一种蝶形降功耗保温装置及单晶炉制造方法及图纸

技术编号:37894059 阅读:22 留言:0更新日期:2023-06-18 11:58
本实用新型专利技术公开了一种蝶形降功耗保温装置及单晶炉,包括一个中空的筒本体,包括两个蝶形连接件,所述蝶形连接件与所述筒本体的内周面固定连接形成内腔体。所述蝶形连接件包括第一直段、弧形段和第二直段,所述弧形段的两端分别与所述第一直段和第二直段固定连接,远离所述弧形段的第一直段的一端与远离所述弧形段的第二直段的一端分别与所述筒本体的内周面固定连接。本实用新型专利技术通过筒本体内设置的蝶形连接件和连接片形成具有封闭底部的内腔体,在内腔体内部填充保温毡后,再将盖板内嵌于内腔体内,提高了对热场的保温性以及保温效果,降低了制备时的功耗,节约了成本。节约了成本。节约了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种蝶形降功耗保温装置及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶硅制造
,具体涉及一种蝶形降功耗保温装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备。在单晶炉中设置有保温筒,其为单晶炉内部热场的重要组成部分,为石墨材质,一般在保温筒外侧面裹有一定厚度的碳毡用于对单晶炉内的热场进行保温,依据其所处热场的位置不同而分为上、中、下三种保温筒。
[0003]其中,下部保温筒设置在靠近单晶炉炉底的部位,位于热场的下部,在单晶炉进行生产的过程中,需要不断的将热场中的高温气流输出到单晶炉中,长时间运行后保温毡会与高温气流中的硅蒸汽发生化学反应,导致碳毡被腐蚀粉化,对热场的保温性减弱,影响了保温筒保温的效果,增加了单晶炉运行的功率以及成本,严重时将会导致单晶炉无法正常拉制单晶硅。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种蝶形降功耗保温装置,通过在筒本体的内周面对称设置蝶形连接件,通过与连接片固定连接,形成底部密封的内腔体,将保温毡填充至内腔体内部,解决了下部保温桶保温性减低、增加单晶炉运行的功率以及成本、严重时本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蝶形降功耗保温装置,包括一个中空的筒本体(10),其特征在于,包括两个蝶形连接件(121),所述蝶形连接件(121)与所述筒本体(10)的内周面固定连接形成内腔体(12)。2.根据权利要求1所述的一种蝶形降功耗保温装置,其特征在于,所述蝶形连接件(121)包括第一直段(1211)、弧形段(1213)和第二直段(1212),所述弧形段(1213)的两端分别与所述第一直段(1211)和第二直段(1212)固定连接,远离所述弧形段(1213)的第一直段(1211)的一端与远离所述弧形段(1213)的第二直段(1212)的一端分别与所述筒本体(10)的内周面固定连接。3.根据权利要求2所述的一种蝶形降功耗保温装置,其特征在于,在所述内腔体(12)的底部(122)设置连接片(123),所述连接片(123)将所述筒本体(10)、所述第一直段(1211)、所述弧形段(1213)和所述第二直段(1212)固定连接。4...

【专利技术属性】
技术研发人员:董宇豪关树军洪华路建华
申请(专利权)人:乐山市京运通新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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