一种供液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种供液装置，包括原液钢瓶和液位传感器，液位传感器安装在原液钢瓶内，还包括供液钢瓶，供液钢瓶内装有液位传感器；液钢瓶和原液钢瓶均安装在箱体内，箱体上设有可开关的箱门；进出管路单元安装在箱体上，且与箱门相对设置，用于控制进气和供液；供气管路单元安装在箱体的一侧，分别与进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接；供液管路单元安装在箱体的另一侧，分别与进出管路单元、原液钢瓶和供液钢瓶连接，用于将原液钢瓶内的液体输送到供液钢瓶内，以及将供液钢瓶内的液体送出。该供液装置通过供液钢瓶持续供液，通过原液钢瓶周转，保证了生产的连续性，结构紧凑、体积小、三个管路单元将管路分开设置，方便装配和维护。配和维护。配和维护。

【技术实现步骤摘要】
一种供液装置


[0001]本技术涉及一种半导体生产的供液设备，尤其是一种供液装置。

技术介绍

[0002]现有的供液装置采用氦气进行供液，也就是通过高压的氦气提供压力，将供液钢瓶中的液体送出。
[0003]现有的供液装置采用单个钢瓶供液，单个钢瓶供液时，当钢瓶内的液体解决用完时，需要更换钢瓶，更换钢瓶时不能供液，需要停车。目前主要采用两台装置并联的方式来解决更换导致停产的问题，但是两台设备并联导致结构复杂，管路的控制复杂，并且体积较大。

技术实现思路

[0004]为解决上述问题，本技术提供一种既能保证连续生产，同时体积小、管路简单的一种供液装置，具体技术方案为：
[0005]一种供液装置，包括原液钢瓶和液位传感器，所述液位传感器安装在所述原液钢瓶内，还包括：供液钢瓶，所述供液钢瓶内装有液位传感器；箱体，所述供液钢瓶和所述原液钢瓶均安装在所述箱体内，所述箱体上设有可开关的箱门；进出管路单元，所述进出管路单元安装在所述箱体上，且与所述箱门相对设置，用于控制进气和供液；供气管路单元，所述供气管路单元安装在所述箱体的一侧，分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种供液装置，包括原液钢瓶(3)和液位传感器，所述液位传感器安装在所述原液钢瓶(3)内；其特征在于，还包括：供液钢瓶(2)，所述供液钢瓶(2)内装有液位传感器；箱体(11)，所述供液钢瓶(2)和所述原液钢瓶(3)均安装在所述箱体(11)内，所述箱体(11)上设有可开关的箱门(12)；进出管路单元(4)，所述进出管路单元(4)安装在所述箱体(11)上，且与所述箱门(12)相对设置，用于控制进气和供液；供气管路单元(5)，所述供气管路单元(5)安装在所述箱体(11)的一侧，分别与所述进出管路单元(4)、所述原液钢瓶(3)和所述供液钢瓶(2)连接；供液管路单元(6)，所述供液管路单元(6)安装在所述箱体(11)的另一侧，分别与所述进出管路单元(4)、原液钢瓶(3)和供液钢瓶(2)连接，用于将所述原液钢瓶(3)内的液体输送到所述供液钢瓶(2)内，以及将所述供液钢瓶(2)内的液体送出。2.根据权利要求1所述的一种供液装置，其特征在于，还包括抽拉装置，所述抽拉装置安装在所述箱体(11)上，且位于所述箱门(12)的一侧，所述原液钢瓶(3)安装在所述抽拉装置上。3.根据权利要求2所述的一种供液装置，其特征在于，所述抽拉装置包括：抽拉底座(32)，所述原液钢瓶(3)安装在...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗保兴，钟贵平，金凡奎，王富斌，杨利斌，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：