高稳定性的单晶炉液压夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉装置技术领域，尤其涉及一种高稳定性的单晶炉液压夹具，包括安装板和液压伸缩杆，所述安装板前端面的上下两端分别设置有上夹具和下夹具，且上夹具和下夹具之间通过驱动杆连接，所述液压伸缩杆的输出端与驱动杆的中间连接，用于带动驱动杆沿着靠近或者远离安装板的方向移动，继而带动上夹具和下夹具张开或者合拢，可以同时自动夹持晶棒的上下两端，方便快捷，夹持的稳定性高，晶棒不易抖动，且上夹具和下夹具之间通过驱动杆连接，通过液压伸缩杆带动驱动杆前后移动，即可同步驱动上夹具和下夹具张开或者合拢，减少设备投入，降低工作成本。降低工作成本。降低工作成本。

【技术实现步骤摘要】
高稳定性的单晶炉液压夹具


[0001]本技术涉及单晶炉装置
，具体为高稳定性的单晶炉液压夹具。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。在生产过程中，需要将晶棒从单晶炉中取出，传统的生产工艺中，多是人工将晶棒取出，取棒效率低下且存在安全隐患。
[0003]中国专利文献库中，授权公告号CN 203728965 U的技术专利，公开了一种单晶炉夹取装置，通过设置机械手和两个挡块对晶棒的上下两端进行夹持固定，避免取出晶棒时抖动造成晶棒的断裂，但是实际使用时需要手动调节挡块的位置，较为麻烦，而设置多个机械手，增加设备投入，且挡块和机械手的距离固定，适用性不强，机械手与晶棒长期接触，也容易受到磨损。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高稳定性的单晶炉液压夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的需要手动调节挡块位置、不方便调节挡块与机械手的间距和机械手易受到磨损的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：高稳定性的单晶炉液压夹具，包括安装板和液压伸缩杆，所述安装板前端面的上下两端分别设置有上夹具和下夹具，且上夹具和下夹具之间通过驱动杆连接，所述液压伸缩杆的输出端与驱动杆的中间连接，用于带动驱动杆沿着靠近或者远离安装板的方向移动，继而带动上夹具和下夹具张开或者合拢。
[0006]进一步地，所述驱动杆包括外管、两个分别插接在外管两端的内杆和设置在外管外侧壁上的连接件，所述连接件与液压伸缩杆的输出端固定连接。
[0007]进一步地，两个所述内杆均包括与外管螺纹连接的螺纹段和设置在螺纹段远离外管一端的连接段，所述连接段的尺寸小于螺纹段的尺寸，两个所述内杆的螺纹段螺纹相反。
[0008]进一步地，所述连接件通过滑轨转动套接在外管外侧壁上，且所述连接件上螺纹连接有用于将外管顶紧的固定旋钮。
[0009]进一步地，所述上夹具和下夹具均包括夹爪和用于对夹爪进行安装的支撑板，所述夹爪包括V型的驱动部、两个连接部和两个夹持部，两个所述连接部的一端分别与驱动部的两个端部转动连接，所述夹持部的一端与连接部固定连接，且夹持部的另一端与支撑板转动连接，所述支撑板上贯穿设置有容纳连接段前后移动的让位通孔，所述连接段穿过让位通孔并与驱动部固定连接。
[0010]进一步地，所述连接段为多棱柱结构，所述让位通孔与连接段的宽度相同。
[0011]进一步地，两个所述连接部相对的一端可拆卸地安装有夹持板。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该高稳定性的单晶炉液压夹具
[0013](1)通过在安装板的上下两端分别设置上夹具和下夹具,可以同时自动夹持晶棒的上下两端，方便快捷，夹持的稳定性高，晶棒不易抖动，且上夹具和下夹具之间通过驱动杆连接，通过液压伸缩杆带动驱动杆前后移动，即可同步驱动上夹具和下夹具张开或者合拢，减少设备投入，降低工作成本；
[0014](2)通过将驱动杆设置成外管和内杆的可伸缩模式，可以调节上夹具和下夹具的间距，适用于不同长度的晶棒；
[0015](3)通过在连接部相对的一端可拆卸地夹持板，当夹持板发生磨损时方便更换。
附图说明
