用于单晶炉的加料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶炉的加料装置，用于单晶炉的加料装置包括：外加料管，外加料管长度方向的两端分别为第一端和第二端；提拉杆，提拉杆穿设于外加料管内；第一封堵件，第一封堵件连接于提拉杆的远离第一端的一端；内管组件，内管组件包括内加料管和第二封堵件，内加料管设于外加料管内，提拉杆穿设于内加料管内，第二封堵件与提拉杆连接，在第一端至第二端的方向上，提拉杆移动第一预设距离，第一封堵件打开外加料管的第二端，第二封堵件封堵内加料管的靠近第二端的一端，提拉杆移动第二预设距离，第二封堵件打开内加料管的靠近第二端的一端。根据本实用新型专利技术的用于单晶炉的加料装置，缩短生产周期，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
用于单晶炉的加料装置


[0001]本技术涉及晶体生长
，尤其涉及一种用于单晶炉的加料装置。

技术介绍

[0002]目前直拉单晶制造法二次加料器普遍一次只能加一管硅料，当单次投料量较大时，硅料来不及化料，会漂浮在表面，堆积过多，会刮蹭到导流筒底部(导流筒底部与液面间距距离有限)，所以一般一次投放的硅料量不能过多，但是为了满足总的投料量的需求，便需要加入第二管或第三管硅料，这就需要将加料器从单晶炉中取出，然后装料、再投料，并重复循环操作，不可避免的会导致生产周期延长。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种用于单晶炉的加料装置，所述用于单晶炉的加料装置减少加料管的多次循环装料、投料的操作，缩短生产周期，提高生产效率。
[0004]根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置，包括：外加料管，所述外加料管长度方向的两端分别为第一端和第二端；提拉杆，所述提拉杆穿设于所述外加料管内，且沿所述外加料管的轴线方向可移动；第一封堵件，所述第一封堵件连接于所述提拉杆的远离所述第一端的一端，用于打开或封堵所述外加料管的所述第二端；内管组件，所述内管组件包括内加料管和第二封堵件，所述内加料管设于所述外加料管内，且所述内加料管的外壁与所述外加料管内壁间隔开，所述提拉杆穿设于所述内加料管内，所述第二封堵件与所述提拉杆连接用于打开或封堵所述内加料管的靠近所述第二端的一端，在所述第一端至所述第二端的方向上，所述提拉杆移动第一预设距离，所述第一封堵件打开所述外加料管的所述第二端，所述第二封堵件封堵所述内加料管的靠近所述第二端的一端，所述提拉杆移动第二预设距离，所述第二封堵件打开所述内加料管的靠近所述第二端的一端，其中，所述第二预设距离大于所述第一预设距离。
[0005]根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置，通过设置外加料管，外加料管长度方向的两端分别为第一端和第二端，在外加料管内穿设提拉杆，再设置第一封堵件，第一封堵件连接于提拉杆的远离第一端的一端，用于打开或封堵外加料管的第二端。在外加料管内设置内加料管，再设置第二封堵件，第二封堵件与提拉杆连接用于打开或封堵内加料管的靠近第二端的一端。在第一端至第二端的方向上，提拉杆移动第一预设距离，第一封堵件打开外加料管的第二端，第二封堵件封堵内加料管的靠近第二端的一端，提拉杆移动第二预设距离，第二封堵件打开内加料管的靠近第二端的一端，实现用于单晶炉的加料装置向单晶炉一次顺续投入两管硅料，减少加料管的多次循环装料、投料的操作，缩短生产周期，提高生产效率。
[0006]在本技术的一些实施例中，所述第二封堵件包括柱形段，在所述第二封堵件封堵所述内加料管时，所述柱形段位于所述内加料管内。
[0007]在本技术的一些实施例中，所述第二封堵件还包括封堵段，所述封堵段设于所述柱形段的靠近所述第二端的一侧，所述封堵段的靠近所述柱形段的一端的外径大于所述内加料管的内径。
[0008]在本技术的一些实施例中，所述封堵段最大外径等于所述内加料管的外径；和/或，在所述柱形段至所述封堵段的方向上，所述封堵段的外径逐渐减小。
[0009]在本技术的一些实施例中，所述内管组件为多个，所述外加料管内可选择的设置多个所述内管组件中的一个，多个所述内管组件的所述内加料管的内径不同。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述内管组件还包括空隙板，所述空隙板包括：固定板，所述提拉杆穿设于所述固定板；内环板，所述内环板套设于所述固定板外且与所述固定板间隔开，所述内加料管与所述内环板连接，所述内环板与所述固定板之间连接有多个沿所述内环板周向方向间隔开的第一连接板；外环板，所述外环板套设于所述内环板外侧且与所述外环板间隔开，所述外环板搭接于所述外加料管的所述第一端，所述外环板与所述内环板之间连接有多个沿所述内环板的周向方向间隔开的第二连接板。
[0011]在本技术的一些实施例中，多个所述内管组件包括第一内管组件和第二内管组件，所述第一内管组件的所述内加料管的内径为Da，Da＝0.5D，所述第二内管组件的所述内加料管的内径为Db，0.5D<Db≤0.75D，其中D为所述外加料管的内径。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述第一内管组件的所述固定板和所述内环板之间的径向距离为LA，所述第二内管组件的所述固定板和所述内环板之间的径向距离为LB，且满足：1<LB/LA≤1.5。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述外环板与所述内环板之间的径向距离为L，且满足L<0.2D，其中D为所述外加料管的内径。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述第一连接板沿所述内环板周向方向相对的两壁面沿所述内环板的径向方向延伸，相邻的两个所述第一连接板之间的角度为90
