一种快速冷却的镀膜腔室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种快速冷却的镀膜腔室，其应用于真空磁控溅射镀膜设备的镀膜腔室降温，包括外壳围成的镀膜腔室，镀膜腔室下方设有制冷腔，镀膜腔室与制冷腔之间设有换气板件，换气板件上设有进气孔和排气孔，在制冷腔内设有制冷单元，在换气板件上安装有换气元件，换气元件用于把降温冷却后的介质气体注入到镀膜腔室内；本实用新型专利技术通过换气元件把制冷腔内冷却后的介质气体注入到镀膜腔室内，实现冷却后的介质气体与高温介质气体循环置换，能够快速的对镀膜腔室冷却降温，达到对镀膜腔室密封冷却降温，保证了介质气体的纯净度，确保了玻璃基板上AZO膜的质量，使得玻璃基板连续镀膜中AZO电阻的稳定。镀膜中AZO电阻的稳定。镀膜中AZO电阻的稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种快速冷却的镀膜腔室


[0001]本技术涉及真空磁控溅射镀膜设备
，特别是涉及了一种快速冷却的镀膜腔室。

技术介绍

[0002]真空磁控溅射技术就是一种是在真空条件下实现等离子放电，利用电磁场控制带电粒子的运动，轰击被镀材料，从而在基片上沉积所需要的薄膜，AZO玻璃，即掺杂铝的氧化锌透明导电玻璃，是TCO玻璃的一种，和ITO等TCO玻璃一样也具有透明和导电的特点。AZO玻璃的制备方式是采用在线连续式真空磁控溅射镀膜工艺在玻璃基片上进行镀膜，在连续镀膜时，上一片镀膜后的玻璃基片移出镀膜腔后，下一片空玻璃就直接移入镀膜腔，此时镀膜腔的温度比较高，影响镀膜后的电阻，因此在玻璃基片镀膜后，需要对镀膜腔进行降温冷却至合适温度，然后在移入空的玻璃基片，在真空状态下镀膜腔室本身的热量很难被传导出去，目前在对镀膜腔室的降温是采用水冷装置带走热量，采用水冷置换的方式降温，冷却效率较低，中国专利申请号202021455440.3公开了一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置，包括真空镀膜机主体，真空镀膜机主体上包括有机体外壳和设置在机体外壳内的真空镀膜腔和冷却腔，冷却腔设置在真空镀膜腔的下端；冷却腔和真空镀膜腔之间分隔块隔离，分隔块内设置有内腔，内腔内安装固定有制冷设备，制冷设备的制冷端朝向真空镀膜腔设置，内腔和真空镀膜腔之间通过多个出风孔相导通，分隔块的表面覆盖固定有一层保护软层，保护软层上设置有多条细缝，一条细缝和一个导风孔相导通；机体外壳上设置有多个和冷却腔导通的进风孔，进风孔处通过螺丝安装固定有防尘网，冷却腔的内壁设置有隔热层和吸热层，吸热层和隔热层之间通过隔热板分离，隔热板上开设有多个导风孔制冷设备包括安装固定在内腔内的风扇支架，风扇支架上安装固定有风扇，分隔块上设置有多个和内腔导通的连接孔，连接孔的一端和冷却腔相导通；连续镀膜中，镀膜腔室内需要保持真空状态，并向镀膜腔室内输入介质气体，避免镀膜时被污染掺杂，在该技术方案中制冷风机通过出风孔向真空镀膜腔内输入冷气，带走热量，外流气体经过防尘网进入到冷却腔，虽然能够过滤一定灰尘，但是无法达到AZO镀膜时所需要的纯净度，影响AZO玻璃镀膜的质量。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种快速冷却的镀膜腔室，通过换气板件在镀膜腔室下方隔成有制冷腔，镀膜腔室内抽真空后注入介质气体，介质气体并经过排气孔进入到制冷腔内，制冷腔内的制冷单元对介质气体进行降温冷却，在镀膜腔室需要冷却时，换气元件把制冷腔内冷却后的介质气体注入到镀膜腔室内，镀膜腔室原有的介质气体经过排气孔进入到制冷腔内，实现冷却后的介质气体与高温介质气体循环置换，从而能够快速的对镀膜腔室冷却降温，置换后的高温介质气体进入到冷却腔后经过制冷单元再次冷却，实现冷却后介质气体的循环流动，达到对镀膜腔室密封冷却降温，保证了介质气体的纯净度，确保了玻璃基板上AZO膜的质量，使得玻璃基板连续镀膜中AZO电阻的稳定。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用了如下所述的技术方案：
[0005]一种快速冷却的镀膜腔室，其应用于真空磁控溅射镀膜设备的镀膜腔室降温。
[0006]其包括：外壳围成的镀膜腔室，所述镀膜腔室下方设有制冷腔；
[0007]制冷单元，其设于制冷腔内；
[0008]换气板件，其设于镀膜腔室与制冷腔之间，所述换气板件上设有进气孔和排气孔；
[0009]换气元件，其安装在换气板件上，用于把制冷腔内的气体注入到镀膜腔室内。
[0010]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述镀膜腔室连通有注气管，所述注气管上设有电磁阀。
