一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，包括进料台，进料台的一侧固定连接有送料机构，送料机构包括斜侧挡板，斜侧挡板的一侧固定连接有斜置板，斜侧挡板的一侧通过转动栓转动连接有滚珠，滚珠远离斜侧挡板的一侧通过转动栓转动连接有斜长板，斜长板靠近滚珠的一侧底部通过转动栓转动连接有小毛刷，斜长板的顶部滑动连接有刻蚀芯片，本发明专利技术涉及干法刻蚀机技术领域，该一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，通过刻蚀芯片滑动时两个斜长板之间的底刷板与刻蚀芯片底部接触清扫，防止刻蚀芯片底部灰尘聚多影响滑动，通过落下时产生撞击震动对刻蚀芯片进行震动去灰，防止刻蚀芯片底面某处灰尘难以清扫

【技术实现步骤摘要】
一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置


[0001]本专利技术涉及干法刻蚀机
，具体涉及一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置
。

技术介绍

[0002]干法刻蚀机是一种用于数学领域的分析仪器，自动化操作，刻蚀方式：
ICP
模式；刻蚀精度：
0.35
微米；主要刻蚀介质：
Si3N4、Si、POLY
‑
Si、SiO2
等材料，干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术，当气体以等离子体形式存在时，它具备两个特点：一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的；另一方面，还可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的；
[0003]干法刻蚀机刻蚀芯片的速度较快，人工连续的进行提取，费时费力还会降低加工效率，刻蚀完成的芯片连续出料堆积在一块不便提取的同时芯片之间相互摩擦可能造成损坏，并且刻蚀芯片表面残留大量废屑影响芯片质量，同时会与提取装置发生打滑不便进行贴合固定，为了防止芯片过多提取装置无法承载则需要进行卸料并集中存放，所以我们提出了一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置
。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，包括进料台，所述进料台的一侧固定连接有送料机构，所述送料机构的一侧固定连接有清面机构，所述送料机构的两侧均固定连接有立式侧板，所述送料机构远离进料台的一侧固定连接有提取机构，所述提取机构的一侧固定连接有存料机构；
[0005]所述送料机构包括斜侧挡板，所述斜侧挡板的一侧固定连接有斜置板，所述斜侧挡板的一侧通过转动栓转动连接有滚珠，所述滚珠远离斜侧挡板的一侧通过转动栓转动连接有斜长板，所述斜长板靠近滚珠的一侧底部通过转动栓转动连接有小毛刷，所述斜长板的顶部滑动连接有刻蚀芯片，所述斜长板远离小毛刷的一侧固定连接有底刷板，所述斜长板靠近底刷板的一侧固定连接有三角块，所述斜置板的底部与进料台固定连接，所述斜侧挡板靠近斜置板的一侧与进料台固定连接，所述斜侧挡板远离滚珠的一侧与立式侧板固定连接，所述小毛刷远离斜长板的一端与斜侧挡板通过转动栓转动连接，所述小毛刷设置有多个并均匀分布在斜长板与斜侧挡板之间，所述滚珠设置有多个并均匀分布在斜长板与斜侧挡板之间，刻蚀芯片通过斜置板的内斜滑至两个斜侧挡板之间的斜长板上，防止刻蚀芯片在送料台上滑动时偏移错位与斜侧挡板抵触卡住，刻蚀芯片滑动时两个斜长板之间的底刷板与刻蚀芯片底部接触清扫，防止刻蚀芯片底部灰尘聚多影响滑动，落下时产生撞击震动对刻蚀芯片进行震动去灰，防止刻蚀芯片底面某处灰尘难以清扫，小毛刷对滚珠表面进行摩擦清扫，防止各个滚珠之间夹杂灰尘等杂物影响转动
