晶圆上料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆上料装置，晶圆放置在料盒内，料盒包含后盖，包含：载具模块，载具模块上放置有料盒，载具模块与外部的晶圆夹取装置相衔接；进给模块，进给模块与载具模块相连，进给模块带动载具模块移动至晶圆夹取装置处；取盖模块，取盖模块与载具模块相衔接，取盖模块取下料盒上的后盖，晶圆夹取装置夹取料盒内的晶圆

【技术实现步骤摘要】
晶圆上料装置


[0001]本技术涉及晶圆上料
，特别涉及一种晶圆上料装置
。

技术介绍

[0002]由于晶圆尺寸的不同，需要的上料设备也就不同，这就导致大量成本的投入，目前市面上，
4、5、6
英寸的晶圆使用一种上料装置，
8、12
英寸的使用一种上料装置，无法实现全系列标准直径的半导体晶圆在一台设备上进行上料，缺少相关上料装置
。

技术实现思路

[0003]根据本技术实施例，提供了一种晶圆上料装置，晶圆放置在料盒内，料盒包含后盖，包含：
[0004]载具模块，载具模块上放置有料盒，载具模块与外部的晶圆夹取装置相衔接；
[0005]进给模块，进给模块与载具模块相连，进给模块带动载具模块移动至晶圆夹取装置处；
[0006]取盖模块，取盖模块与载具模块相衔接，取盖模块取下料盒上的后盖，晶圆夹取装置夹取料盒内的晶圆
。
[0007]进一步，载具模块包含：底板和治具组件；治具组件设在底板上，治具组件上放置有料盒，治具组件固定料盒
。
[0008]进一步，治具组件包含：
[0009]治具板，治具板可拆卸的设在底板上；
[0010]若干限位块，若干限位块均设在治具板上，若干限位块用于料盒的限位；
[0011]固定机构，固定机构与治具板相邻布置，固定机构用于将料盒固定在治具板上
。
[0012]进一步，固定机构包含：第一气缸和钩爪；第一气缸与钩爪相连，第一气缸伸出，带动钩爪勾住料盒的底部
。
[0013]进一步，进给模块包含：第一进给组件和第二进给组件；第一进给组件与底板相连，第一进给组件带动底板移动；第二进给组件与第一进给组件相连，第二进给组件带动第一进给组件和底板一同移动
。
[0014]进一步，取盖模块包含：开盖组件和取盖组件；开盖组件用于开启料盒的后盖，取盖组件与开盖组件相连，取盖组件带动开盖组件和经开盖组件开启的料盒的后盖一同移动
。
[0015]进一步，开盖组件包含：第二气缸
、
齿条
、
齿轮和开盖件；
[0016]第二气缸的输出端与齿条的一端相连；
[0017]齿轮与齿条相啮合；
[0018]齿轮上连接有开盖件，第二气缸带动齿条移动，齿条带动齿轮转动，齿轮带动开盖件转动，实现料盒的开盖
。
[0019]进一步，取盖组件包含：动力元件和丝杆机构；
[0020]动力元件与丝杆机构相连；
[0021]丝杆机构与开盖组件相连；
[0022]动力元件驱动丝杆机构带动开盖组件移动
。
[0023]根据本技术实施例的晶圆上料装置，能兼容多种型号的料盒，上料精度高
。
[0024]要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明
。
附图说明
[0025]图1为根据本技术实施例晶圆上料装置的结构示意图；
[0026]图2为根据本技术实施例晶圆上料装置的后视图；
[0027]图3为根据本技术实施例晶圆上料装置的固定机构的结构示意图；
[0028]图4为根据本技术实施例晶圆上料装置的开盖组件的结构示意图；
[0029]图5为根据本技术实施例晶圆上料装置的开盖件的示意图；
[0030]图6为根据本技术实施例晶圆上料装置的第一进给组件和第二紧急组件的示意图；
[0031]图7为料盒的示意图
。
具体实施方式
[0032]以下将结合附图，详细描述本技术的优选实施例，对本技术做进一步阐述
