温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种晶圆检测装置及显微镜检测治具。所述晶圆检测装置包括：支架，用于固定待检测晶圆；旋转组件，与所述支架连接，用于驱动所述支架旋转；其中，所述支架上设置有防掉片装置；所述防掉片装置，用于在所述支架带动所述待检测晶圆翻转过程中，阻挡所述待检测晶...
该专利属于常州承芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州承芯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。