。
[0006]进一步地，所述清面机构包括凹型长板，所述凹型长板的一侧固定连接有长刷板，所述凹型长板内壁的一侧底部通过转动栓转动连接有圆形空壳，所述圆形空壳的外表面固定连接有长刺锥，所述圆形空壳的外表面开设有弧形长孔，所述圆形空壳的一端贯穿并转动连接有出风管，所述出风管远离圆形空壳的一端连通有气泵的出气口，所述凹型长板的内壁两侧均固定连接有长刮片，所述出风管的一端贯穿斜侧挡板并与斜侧挡板固定连接，所述长刷板的两侧均与斜侧挡板固定连接，所述凹型长板的两侧均与斜侧挡板固定连接，所述长刺锥设置有多个并均匀分布在圆形空壳上，所述弧形长孔设置有多个并均匀分布在长刺锥之间，长刷板与刻蚀芯片顶面摩擦清扫，防止刻蚀芯片顶面布满刻蚀废屑影响后续操作，同时长刺锥对刻蚀芯片顶面摩擦刮除，防止刻蚀芯片顶面依然残留难以清扫的废屑粘结块，长刮片将长刺锥表面附着的灰尘拨动刮除，防止长刺锥长时间使用表面附着过多废屑影响刮除效果，刻蚀芯片滑动经过圆形空壳时将刻蚀芯片的刻蚀凹槽内的废屑吹出，防止刻蚀芯片凹槽内的灰尘废屑难以清理
。
[0007]进一步地，所述提取机构包括弧形凹壳，所述弧形凹壳的一侧开设有方形侧槽，所述弧形凹壳的两侧均固定连接有斜侧板，所述斜侧板远离弧形凹壳的一侧固定连接有电动机，所述斜侧板靠近弧形凹壳的一侧通过转动栓转动连接有大圆柱，所述大圆柱的外表面固定连接有弧形方板，所述弧形方板的一侧开设有矩形方槽，所述矩形方槽的内壁底部开设有小圆槽，所述小圆槽的内壁滑动连接有小滑杆，所述弧形方板远离矩形方槽的一侧开设有对侧方槽，所述对侧方槽的内壁通过转动栓转动连接有第一辊柱，所述弧形凹壳远离方形侧槽的一侧与斜侧挡板固定连接，所述大圆柱的一端与电动机的驱动轴固定连接，所述弧形方板设置有四个并均匀分布在大圆柱上，刻蚀芯片从斜长板上滑至弧形凹壳上的方形侧槽区域，刻蚀芯片落在弧形方板上与矩形方槽内壁相贴合，防止矩形方槽转动时刻蚀芯片发生偏移滑动导致掉落，小圆杆将矩形方槽内的刻蚀芯片顶出，防止刻蚀芯片四面粗糙贴合时卡在矩形方槽内，刻蚀芯片被顶出到对面的弧形方板背部时表面与第一辊柱接触滑动被送至存料机构上，防止刻蚀芯片落在弧形方板背部时只滑动一小段距离
。
[0008]进一步地，所述存料机构包括斜式方壳，所述斜式方壳内壁的两侧顶部均固定连接有斜式直板，所述斜式直板远离斜式方壳的一侧开设有斜直槽，所述斜直槽的内壁固定连接有拨动片，所述斜式直板的顶部开设有斜方孔，所述斜方孔的内壁通过转动栓转动连接有第二辊柱，所述斜式直板的底部固定连接有斜置方板，所述斜置方板的一侧固定连接有外伸弹簧，所述外伸弹簧远离斜置方板的一端固定连接有斜置滑板，所述斜式方壳的底部固定连接有三角底座，所述三角底座的顶部固定连接有上顶弹簧，所述上顶弹簧的顶部固定连接有方形垫板，所述方形垫板的顶部固定连接有塑性垫，所述斜式方壳的一侧固定连接有斜式凹壳，所述斜式直板的两侧均与斜侧板固定连接，所述斜式凹壳的底部与三角底座固定连接，所述塑性垫设置有多个并均匀分布在斜式方壳内，所述方形垫板的一侧与斜式方壳的内壁滑动连接，所述斜置方板的底部与斜式方壳固定连接，拨动片回弹将刻蚀芯片弹至第二辊柱表面，刻蚀芯片滑动带动第二辊柱自转推动刻蚀芯片继续滑动，防止刻蚀芯片离第二辊柱较远难以滑动过去，刻蚀芯片经过第二辊柱滑动至斜式凹壳内进行存放，外伸弹簧通过伸展力推动斜式滑板滑动，斜式滑板推动塑性垫滑出斜式方壳落在斜式凹壳内的刻蚀芯片上，防止刻蚀芯片彼此摩擦接触造成损坏，斜式滑板滑动回初始位置对塑性垫进行抵挡，防止塑性垫大量不规则滑出造成浪费
。
[0009]本专利技术具有的有益效果：
[0010]1.
