一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，包括水箱，水箱底部水平设置多个滑槽，每个滑槽内可滑动设置夹具支撑组件，夹具支撑组件用于装夹光学元件的镜体并调节镜体高度；夹具支撑组件包括可沿滑槽滑动的夹具座，夹具座内部中空设置竖直的安装部，夹具座内部壁设置凹槽，安装部内水平穿设夹具夹块，夹具夹块的一端从凹槽内穿入安装部内进行固定，夹具夹块的另一端位于安装部外，位于安装部外的夹具夹块上垂直设置支撑单元，支撑单元调节所夹持的镜体在垂直方向上的高度；夹具座顶部设置上盖板，上盖板设置夹持单元，对镜体进行装夹。本实用新型专利技术可满足不同口径光学元件的装夹需求，匹配适应不同厚度的光学元件装夹需求。学元件装夹需求。学元件装夹需求。

【技术实现步骤摘要】
一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置


[0001]本技术涉及可调节镜体支撑装置，尤其涉及一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置。

技术介绍

[0002]当前我国在强激光、光电子、X射线和空间光学等高科技领域对超光滑超高精度表面的获得提出了迫切需求。其主要特征具体表现为：(1)具有极小的表面粗糙度保证极低的散射特性；(2)具有超高精度的面形精度保证其优异的波前面形质量；(3)作为功能元件表面应具有完整的晶格结构保证其极高灵敏性、可靠性以及极高的频响性；这均给超光滑超高精度表面加工技术带来巨大的挑战。
[0003]弹性发射加工是一种基于流体动力润滑效应的理想超光滑表面加工技术，其加工系统是由旋转轮、加工液和工件组成，工件和旋转轮都浸渍在加工液中，当旋转轮高速旋转时，在旋转轮与工件之间楔形间隙就形成了类似于流体动压现象。在流体剪切应力的作用下，使工件表面产生原子级的极微量的弹性破坏，实现工件表面层原子的分离加工，从而去除工件表面材料。由于微细磨粒冲击工件表面所产生的能量不足以使工件表面材料产生塑性变形，其只有原子间结合的微小弹性破坏，实现工件表面层原子的分离加工，所以能够得到原子级的精度和没有缺陷的表面。其关键技术就是间隙控制，旋转轮与工件的间隙越小，抛光效率就越高。因此除了需要保证加工轴系的运动精度外，对镜体支撑也提出了严格的要求：(1)镜体支撑装置需要浸没在液体中；(2)镜体支撑装置可调节，保证镜面与加工运动轴系的平行度；(3)不同镜面与液面之间高度需要保持一致，调节装置能够匹配适应相应的光学元件厚度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提出一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，解决了光学元件在液体中的支撑定位和镜面与加工运动轴系平行度调节的技术问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，包括水箱，所述水箱底部水平设置多个滑槽，每个滑槽内可滑动设置夹具支撑组件，所述夹具支撑组件用于装夹光学元件的镜体并调节镜体高度；
[0007]所述夹具支撑组件包括可沿所述滑槽滑动的夹具座，所述夹具座内部中空设置竖直的安装部，夹具座内部壁设置凹槽，所述安装部内水平穿设夹具夹块，所述夹具夹块的一端从所述凹槽内穿入安装部内进行固定，夹具夹块的另一端位于安装部外，位于安装部外的夹具夹块上垂直设置支撑单元，所述支撑单元调节所夹持的镜体在垂直方向上的高度；
[0008]所述夹具座顶部设置上盖板，所述上盖板垂直设置连接体，所述连接体上水平设置夹持单元，所述夹持单元对镜体进行装夹。
[0009]具体的，所述支撑单元包括垂直穿设在所述夹具夹块上的第一顶丝座，所述第一
顶丝座中垂直设置底部顶丝对镜体底部进行支撑。
[0010]具体的，所述夹持单元包括水平穿设在所述连接体上的第二顶丝座，所述第二顶丝座中水平设置侧位顶丝对镜体进行夹持。
[0011]具体的，所述滑槽和夹具支撑组件的数量分别为4个，一一对应均布在以水箱底部中心为圆心的圆周处，4个支撑单元的第一顶丝支撑点高度相同。
[0012]具体的，所述上盖板上设置第一螺纹孔和第二螺纹孔，所述第一螺纹孔内设置连接螺钉将上盖板与夹具座连接，所述第二螺纹孔内设置调节螺钉用于调节夹具夹块在夹具座的凹槽内上下移动。
[0013]具体的，所述上盖板的底部水平设置第一凸部，所述第一凸部嵌入所述安装部内将上盖板与夹具座进行卡接。
[0014]具体的，所述夹具座底部连接设置下盖板，所述下盖板的顶部设置第二凸部，所述第二凸部嵌入所述安装部内将下盖板与夹具座进行卡接。
[0015]具体的，所述下盖板的底部设置第三凸部，所述第三凸部伸入所述滑槽内。
[0016]具体的，所述上盖板上还设置第三螺纹孔，第三螺纹孔内设置锁紧螺钉将夹具座固定在滑槽上，所述锁紧螺钉底部连接压块，所述压块位于滑槽内部，所述压块上设置第四凸部，所述第四凸部位于所述滑槽内与所述第三凸部相对。
[0017]具体的，所述底部顶丝和侧位顶丝的头部均设置球状凸起。
[0018]本技术与现有技术相比具有以下技术效果：
