一种屏蔽隔离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种屏蔽隔离装置，属于真空镀膜领域，其包括壳本体、固定构件以及分隔构件，分隔构件与固定构件对应设置，分隔构件与固定构件远离壳本体的一端连接，任一分隔构件包括导热板和冷却结构，冷却结构设置在导热板的内腔中；其中，相邻的固定构件、分隔构件与壳本体共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔。此结构的屏蔽隔离装置，在镀膜腔内对基材进行磁控溅射镀膜时，通过分隔构件中冷却结构对导热板进行换热，从而降低导热板的温度，促使靶材料的余料附着在温度较低的分隔构件上，可避免余料附着在靶极上，造成靶极工作异常，其保证了镀膜过程的可靠性，有利于加强镀膜过程的稳定性。膜过程的稳定性。膜过程的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种屏蔽隔离装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种屏蔽隔离装置。

技术介绍

[0002]新能源汽车行业的快速发展已成为推动中国锂电池铜箔市场需求增长的主要动力。锂电铜箔研发的方向和目的是轻薄化、低成本，PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)铜箔是重要的研发方向之一，其是以PET作为导电薄膜，两边分别以铜膜为镀层的夹层状动力电池集流体材料，可达到电池轻量化的目的。锂电池铜箔的镀膜加工通常将PET基材输送至封闭式的镀膜腔内，以在镀膜腔内实施镀膜工艺。
[0003]现有技术中，镀膜腔通常由多个板体构成，在实际镀膜阶段，板体上会附着较多靶材料的余料，附着杂质在板体上逐渐累积后，容易在镀膜过程中脱落形成掉渣，其易粘连在溅射的靶极上，导致靶极工作异常，降低了镀膜过程的稳定性。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题在于现有技术中附着杂质掉渣，易粘连在溅射的靶极上，导致靶极工作异常，降低了镀膜过程的稳定性的缺陷。
[0005]本技术提供了一种屏蔽隔离装置，包括：
[0006]壳本体；
[0007]若干固定构件，间隔分布设置在所述壳本体内腔壁面上；
[0008]若干分隔构件，设置在所述壳本体内腔内，且与所述固定构件对应设置，所述分隔构件与所述固定构件远离所述壳本体的一端连接；
[0009]其中，相邻的所述固定构件、分隔构件与壳本体共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔；任一所述分隔构件包括导热板、防着板以及冷却结构，所述防着板与所述导热板配置为可拆卸连接，所述防着板连接在所述导热板朝向所述镀膜腔的一侧，所述冷却结构设置在所述导热板的内腔中，以适于对所述导热板换热。
[0010]可选地，所述导热板为板体结构，所述板体结构沿所述壳本体的长度方向延伸设置，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道穿设于所述板体结构中；或
[0011]所述导热板为夹层结构，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道安装在所述夹层结构中。
[0012]可选地，所述导热板为铜板或铜合金板。
[0013]可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括至少一个安装架，适于安装镀膜棍，所述安装架与所述导热板远离所述固定构件的一端可拆卸连接，所述安装架与所述防着板为可拆卸连接。
[0014]可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括连接件，所述固定构件通过所述连接件与所述分隔构件可拆卸连接，所述连接件一侧与所述固定构件可拆卸连接，所述连接件另一侧与所述分隔构件固定连接。
[0015]可选地，所述固定构件包括若干凸出成型在所述壳本体上的加强筋，所述加强筋沿所述壳本体的长度方向延伸设置。
[0016]可选地，所述分隔构件还包括设置在所述壳本体内腔的隔板，所述隔板与所述固定构件间隔设置，所述隔板与壳本体可拆卸连接，所述隔板具有一侧呈开口设置的安装腔，所述安装腔适于安装镀膜预处理装置，所述壳本体与所述隔板围合形成有处理区。
[0017]可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括封盖本体，所述封盖本体与所述壳本体可拆卸连接。
[0018]可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括监控装置，所述监控装置包括若干光源件与探头件，所述光源件和所述探头件与外设电源电连接，所述探头件与外设显示件电连接。
[0019]本技术提供的技术方案，具有如下优点：