。
[0033]首先，将结合图
1~7
描述根据本技术实施例的晶圆上料装置，晶圆放置在料盒内，料盒包含后盖，其应用场景很广
。
[0034]如图1所示，本技术实施例的晶圆上料装置，具有载具模块
1、
进给模块2和取盖模块
3。
[0035]具体地，如图1所示，载具模块1上放置有料盒，载具模块1与外部的晶圆夹取装置相衔接；进给模块2与载具模块1相连，进给模块2带动载具模块1移动至晶圆夹取装置处；取盖模块3与载具模块1相衔接，取盖模块3取下料盒上的后盖，晶圆夹取装置夹取料盒内的晶圆
。
[0036]进一步，如图1所示，载具模块1包含：底板
11
和治具组件
12
；治具组件
12
设在底板
11
上，治具组件
12
上放置有料盒，治具组件
12
固定料盒
。
[0037]进一步，如图1所示，治具组件
12
包含：治具板
121、
若干限位块
122
和固定机构
123
；治具板
121
可拆卸的设在底板
11
上，每一种尺寸的晶圆对应一种不同的治具板
121
，在需要更换其他尺寸的晶圆上料时，只需进行更换对应的治具板
121
即可，实现多种型号的料盒的兼容；若干限位块
122
均设在治具板
121
上，若干限位块
122
用于料盒的限位；固定机构
123
与治具板
121
相邻布置，固定机构
123
用于将料盒固定在治具板
121
上
。
治具板
121
上还设有把手，在需要更换治具板
121
时，通过把手即可方便更换
。
[0038]进一步，如图3所示，固定机构
123
包含：第一气缸
1231
和钩爪
1232
；第一气缸
1231
与钩爪
1232
相连，第一气缸
1231
伸出，带动钩爪
1232
勾住料盒的底部，如图7所示，料盒的底部具有能够与钩爪
1232
配合的槽4，钩爪
1232
勾住槽4，即可实现料盒的固定
。
[0039]进一步，如图1所示，进给模块2包含：第一进给组件
21
和第二进给组件
22
；第一进给组件
21
与底板
11
相连，第一进给组件
21
带动底板
11
移动；第二进给组件
22
与第一进给组件
21
相连，第二进给组件
22
带动第一进给组件
21
和底板
11
一同移动
。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆上料装置，所述晶圆放置在料盒内，所述料盒包含后盖，其特征在于，包含：载具模块，所述载具模块上放置有所述料盒，所述载具模块与外部的晶圆夹取装置相衔接；进给模块，所述进给模块与所述载具模块相连，所述进给模块带动所述载具模块移动至所述晶圆夹取装置处；取盖模块，所述取盖模块与所述载具模块相衔接，所述取盖模块取下所述料盒上的所述后盖，所述晶圆夹取装置夹取所述料盒内的所述晶圆
。2.
如权利要求1所述的晶圆上料装置，其特征在于，所述载具模块包含：底板和治具组件；所述治具组件设在所述底板上，所述治具组件上放置有所述料盒，所述治具组件固定所述料盒
。3.
如权利要求2所述的晶圆上料装置，其特征在于，所述治具组件包含：治具板，所述治具板可拆卸的设在所述底板上；若干限位块，所述若干限位块均设在所述治具板上，所述若干限位块用于所述料盒的限位；固定机构，所述固定机构与所述治具板相邻布置，所述固定机构用于将所述料盒固定在所述治具板上
。4.
如权利要求3所述的晶圆上料装置，其特征在于，所述固定机构包含：第一气缸和钩爪；所述第一气缸与所述钩爪相连，所述第一气缸伸出，带动所述钩爪勾住所述料盒的底部
。5.
如权利要求2...

【专利技术属性】
技术研发人员：周梦想，
申请(专利权)人：上海铭沣科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：