晶圆标识装置制造方法及图纸

技术编号:40204444 阅读:6 留言:0更新日期:2024-02-02 22:16
本技术公开了一种晶圆标识装置,用于对晶圆进行识别并贴标,包含:定位模块,定位模块用于定位晶圆;运输模块,运输模块与定位模块相衔接,用于传输晶圆至定位模块处;标识模块,标识模块相邻于定位模块,用于识别并贴标晶圆。本技术通过自动化识别和追踪每个晶圆的生产历程,保证了每个晶圆的生产质量和生产过程的可追溯性,高精度的定位有助于后续的识别和贴标,减少了人为操作所带来的失误,提升了生产线的生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体晶圆字符识别领域,特别涉及一种晶圆标识装置


技术介绍

1、半导体晶圆上的标识码通常由数字、字母和特殊符号组成,其特点是每个字符大小一致,间距相等,字符之间没有交叉和干扰,但受到尘埃、污染等因素影响,字符轮廓可能模糊,以往,人工肉眼识别的方法在现代化生产的发展前提下,不能满足和保证生产的飞速发展要求、以及对产品质量的苛刻的要求,因此,为了保证晶圆生产质量和追踪生产流程,需要读取印刷在晶圆上的标识码,并打印张贴。


技术实现思路

1、根据本技术实施例,提供了一种晶圆标识装置,用于对晶圆进行识别并贴标,包含:

2、定位模块,定位模块用于定位晶圆;

3、运输模块,运输模块与定位模块相衔接,用于传输晶圆至定位模块处;

4、标识模块,标识模块相邻于定位模块,用于识别并贴标晶圆。

5、进一步,运输模块包含:

6、输送机构,输送机构用于传输晶圆;

7、转运机构,转运机构连接输送机构和定位模块,转运机构将晶圆从输送机构转运至定位模块。

8、进一步,转运机构包含:

9、轨道,轨道连接输送机构和定位模块;

10、夹爪,夹爪可沿轨道滑动,用于夹取晶圆。

11、进一步,定位模块包含:

12、晶圆平台,晶圆平台用于放置晶圆;

13、驱动组件,驱动组件与晶圆平台相连,带动晶圆平台旋转;

14、定位组件,定位组件用于固定晶圆平台上的晶圆。>

15、进一步,定位组件包含:

16、丝杆;

17、一对夹持板,一对夹持板分别套设在丝杆的两端,夹持板可沿丝杆运动,一对夹持板夹持晶圆。

18、进一步,标识模块包含:

19、读取组件,读取组件用于读取晶圆;

20、打印组件,打印组件与读取组件电性相连,打印组件收取读取组件发出的信号并打印标签;

21、贴标组件,贴标组件置于打印组件与定位模块之间,用于将标签附着至定位模块上的晶圆。

22、进一步,读取组件包含:

23、扫码器;

24、第一驱动器,第一驱动器带动扫码器移动。

25、进一步,打印组件包含:

26、打印机;

27、出标平台,出标平台与打印机的输出端相衔接;

28、扫码枪,扫码枪相邻于出标平台设置,用于检测出标平台上的标签是否正确。

29、进一步,贴标组件包含:

30、吸头,吸头用于吸取标签;

31、第二驱动器,第二驱动器与吸头相连接,带动吸头移动;

32、第三驱动器,第三驱动器与第二驱动器相连接,带动第二驱动器在打印组件与定位模块之间移动。

33、根据本技术实施例的晶圆标识装置,通过自动化识别和追踪每个晶圆的生产历程,保证了每个晶圆的生产质量和生产过程的可追溯性,高精度的定位有助于后续的识别和贴标,减少了人为操作所带来的失误,提升了生产线的生产效率。

34、要理解的是,前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的,并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆标识装置,用于对晶圆进行识别并贴标,其特征在于,包含:

2.如权利要求1所述晶圆标识装置,其特征在于,所述运输模块包含:

3.如权利要求2所述晶圆标识装置,其特征在于,所述转运机构包含:

4.如权利要求1所述晶圆标识装置,其特征在于,所述定位模块包含:

5.如权利要求4所述晶圆标识装置,其特征在于,所述定位组件包含:

6.如权利要求1所述晶圆标识装置,其特征在于,所述标识模块包含:

7.如权利要求6所述晶圆标识装置,其特征在于,所述读取组件包含:

8.如权利要求6所述晶圆标识装置,其特征在于,所述打印组件包含:

9.如权利要求6所述晶圆标识装置,其特征在于,所述贴标组件包含:

【技术特征摘要】

1.一种晶圆标识装置,用于对晶圆进行识别并贴标,其特征在于,包含:

2.如权利要求1所述晶圆标识装置,其特征在于,所述运输模块包含:

3.如权利要求2所述晶圆标识装置,其特征在于,所述转运机构包含:

4.如权利要求1所述晶圆标识装置,其特征在于,所述定位模块包含:

5.如权利要求4所述晶圆标识装置...

【专利技术属性】
技术研发人员:余俊成
申请(专利权)人:上海铭沣科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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