晶圆检测装置及显微镜检测治具制造方法及图纸

一种晶圆检测装置及显微镜检测治具。所述晶圆检测装置包括：支架，用于固定待检测晶圆；旋转组件，与所述支架连接，用于驱动所述支架旋转；其中，所述支架上设置有防掉片装置；所述防掉片装置，用于在所述支架带动所述待检测晶圆翻转过程中，阻挡所述待检测晶圆从所述支架上掉落。采用上述方案，可以在翻转晶圆后，防止晶圆掉落。晶圆掉落。晶圆掉落。

【技术实现步骤摘要】
晶圆检测装置及显微镜检测治具


[0001]本技术涉及晶圆洁净度检测
，具体涉及一种晶圆检测装置及显微镜检测治具。

技术介绍

[0002]在半导体领域，晶圆背面的洁净度，指的是晶圆背面的脏污程度。晶圆背面有脏污，会污染机台及影响晶圆制程品质，严重的会导致晶圆在设备中因晶背脏污而无法固定在设备载台上，最终会导致晶圆掉落形成碎片。
[0003]为此，在晶圆制程中或者结束后，经常需要对晶圆背面的洁净度进行检测。
[0004]现有检测晶圆背面洁净度的装置，包括支架及旋转结构。该支架设置有若干个真空吸附口，该真空吸附口可以吸附晶圆，旋转结构可以驱动支架旋转，从而需要将晶圆翻转，再肉眼观察晶圆背面是否有脏污。当肉眼检测通过时，再将晶圆置于显微镜镜头下检测。
[0005]然而，在实际应用中，旋转结构驱动支架旋转，使得晶圆翻转后，如果晶圆背面有脏污，支架的真空吸附口无法牢靠地吸附晶圆，从而导致晶圆掉落成碎片，导致成本增加。

技术实现思路

[0006]本技术要解决的问题是：在翻转晶圆过程中，如何防止晶圆掉落。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：支架，用于固定待检测晶圆；旋转组件，与所述支架连接，用于驱动所述支架旋转；其中，所述支架上设置有防掉片装置；所述防掉片装置，用于在所述支架带动所述待检测晶圆翻转过程中，阻挡所述待检测晶圆从所述支架上掉落。2.如权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述防掉片装置包括：控制组件、两套以上阻挡组件，其中：所述阻挡组件，与所述控制组件连接，用于在所述控制组件的控制下，阻挡所述待检测晶圆。3.如权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述阻挡组件包括：驱动结构、传动结构及阻挡结构；其中：所述驱动结构，与所述控制组件连接，用于在所述控制组件的控制下，输出驱动力；所述传动结构，与所述驱动结构及所述阻挡结构连接，用于将所述驱动结构输出的动力传递至所述阻挡结构；所述阻挡结构，固定在所述支架上，用于在接收到所述传动结构传递的动力后，阻挡所述待检测晶圆。4.如权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述驱动结构为气缸。5.如权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述传动结构包括：齿条，与所述驱动结构的输出端连接；导轨，与所述齿条连接，为所述齿条提供运动轨道。6.如权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述阻挡结构包括：齿轮拨档部，与所述传动结构连接；与所述齿轮拨档部连接的固定轴；其中，所述齿轮拨档部通过所述固定轴固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋传志，邱明正，时文，周明峰，
申请(专利权)人：常州承芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：