[0016]图1为本技术立体结构示意图；
[0017]图2为本技术夹爪俯视结构示意图；
[0018]图3为本技术驱动杆立体剖结构示意图；
[0019]图4为本技术驱动杆剖面结构示意图。
[0020]图中：1、安装板；2、上夹具；3、下夹具；4、驱动杆；401、外管；402、内杆；4021、螺纹段；4022、连接段；403、连接件；404、固定旋钮；5、液压伸缩杆；6、支撑板；601、让位通孔；7、夹爪；701、驱动部；702、连接部；703、夹持部；704、夹持板。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]另外，在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]实施例1
[0025]请参阅图1
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4，本技术提供的一种实施例：高稳定性的单晶炉液压夹具，包括安装板1和液压伸缩杆5，安装板1为立式长条形结构，表面可设置有安装孔，与送料车固定安装或者可调式安装，安装板1前端面的上下两端分别设置有上夹具2和下夹具3，且上夹具2和下夹具3之间通过驱动杆4连接，液压伸缩杆5安装在安装板1的背面，液压伸缩杆5的输出端延伸至安装板1的前端面，与驱动杆4的中间连接，用于带动驱动杆4沿着靠近或者远离安装板1的方向移动，继而带动上夹具2和下夹具3张开或者合拢，驱动杆4包括外管401、两个分别插接在外管401两端的内杆402和设置在外管401外侧壁上的连接件403，连接件403
与液压伸缩杆5的输出端固定连接，通过调节内杆402延伸出外管401的长度，即可调节上夹具2和下夹具3的间距，方便夹持不同长度的晶棒；
[0026]本实施例中，两个内杆402均包括与外管401螺纹连接的螺纹段4021和设置在螺纹段4021远离外管401一端的连接段4022，连接段4022的尺寸小于螺纹段4021的尺寸，两个内杆402的螺纹段4021螺纹相反，旋转外管401时即可带动两个内杆402同时向相反方向运动，从而可以快速调节其长度；
[0027]连接件403通过滑轨转动套接在外管401外侧壁上，令连接件403与外管401可相对转动，连接件403上螺纹连接有用于将外管401顶紧的固定旋钮404，调整好驱动杆4的长度之后，旋转固定旋钮404进行固定，避免夹取过程中驱动杆4发生晃动，也可以将外管401和内杆402设置成滑动伸缩结构，再通过在外管401的两端设置螺栓固定，此时连接件403与外管401为固定连接即可，可以自由调整上夹具2和下夹具3的位置；
[0028]参考附图1和2，上夹具2和下夹具3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高稳定性的单晶炉液压夹具，包括安装板(1)和液压伸缩杆(5)，其特征在于：所述安装板(1)前端面的上下两端分别设置有上夹具(2)和下夹具(3)，且上夹具(2)和下夹具(3)之间通过驱动杆(4)连接，所述液压伸缩杆(5)的输出端与驱动杆(4)的中间连接，用于带动驱动杆(4)沿着靠近或者远离安装板(1)的方向移动，继而带动上夹具(2)和下夹具(3)张开或者合拢。2.根据权利要求1所述的高稳定性的单晶炉液压夹具，其特征在于：所述驱动杆(4)包括外管(401)、两个分别插接在外管(401)两端的内杆(402)和设置在外管(401)外侧壁上的连接件(403)，所述连接件(403)与液压伸缩杆(5)的输出端固定连接。3.根据权利要求2所述的高稳定性的单晶炉液压夹具，其特征在于：两个所述内杆(402)均包括与外管(401)螺纹连接的螺纹段(4021)和设置在螺纹段(4021)远离外管(401)一端的连接段(4022)，所述连接段(4022)的尺寸小于螺纹段(4021)的尺寸，两个所述内杆(402)的螺纹段(4021)螺纹相反。4.根据权利要求3所述的高稳定性的单晶炉液压夹具，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭晓春，
申请(专利权)人：无锡市汉为液压气动有限公司，
类型：新型
国别省市：