一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置，包括限位环，所述限位环的底部构造有螺纹槽，且螺纹槽内旋接有支撑腿，所述限位环的内周之间插接固定有支撑板，所述支撑板的顶部支撑有位于限位环内周的限位框，所述限位框的顶部滑动连接有呈对称设置的夹持组件，所述限位环的内周构造有关于支撑板呈对称设置的矩形凹槽，且矩形凹槽内均插接有电磁铁，所述限位环的顶部通过螺栓安装有与电磁铁控制电路连接的电流控制器。可适应不同直径大小晶圆的夹持，并可防止过度挤压损伤晶圆或夹持力不足导致晶圆掉落，夹持晶圆时的稳定性较高。定性较高。定性较高。

【技术实现步骤摘要】
一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置


[0001]本技术涉及夹持装置
，特别涉及一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置。

技术介绍

[0002]晶圆指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。这些工艺和工序中，经常需要移动甚至翻转晶圆。晶圆夹持装置在上述工序中可起到夹持、固定、传输晶圆等作用，使晶圆保持或按一定方式运动。现有的晶圆夹持装置主要采用气缸、弹簧、电机等进行驱动夹持晶圆。
[0003]由于气缸、弹簧、电机驱动在夹持过程中结构复杂，难以实现对不同尺寸晶圆的夹持，且夹持力不易精确控制，一方面可能会造成夹持装置对晶圆的摩擦刮伤，影响晶圆表面光洁度，另一方面还可能因为夹持力过大造成晶圆的裂纹、应力损伤以及夹持力过小导致晶圆脱落等问题，为此，我们提出一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置，可适应不同直径大小晶圆的夹持，并可防止过度挤压损伤晶圆或夹持力不足导致晶圆掉落，夹持晶圆时的稳定性较高，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置，包括限位环，所述限位环的底部构造有螺纹槽，且螺纹槽内旋接有支撑腿，所述限位环的内周之间插接固定有支撑板，所述支撑板的顶部支撑有位于限位环内周的限位框，所述限位框的顶部滑动连接有呈对称设置的夹持组件，所述限位环的内周构造有关于支撑板呈对称设置的矩形凹槽，且矩形凹槽内均插接有电磁铁，所述限位环的顶部通过螺栓安装有与电磁铁控制电路连接的电流控制器。
[0007]进一步地，所述夹持组件包括滑块、绝缘框、永磁铁、连接盘和晶圆夹持板，所述滑块滑动连接在限位框的顶部，且滑块的顶部通过螺栓安装有绝缘框，所述绝缘框靠近电磁铁的一侧外壁吸附贴和有永磁铁，且绝缘框远离永磁铁的一侧外壁旋接有连接盘，所述连接盘的端部插接有弧形的晶圆夹持板。
[0008]进一步地，所述限位环的外周构造有环形凹槽，且环形凹槽的数量设置至少设置为四个。
[0009]进一步地，所述支撑板的顶部构造有卡槽，且卡槽内滑动插接有卡块，所述卡块的顶部一体成型连接有贴合在支撑板表面的限位板，所述限位板的侧壁与限位框的侧壁抵接。
[0010]进一步地，所述支撑腿的数量设置为四个，且支撑腿呈矩形阵列分布。
[0011]进一步地，所述限位框的顶部构造有水平滑槽，且水平滑槽的内壁之间插接有贯
穿滑块的限位杆。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：通过设置的电磁铁、电流控制器和夹持组件，能够通过控制电流大小以及电流方向，从而灵活控制调节电磁铁与永磁铁之间的磁力(吸力或排斥力)，并控制晶圆夹持板之间的距离，可适应不同直径大小晶圆的夹持，并且可防止对晶圆过度挤压夹持损伤晶圆或夹持力不足而导致晶圆掉落；通过设置的水平滑槽、限位杆和带有圆孔的滑块，能够限定夹持组件的移动轨迹，并防止夹持组件从限位框上脱落，提高夹持晶圆时的稳定性。
附图说明
[0013]图1为本技术一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置的整体结构示意图。
[0014]图2为本技术一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置的夹持组件的结构示意图。
