高稳定性的单晶炉液压夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉装置技术领域，尤其涉及一种高稳定性的单晶炉液压夹具，包括安装板和液压伸缩杆，所述安装板前端面的上下两端分别设置有上夹具和下夹具，且上夹具和下夹具之间通过驱动杆连接，所述液压伸缩杆的输出端与驱动杆的中间连接，用于带动驱动杆沿着靠近或者远离安装板的方向移动，继而带动上夹具和下夹具张开或者合拢，可以同时自动夹持晶棒的上下两端，方便快捷，夹持的稳定性高，晶棒不易抖动，且上夹具和下夹具之间通过驱动杆连接，通过液压伸缩杆带动驱动杆前后移动，即可同步驱动上夹具和下夹具张开或者合拢，减少设备投入，降低工作成本。降低工作成本。降低工作成本。

【技术实现步骤摘要】
高稳定性的单晶炉液压夹具


[0001]本技术涉及单晶炉装置
，具体为高稳定性的单晶炉液压夹具。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。在生产过程中，需要将晶棒从单晶炉中取出，传统的生产工艺中，多是人工将晶棒取出，取棒效率低下且存在安全隐患。
[0003]中国专利文献库中，授权公告号CN 203728965 U的技术专利，公开了一种单晶炉夹取装置，通过设置机械手和两个挡块对晶棒的上下两端进行夹持固定，避免取出晶棒时抖动造成晶棒的断裂，但是实际使用时需要手动调节挡块的位置，较为麻烦，而设置多个机械手，增加设备投入，且挡块和机械手的距离固定，适用性不强，机械手与晶棒长期接触，也容易受到磨损。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高稳定性的单晶炉液压夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的需要手动调节挡块位置、不方便调节挡块与机械手的间距和机械手易受到磨损的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：高稳定性的单晶炉液本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高稳定性的单晶炉液压夹具，包括安装板(1)和液压伸缩杆(5)，其特征在于：所述安装板(1)前端面的上下两端分别设置有上夹具(2)和下夹具(3)，且上夹具(2)和下夹具(3)之间通过驱动杆(4)连接，所述液压伸缩杆(5)的输出端与驱动杆(4)的中间连接，用于带动驱动杆(4)沿着靠近或者远离安装板(1)的方向移动，继而带动上夹具(2)和下夹具(3)张开或者合拢。2.根据权利要求1所述的高稳定性的单晶炉液压夹具，其特征在于：所述驱动杆(4)包括外管(401)、两个分别插接在外管(401)两端的内杆(402)和设置在外管(401)外侧壁上的连接件(403)，所述连接件(403)与液压伸缩杆(5)的输出端固定连接。3.根据权利要求2所述的高稳定性的单晶炉液压夹具，其特征在于：两个所述内杆(402)均包括与外管(401)螺纹连接的螺纹段(4021)和设置在螺纹段(4021)远离外管(401)一端的连接段(4022)，所述连接段(4022)的尺寸小于螺纹段(4021)的尺寸，两个所述内杆(402)的螺纹段(4021)螺纹相反。4.根据权利要求3所述的高稳定性的单晶炉液压夹具，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭晓春，
申请(专利权)人：无锡市汉为液压气动有限公司，
类型：新型
国别省市：