部(支承轴)；70a：螺纹槽；72：固定螺栓；74：凸缘(按压凸缘)；74a：开口；76：固定螺母；78：刀具罩；80：主体部；82：滑动罩；84：气缸；86：连结件；88：连结件；90：连结件；92：喷嘴；94：拍摄单元；100：发光部；102：壳体；104：光源；106：聚光透镜；108：反射镜；110：受光部；112：显微镜；114：壳体；116：反射镜；118、120：凸透镜；122：相机；124：气体提本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种切削装置，其对被加工物进行切削，其特征在于，该切削装置具有：卡盘工作台，其利用保持面对该被加工物进行保持；切削单元，其具有主轴，该主轴在前端部安装有对该保持面所保持的该被加工物进行切削的切削刀具；拍摄单元，其对安装于该切削单元的该切削刀具的外周部进行拍摄；以及判定部，其对该切削刀具的朝向进行判定，在该切削刀具的外周部设置有多个突起部，该多个突起部包含将在利用该切削刀具对该被加工物进行切削时产生的切削屑送出的第1面和与该第1面连接的第2面，该判定部根据由该拍摄单元获取...
【专利技术属性】
技术研发人员：深泽隆，佐胁悟志，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：
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