°‑
120
°
；和/或，所述第二连接板沿所述内环板周向方向相对的两壁面沿所述内环板的径向方向延伸，相邻的两个所述第二连接板之间的角度为90
°‑
120
°
。
[0015]在本技术的一些实施例中，所述第一封堵件包括：主体件，所述主体件为石英件，所述主体件的朝向所述第一端的表面具有嵌入槽；防护件，所述防护件为硅件，所述防护件嵌设于所述嵌入槽内，所述防护件的外径大于等于所述外加料管的内径。
[0016]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0017]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0018]图1是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的采用第一内管组件的示意图；
[0019]图2是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的采用第二内管组件的示意图；
[0020]图3是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的外加料管的示意图；
[0021]图4是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的第一内管组件的爆炸图；
[0022]图5是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的第二内管组件的爆炸图；
[0023]图6是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的提拉杆移动第一预设距离的示意图；
[0024]图7是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的提拉杆移动第二预设距离的示意图；
[0025]图8是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的第一封堵件的示意图；
[0026]图9是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的第一内管组件对应的空隙板的示意图；
[0027]图10是根据本技术实施例的用于单晶炉的加料装置的第二内管组件对应的空隙板的示意图。
[0028]附图标记：
[0029]10、用于单晶炉的加料装置；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的加料装置，其特征在于，包括：外加料管，所述外加料管长度方向的两端分别为第一端和第二端；提拉杆，所述提拉杆穿设于所述外加料管内，且沿所述外加料管的轴线方向可移动；第一封堵件，所述第一封堵件连接于所述提拉杆的远离所述第一端的一端，用于打开或封堵所述外加料管的所述第二端；内管组件，所述内管组件包括内加料管和第二封堵件，所述内加料管设于所述外加料管内，且所述内加料管的外壁与所述外加料管内壁间隔开，所述提拉杆穿设于所述内加料管内，所述第二封堵件与所述提拉杆连接用于打开或封堵所述内加料管的靠近所述第二端的一端，在所述第一端至所述第二端的方向上，所述提拉杆移动第一预设距离，所述第一封堵件打开所述外加料管的所述第二端，所述第二封堵件封堵所述内加料管的靠近所述第二端的一端，所述提拉杆移动第二预设距离，所述第二封堵件打开所述内加料管的靠近所述第二端的一端，其中，所述第二预设距离大于所述第一预设距离。2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加料装置，其特征在于，所述第二封堵件包括柱形段，在所述第二封堵件封堵所述内加料管时，所述柱形段位于所述内加料管内。3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的加料装置，其特征在于，所述第二封堵件还包括封堵段，所述封堵段设于所述柱形段的靠近所述第二端的一侧，所述封堵段的靠近所述柱形段的一端的外径大于所述内加料管的内径。4.根据权利要求3所述的用于单晶炉的加料装置，其特征在于，所述封堵段最大外径等于所述内加料管的外径；和/或，在所述柱形段至所述封堵段的方向上，所述封堵段的外径逐渐减小。5.根据权利要求1所述的用于单晶炉的加料装置，其特征在于，所述内管组件为多个，所述外加料管内可选择的设置多个所述内管组件中的一个，多个所述内管组件的所述内加料管的内径不同。6.根据权利要求5所述的用于单晶炉的加料装置，其特征在于，所述内管组件还包括空隙板，所述空隙板包括：固定板，所述提拉杆穿设于所述固定板；内环板，所述内环板套设于所述固定板外且与所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：李向阳，陈俊宏，
申请(专利权)人：中环领先徐州半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：