[0011]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述制冷单元包括制冷设备和冷凝器，所述冷凝器设于制冷腔内且冷凝器与制冷设备连接。
[0012]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述冷凝器与制冷设备之间设有隔板，所述隔板与外壳内壁固定连接，所述外壳位于隔板下方侧壁设有通风洞，所述通风洞内设置过滤网。
[0013]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述冷凝器为盘旋结构的冷凝管。
[0014]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述制冷腔位于外壳内壁与隔板顶面上设有隔温层。
[0015]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述换气板件包括下板和上板，所述下板与上板之间通过螺钉连接，所述下板顶部设有通槽，所述上板与通槽相对位置设有若干通气孔，所述排气孔设于下板上且与通槽连通。
[0016]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述下板底面位于排气孔位置设有单向阀。
[0017]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述下板的底面固定连接有挡板，所述挡板的底面与隔板之间留有通气缝，且所述排气孔设于所述挡板与外壳之间。
[0018]作为本技术提供的所述快速冷却的镀膜腔室的一种优选实施方式，所述换气元件为循环风机，所述循环风机安装在下板上且所述循环风机的出气端与进气孔连通。
[0019]与现有技术相比，本技术有以下有益效果：
[0020]1、本技术提供的快速冷却的镀膜腔室，通过外壳围成镀膜腔室，并通过换气板件在镀膜腔室下方隔成有制冷腔，镀膜腔室内抽真空后注入介质气体，介质气体并经过排气孔进入到制冷腔内，制冷腔内的制冷单元对介质气体进行降温冷却，在镀膜腔室需要冷却时，换气元件把制冷腔内冷却后的介质气体注入到镀膜腔室内，镀膜腔室原有的介质气体经过排气孔进入到制冷腔内，实现冷却后的介质气体与高温介质气体循环置换，从而能够快速的对镀膜腔室冷却降温，置换后的高温介质气体进入到冷却腔后经过制冷单元再次冷却，实现冷却后介质气体的循环流动，达到对镀膜腔室密封冷却降温，保证了介质气体的纯净度，确保了玻璃基板上AZO膜的质量，使得玻璃基板连续镀膜中AZO电阻的稳定。
[0021]2、本技术提供的快速冷却的镀膜腔室，在环件板件的底面固定连接挡板，使得挡板在制冷腔内围成冷气区和热气流动区，制冷后的介质气体位于挡板之间并经过循环风机注入到镀膜腔室内，镀膜腔室内的高温介质气体经过排气孔流入到热气流动区，经过
通气缝流入到冷气区内，避免了高温的介质气体在从镀膜腔室流出后直接与冷气后的介质气体混合，影响冷却效率。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术提供的快速冷却的镀膜腔室的整体结构侧面示意图；
[0024]图2为本技术提供的快速冷却的镀膜腔室的换气板件结构示意图；
[002本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快速冷却的镀膜腔室，其特征在于，包括：外壳(1)围成的镀膜腔室(2)，所述镀膜腔室(2)下方设有制冷腔(3)；制冷单元(4)，其设于制冷腔(3)内；换气板件(5)，其设于镀膜腔室(2)与制冷腔(3)之间，所述换气板件(5)上设有进气孔(503)和排气孔(504)；换气元件(6)，其安装在换气板件(5)上，用于把制冷腔(3)内的气体注入到镀膜腔室(2)内。2.根据权利要求1所述一种快速冷却的镀膜腔室，其特征在于，所述镀膜腔室(2)连通有注气管(101)，所述注气管(101)上设有电磁阀(102)。3.根据权利要求1所述一种快速冷却的镀膜腔室，其特征在于，所述制冷单元(4)包括制冷设备(401)和冷凝器(402)，所述冷凝器(402)设于制冷腔(3)内且冷凝器(402)与制冷设备(401)连接。4.根据权利要求3所述一种快速冷却的镀膜腔室，其特征在于，所述冷凝器(402)与制冷设备(401)之间设有隔板(403)，所述隔板(403)与外壳(1)内壁固定连接，所述外壳(1)位于隔板(403)下方侧壁设有通风洞(106)，所述通风洞(106)内设置过滤网(107)。5.根据权利要求3或4所述一种快速冷却的镀膜腔室，其特征在于，所述冷凝...

【专利技术属性】
技术研发人员：高迪，莫于雄，陈锦长，杨俊，谭晓彬，
申请(专利权)人：信利半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：