本专利技术通过设置斜置板使得刻蚀芯片通过斜置板的内斜滑至两个斜侧挡板之间的斜长板上，防止刻蚀芯片在送料台上滑动时偏移错位与斜侧挡板抵触卡住，通过长刷板与刻蚀芯片顶面摩擦清扫，防止刻蚀芯片顶面布满刻蚀废屑影响后续操作，通过刻蚀芯片落在弧形方板上与矩形方槽内壁相贴合，防止矩形方槽转动时刻蚀芯片发生偏移滑动导致掉落，通过刻蚀芯片滑动带动第二辊柱自转推动刻蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，包括进料台
(1)
，其特征在于：所述进料台
(1)
的一侧固定连接有送料机构
(2)
，所述送料机构
(2)
的一侧固定连接有清面机构
(3)
，所述送料机构
(2)
的两侧均固定连接有立式侧板
(4)
，所述送料机构
(2)
远离进料台
(1)
的一侧固定连接有提取机构
(5)
，所述提取机构
(5)
的一侧固定连接有存料机构
(6)
；所述送料机构
(2)
包括斜侧挡板
(201)
，所述斜侧挡板
(201)
的一侧固定连接有斜置板
(202)
，所述斜侧挡板
(201)
的一侧通过转动栓转动连接有滚珠
(203)
，所述滚珠
(203)
远离斜侧挡板
(201)
的一侧通过转动栓转动连接有斜长板
(204)
，所述斜长板
(204)
靠近滚珠
(203)
的一侧底部通过转动栓转动连接有小毛刷
(205)
，所述斜长板
(204)
的顶部滑动连接有刻蚀芯片
(206)
，所述斜长板
(204)
远离小毛刷
(205)
的一侧固定连接有底刷板
(207)
，所述斜长板
(204)
靠近底刷板
(207)
的一侧固定连接有三角块
(208)。2.
根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，其特征在于：所述斜置板
(202)
的底部与进料台
(1)
固定连接，所述斜侧挡板
(201)
靠近斜置板
(202)
的一侧与进料台
(1)
固定连接，所述斜侧挡板
(201)
远离滚珠
(203)
的一侧与立式侧板
(4)
固定连接
。3.
根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，其特征在于：所述小毛刷
(205)
远离斜长板
(204)
的一端与斜侧挡板
(201)
通过转动栓转动连接，所述小毛刷
(205)
设置有多个并均匀分布在斜长板
(204)
与斜侧挡板
(201)
之间，所述滚珠
(203)
设置有多个并均匀分布在斜长板
(204)
与斜侧挡板
(201)
之间
。4.
根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，其特征在于：所述清面机构
(3)
包括凹型长板
(301)
，所述凹型长板
(301)
的一侧固定连接有长刷板
(302)
，所述凹型长板
(301)
内壁的一侧底部通过转动栓转动连接有圆形空壳
(303)
，所述圆形空壳
(303)
的外表面固定连接有长刺锥
(304)
，所述圆形空壳
(303)
的外表面开设有弧形长孔
(305)
，所述圆形空壳
(303)
的一端贯穿并转动连接有出风管
(306)
，所述出风管
(306)
远离圆形空壳
(303)
的一端连通有气泵
(307)
的出气口，所述凹型长板
(301)
的内壁两侧均固定连接有长刮片
(308)。5.
根据权利要求4所述的一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，其特征在于：所述出风管
(306)
的一端贯穿斜侧挡板
(201)
并与斜侧挡板
(201)
固定连接，所述长刷板
(302)
的两侧均与斜侧挡板
(201)
固定连接，所述凹型长板
(301)
的两侧均与斜侧挡板
(201)
固定连接
。6.
根据权利要求4所述的一种干法刻蚀机用芯片连续提取装置，其特征在于：所述长刺锥
(304)
设置有多个并均匀分布在圆形空壳

【专利技术属性】
技术研发人员：叶东国，高岩，付志江，
申请(专利权)人：大连榕树光学有限公司，
类型：发明
国别省市：