一种磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及磁控溅射镀膜技术领域，且公开了一种磁控溅射镀膜机，包括镀膜机，所述镀膜机的内部设置有翻转机构，所述镀膜机内部设置有调节机构，所述翻转机构包括放置台，所述放置台的顶部开设有升降槽，所述升降槽内部的底部固定连接有第一电动升降柱，所述第一电动升降柱的顶部固定连接有放置板，所述放置板的顶部开设有固定槽，所述固定槽内部的正面和背面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有固定板，所述放置台顶部的左右两侧均固定连接有支撑块，所述支撑块的一端固定连接有第二电动升降柱；该磁控溅射镀膜机，通过翻转机构方便产品翻面，通过调节机构提高镀膜效率，从而完成方便翻转和提高翻转效率的操作。操作。操作。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及磁控溅射镀膜
，具体为一种磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。
[0003]目前现有的磁控溅射镀膜机在需要双面镀膜时，渡完一面后需要将产品取下翻面在对产品的另一面进行镀膜，但是在翻面的过程中容易损伤产品，影响产品镀膜良率，由此可见，我们亟需一种磁控溅射镀膜机用以解决上述
技术介绍
中提到的现有的磁控溅射镀膜机在需要双面镀膜时，渡完一面后需要将产品取下翻面在对产品的另一面进行镀膜，但是在翻面的过程中容易损伤产品，影响产品镀膜良率的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种磁控溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的磁控溅射镀膜机在需要双面镀膜时，渡完一面后需要将产品取下翻面在对产品的另一面进行镀膜，但是在翻面的过程中容易损伤产品，影响产品镀膜良率的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种磁控溅射镀膜机，包括镀膜机，所述镀膜机的内部设置有翻转机构，所述镀膜机内部设置有调节机构；
[0006]当需要双面镀膜翻面时，此时通过翻转机构方便产品翻面，通过调节机构提高镀膜效率，从而完成方便翻转和提高翻转效率的操作。
[0007]所述翻转机构包括放置台，所述放置台的顶部开设有升降槽，所述升降槽内部的底部固定连接有第一电动升降柱，所述第一电动升降柱的顶部固定连接有放置板，所述放置板的顶部开设有固定槽，所述固定槽内部的正面和背面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有固定板，所述放置台顶部的左右两侧均固定连接有支撑块，所述支撑块的一端固定连接有第二电动升降柱，所述第二电动升降柱的一端固定连接有转动电机，所述转动电机的一端固定连接有转轴，所述转轴的一端固定连接有夹持架；
[0008]当需要双面镀膜翻面时，此时通过将产品放在镀膜机内部的放置板上，进而再通过启动固定槽内的电动伸缩杆带动固定板朝产品移动，进而使得固定板夹着产品的正面和背面将产品固定，再对产品进行镀膜，该面镀膜完毕后，再通过启动放置台顶部左右两侧支撑块一端的第二电动升降柱带动夹持架朝着产品左右两侧处移动，进而使得夹持架夹紧产品左右两侧，再通过启动电动伸缩杆解除固定，进而再通过第一电动升降柱带动放置板下降，留处翻转空间，再通过启动转动电机带动转轴转动，进而带动夹持架转动，从而使得产品翻面，且避免碰触已镀膜的面，翻转后再次重复操作固定产品，进而完成双面镀膜的操作，达到方便翻转的效果。
[0009]所述调节机构包括往复丝杆，所述往复丝杆的右侧固定连接有第一电机，所述往复丝杆的外部设置有移动块，所述移动块的底部安装有镀膜喷头；
[0010]当需要镀膜时，此时通过启动第一电机带动往复丝杆转动，进而带动移动块来回移动，进而再通过启动镀膜喷头对产品进行镀膜，同时移动块带动镀膜喷头左右移动镀膜，进而提高镀膜的速度，从而完成提高镀膜效率的操作。
[0011]优选的，所述放置台设置在镀膜机的内部，所述放置板设置凸形，所述放置板的长度与升降槽的长度相适配。
[0012]通过上述技术方案，通过放置板设置为凸形，方便拿取和固定放置板上的产品，通过放置板的长度与升降槽的长度相适配使得放置板可以收入升降槽内。