[0020]1.本技术提供的屏蔽隔离装置，包括壳本体、固定构件以及分隔构件，设置若干固定构件间隔分布设置在壳本体内腔壁面上；设置若干分隔构件在壳本体内腔内，且分隔构件与固定构件对应设置，分隔构件与固定构件远离壳本体的一端连接；其中，相邻的固定构件、分隔构件与壳本体共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔，任一分隔构件包括导热板、防着板以及冷却结构，防着板与导热板配置为可拆卸连接，防着板连接在导热板朝向所述镀膜腔的一侧，冷却结构设置在导热板的内腔中，以适于对导热板换热。通过固定构件、分隔构件与壳本体配合形成镀膜腔，屏蔽隔离装置在镀膜腔内对基材进行磁控溅射镀膜时，通过分隔构件中冷却结构对导热板进行换热，从而降低导热板的温度，以促使溅射过程中靶材料的余料接触于分隔构件，进而避免靶材料余形成掉渣接触靶极，导致靶极的工作异常，其提高镀膜过程的稳定性；镀膜腔在磁控溅射时，导热板与冷却结构吸收靶材料余料的热量，使余料降温附着于防着板上；通过将防着板可拆卸连接设置在导热板上，在镀膜腔在磁控溅完成后，通过将防着板从导热板上拆下，以便于清理防着板上附着的余料残渣，同时可便于清理壳本体的内腔；且将冷却结构设置在导热板的内腔中，加强结构紧凑，便于导热板与冷却结构间的导热，促进交换导热板传递热量。
[0021]2.本技术提供的屏蔽隔离装置，导热板为板体结构，板体结构沿壳本体的长度方向延伸设置，冷却结构包括至少一个冷却通道，冷却通道穿设于板体结构中。导热板采用板体结构，冷却通道穿设于板体结构内，可通过冷却通道流通冷却流体，从而对导热板进行换热，以达到在分隔构件上附着靶材料余料的目的。相应地，导热板为夹层结构，冷却结构包括至少一个冷却通道，冷却通道安装在夹层结构中。导热板采用夹层结构，通过冷却通道流通冷却流体，从而对导热板进行换热，同样可达到在分隔构件上附着靶材料余料的目的。
[0022]3.本技术提供的屏蔽隔离装置，导热板为铜板或铜合金板。采用铜板或铜合金板进行导热，其热传递效率高，有利于吸收靶材料余料的热量，促使靶材料余料的降温附着于分隔构件上；且其材料具有热膨胀系数小的优点，具有良好抵抗热变形的能力，其热稳定性好，适配于在磁控溅射工作环境中导热传热的使用工况。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述
中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本技术的实施例中提供的屏蔽隔离装置的结构示意图；
[0025]图2为本技术的实施例中提供的屏蔽隔离装置的局部结构示意图；
[0026]图3为本技术的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第一加强筋与导热板的连接示意图；
[0027]图4为本技术的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第一加强筋的结构示意图；
[0028]图5为本技术的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第二加强筋与导热板的连接示意图；
[0029]图6为本技术的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第二加强筋的结构示意图；
[0030]图7为本技术的实施例中提供的屏蔽隔离装置中连接件的结构示意图；
[0031]附图标记说明：
[0032]1‑
壳本体；
[0033]2‑
固定构件；21
‑
第一加强筋；211
‑
第一连接部；212本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种屏蔽隔离装置，其特征在于，包括：壳本体(1)；若干固定构件(2)，间隔分布设置在所述壳本体(1)内腔壁面上；若干分隔构件(3)，设置在所述壳本体(1)内腔内，且与所述固定构件(2)对应设置，所述分隔构件(3)与所述固定构件(2)远离所述壳本体(1)的一端连接；其中，相邻的所述固定构件(2)、分隔构件(3)与壳本体(1)共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔，任一所述分隔构件(3)包括导热板(31)、防着板(32)以及冷却结构，所述防着板(32)与所述导热板(31)配置为可拆卸连接，所述防着板(32)连接在所述导热板(31)朝向所述镀膜腔的一侧，所述冷却结构设置在所述导热板(31)的内腔中，以适于对所述导热板(31)换热。2.根据权利要求1所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，所述导热板(31)为板体结构，所述板体结构沿所述壳本体(1)的长度方向延伸设置，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道穿设于所述板体结构中；或所述导热板(31)为夹层结构，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道安装在所述夹层结构中。3.根据权利要求2所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，所述导热板(31)为铜板或铜合金板。4.根据权利要求1所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，还包括至少一个安装架(4)，适于安装镀膜棍，所述安装架(4)与所述导热板(31)远离所述固定构件(2)的一端可拆卸连接，所述安装架(4)与所述防着板(32)为可拆卸...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建波，
申请(专利权)人：昆山东威科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：