[0015]图3为本技术一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置的图1中A处结构的放大图。
[0016]图中：1、限位环；2、支撑腿；3、环形凹槽；4、支撑板；5、卡槽；6、卡块；7、限位板；8、限位框；9、限位杆；10、电磁铁；11、电流控制器；12、滑块；13、绝缘框；14、永磁铁；15、连接盘；16、晶圆夹持板。
具体实施方式
[0017]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0018]如图1
‑
3所示，一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置，包括限位环1，所述限位环1的底部构造有螺纹槽，且螺纹槽内旋接有支撑腿2，所述限位环1的内周之间插接固定有支撑板4，所述支撑板4的顶部支撑有位于限位环1内周的限位框8，所述限位框8的顶部滑动连接有呈对称设置的夹持组件，所述限位环1的内周构造有关于支撑板4呈对称设置的矩形凹槽，且矩形凹槽内均插接有电磁铁10，所述限位环1的顶部通过螺栓安装有与电磁铁10控制电路连接的电流控制器11。
[0019]为了灵活根据电磁铁10的磁力而发生位置移动，并适应不同直径大小的晶圆夹持需求，如图1和图2所示，所述夹持组件包括滑块12、绝缘框13、永磁铁14、连接盘15和晶圆夹持板16，所述滑块12滑动连接在限位框8的顶部，且滑块12的顶部通过螺栓安装有绝缘框13，所述绝缘框13靠近电磁铁10的一侧外壁吸附贴和有永磁铁14，且绝缘框13远离永磁铁14的一侧外壁旋接有连接盘15，所述连接盘15的端部插接有弧形的晶圆夹持板16。
[0020]为了降低限位环1的重量和制造成本，如图1所示，所述限位环1的外周构造有环形凹槽3，且环形凹槽3的数量设置至少设置为四个。
[0021]为了提高限位框8在支撑板4上的稳定性，如图1和图3所示，所述支撑板4的顶部构造有卡槽5，且卡槽5内滑动插接有卡块6，所述卡块6的顶部一体成型连接有贴合在支撑板4表面的限位板7，所述限位板7的侧壁与限位框8的侧壁抵接。
[0022]为了稳定支撑起限位环1，如图1所示，所述支撑腿2的数量设置为四个，且支撑腿2
呈矩形阵列分布。
[0023]为了保持夹持组件滑动时的稳定性，如图1所示，所述限位框8的顶部构造有水平滑槽，且水平滑槽的内壁之间插接有贯穿滑块12的限位杆9。
[0024]需要说明的是，本技术为一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置，使用时，预先根据晶圆的直径尺寸计算晶圆夹持板16的间距，并计算电磁铁10与永磁铁14之间的磁力，设定电流控制器11，将电流方向和电流大小控制在所需状态，需要夹持晶圆时，电磁铁10和永磁铁14之间的磁力(排斥力)使得滑块12在限位杆9外周沿水平滑槽滑动，直至晶圆夹持板16将晶圆夹持固定，需要取下晶圆时，将电流方向颠倒，电磁铁10和永磁铁14相互吸引使得晶圆从晶圆夹持板16上掉落。
[0025]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置，包括限位环(1)，其特征在于，所述限位环(1)的底部构造有螺纹槽，且螺纹槽内旋接有支撑腿(2)，所述限位环(1)的内周之间插接固定有支撑板(4)，所述支撑板(4)的顶部支撑有位于限位环(1)内周的限位框(8)，所述限位框(8)的顶部滑动连接有呈对称设置的夹持组件，所述限位环(1)的内周构造有关于支撑板(4)呈对称设置的矩形凹槽，且矩形凹槽内均插接有电磁铁(10)，所述限位环(1)的顶部通过螺栓安装有与电磁铁(10)控制电路连接的电流控制器(11)。2.根据权利要求1所述的一种可适用于不同尺寸晶片的磁力夹持装置，其特征在于：所述夹持组件包括滑块(12)、绝缘框(13)、永磁铁(14)、连接盘(15)和晶圆夹持板(16)，所述滑块(12)滑动连接在限位框(8)的顶部，且滑块(12)的顶部通过螺栓安装有绝缘框(13)，所述绝缘框(13)靠近电磁铁(10)的一侧外壁吸附贴和有永磁铁(14)，且绝缘框(13)远离永...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟，
申请(专利权)人：苏州文芯纳精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：