[0019]1、采用可调节的夹具支撑结构，可以通过调节螺钉来微调夹具夹块的高度，匹配适应不同厚度的光学元件装夹需求，保证不同镜面与液面之间高度保持一致；而且能够调整镜面与加工运动轴系的平行度，保证加工时抛光轮与镜面之间的间隙一致性。
[0020]2、采用十字滑槽与水槽一体化设计，通过粘接方式与水槽底部连接，既简化了结构装置又降低了经济成本；而且可调节夹具支撑结构在十字滑槽方向可以任意移动，满足实现了不同口径光学元件的装夹需求，解决了装置的应用局限性，提高了此支撑结构的通用性。
[0021]3、底部顶丝座采用标准件设计，可以降低加工成本；底部顶丝球头设计，受力均衡更利于镜体的调节；同时底部顶丝高低调节设计，可以扩大可装夹光学元件的厚度区间，适应性更广。
附图说明
[0022]图1是本技术适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置的剖视图；
[0023]图2是夹具支撑组件的立体结构图；
[0024]图3是夹具支撑组件的另一角度立体结构图；
[0025]图4是本技术适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置的俯视图；
[0026]图5是本技术适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置的立体使用加工时的示意图。
[0027]图中各标号代表：
[0028]1、夹具支撑组件；2、水箱；2
‑
1、滑槽；1
‑
1、夹具座；1
‑1‑
1、安装部；1
‑1‑
2、凹槽；1
‑
2、夹具夹块；1
‑
3、上盖板；1
‑3‑
1、连接体；1
‑3‑
2、第一凸部；1
‑3‑
3、第一螺纹孔；1
‑3‑
4、第二
螺纹孔；1
‑3‑
5、第三螺纹孔；1
‑
4、下盖板；1
‑4‑
1、第二凸部；1
‑4‑
2、第三凸部；1
‑
5、支撑单元；1
‑5‑
1、第一顶丝座；1
‑5‑
2、底部顶丝；1
‑5‑
3、第一凸球；1
‑
6、夹持单元；1
‑6‑
1、第二顶丝座；1
‑6‑
2、侧位顶丝；1
‑6‑
3、第二凸球；1
‑
7、连接螺钉；1
‑
8、调节螺钉；1
‑
9、锁紧螺钉；1
‑
10、压块；1
‑
10
‑
1、第四凸部。
具体实施方式
[0029]以下给出本技术的具体实施方式，需要说本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，包括水箱(2)，所述水箱(2)底部水平设置多个滑槽(2
‑
1)，其特征在于，每个滑槽(2
‑
1)内可滑动设置夹具支撑组件(1)，所述夹具支撑组件(1)用于装夹光学元件的镜体并调节镜体高度；所述夹具支撑组件(1)包括可沿所述滑槽(2
‑
1)滑动的夹具座(1
‑
1)，所述夹具座(1
‑
1)内部中空设置竖直的安装部(1
‑1‑
1)，夹具座(1
‑
1)内部壁设置凹槽(1
‑1‑
2)，所述安装部(1
‑1‑
1)内水平穿设夹具夹块(1
‑
2)，所述夹具夹块(1
‑
2)的一端从所述凹槽(1
‑1‑
2)内穿入安装部(1
‑1‑
1)内进行固定，夹具夹块(1
‑
2)的另一端位于安装部(1
‑1‑
1)外，位于安装部(1
‑1‑
1)外的夹具夹块(1
‑
2)上垂直设置支撑单元(1
‑
5)，所述支撑单元(1
‑
5)调节所夹持的镜体在垂直方向上的高度；所述夹具座(1
‑
1)顶部设置上盖板(1
‑
3)，所述上盖板(1
‑
3)垂直设置连接体(1
‑3‑
1)，所述连接体(1
‑3‑
1)上水平设置夹持单元(1
‑
6)，所述夹持单元(1
‑
6)对镜体进行装夹。2.根据权利要求1所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述支撑单元(1
‑
5)包括垂直穿设在所述夹具夹块(1
‑
2)上的第一顶丝座(1
‑5‑
1)，所述第一顶丝座(1
‑5‑
1)中垂直设置底部顶丝(1
‑5‑
2)对镜体底部进行支撑。3.根据权利要求2所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述夹持单元(1
‑
6)包括水平穿设在所述连接体(1
‑3‑
1)上的第二顶丝座(1
‑6‑
1)，所述第二顶丝座(1
‑6‑
1)中水平设置侧位顶丝(1
‑6‑
2)对镜体进行夹持。4.根据权利要求1所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述滑槽(2
‑
1)和夹具支撑组件(1)的数量分别为4个，一一对应均布在以水箱(2)底部中心为圆心的圆周处，4个支撑单元(1
‑
5)的底部顶丝(1
‑5‑
2)支撑点高度相同。5.根据权利要求1所述的适应于水浴流体加工的可调节镜体支撑装置，其特征在于，所述上盖板(1
‑
3)上设置第一螺纹孔(1
‑3...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁蛟腾，姜向敏，姚永胜，马臻，李奇炘，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：新型
国别省市：