[0013]优选的，所述第一电动升降柱设置有多个，多个所述第一电动升降柱呈矩形阵列分布。
[0014]通过上述技术方案，通过将多个第一电动升降柱设置为矩形阵列分布进而可以稳定的支撑放置板，进而稳定放置板上的产品。
[0015]优选的，所述夹持架设置为L形，所述夹持架底部的高度与放置板凸起处的高度相适配。
[0016]优选的，所述固定槽开设有多个，所述固定板的高度大于固定槽的高度。
[0017]优选的，所述往复丝杆设置在镀膜机内部的顶部，所述第一电机固定连接在镀膜机内部的右侧。
[0018]优选的，所述第一电机的底部设置有支撑台，所述支撑台的右侧与镀膜机内部的右侧固定连接。
[0019]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0020]第一、本技术通过将产品放在镀膜机内部的放置板上，进而再通过启动固定槽内的电动伸缩杆带动固定板朝产品移动，进而使得固定板夹着产品的正面和背面将产品固定，再对产品进行镀膜，该面镀膜完毕后，再通过启动放置台顶部左右两侧支撑块一端的第二电动升降柱带动夹持架朝着产品左右两侧处移动，进而使得夹持架夹紧产品左右两侧，再通过启动电动伸缩杆解除固定，进而再通过第一电动升降柱带动放置板下降，留处翻转空间，再通过启动转动电机带动转轴转动，进而带动夹持架转动，从而使得产品翻面，且避免碰触已镀膜的面，翻转后再次重复操作固定产品，进而完成双面镀膜的操作，达到方便翻转的效果。
[0021]第二、本技术通过启动第一电机带动往复丝杆转动，进而带动移动块来回移动，进而再通过启动镀膜喷头对产品进行镀膜，同时移动块带动镀膜喷头左右移动镀膜，进而提高镀膜的速度，从而完成提高镀膜效率的操作。
附图说明
[0022]图1为本技术翻转机构处立体图；
[0023]图2为本技术夹持架处立体图；
[0024]图3为本技术剖视图；
[0025]图4为本技术放置板处俯视剖视图。
[0026]其中：1、镀膜机；2、翻转机构；3、调节机构；21、放置台；22、第一电动升降柱；23、放
置板；24、电动伸缩杆；25、固定板；26、支撑块；27、第二电动升降柱；28、转动电机；29、转轴；201、夹持架；31、往复丝杆；32、第一电机；33、移动块；34、镀膜喷头；301、支撑台。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
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4，一种磁控溅射镀膜机，包括镀膜机1，镀膜机1的内部设置有翻转机构2，镀膜机1内部设置有调节机构3；
[0029]当需要双面镀膜翻面时，此时通过翻转机构2方便产品翻面，通过调节机构3提高镀膜效率，从而完成方便翻转和提高翻转效率的操作。
[0030]翻转机构2包括放置台21，放置台21的顶部开设有升降槽，升降槽内部的底部固定连接有第一电动升降柱22，第一电动升降柱22的顶部固定连接有放置板23，放置板23的顶部开设有固定槽，固定槽内部的正面和背面固定连接有电动伸缩杆24，电动伸缩杆24的一端固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机，包括镀膜机(1)，其特征在于：所述镀膜机(1)的内部设置有翻转机构(2)，所述镀膜机(1)内部设置有调节机构(3)；所述翻转机构(2)包括放置台(21)，所述放置台(21)的顶部开设有升降槽，所述升降槽内部的底部固定连接有第一电动升降柱(22)，所述第一电动升降柱(22)的顶部固定连接有放置板(23)，所述放置板(23)的顶部开设有固定槽，所述固定槽内部的正面和背面固定连接有电动伸缩杆(24)，所述电动伸缩杆(24)的一端固定连接有固定板(25)，所述放置台(21)顶部的左右两侧均固定连接有支撑块(26)，所述支撑块(26)的一端固定连接有第二电动升降柱(27)，所述第二电动升降柱(27)的一端固定连接有转动电机(28)，所述转动电机(28)的一端固定连接有转轴(29)，所述转轴(29)的一端固定连接有夹持架(201)；所述调节机构(3)包括往复丝杆(31)，所述往复丝杆(31)的右侧固定连接有第一电机(32)，所述往复丝杆(31)的外部设置有移动块(33)，所述移动块(33)的底部安装有镀膜喷头(...

【专利技术属性】
技术研发人员：高岩，叶东国，付志江，
申请(专利权)人：大连榕树光学有限公司，
类型：新型
国别省市：