一种通孔桥连缺陷确定方法及装置制造方法及图纸

本申请提供一种通孔桥连缺陷确定方法及装置，方法包括：获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离，形成最小距离矩阵，引入套刻误差的统计特性，确定最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离，根据多个目标距离确定多个安全距离位置点，根据安全距离位置点拟合安全距离曲线，利用安全距离曲线进行积分，得到第一通孔和第二通孔之间存在桥连缺陷的失效区域和不存在桥连缺陷的成功区域，后续就可以利用该失效区域和成功区域直接确定两个通孔之间是否存在桥连缺陷，并且利用该失效区域和成功区域指导通孔的优化设计和刻蚀工艺参数等。孔的优化设计和刻蚀工艺参数等。孔的优化设计和刻蚀工艺参数等。

【技术实现步骤摘要】
一种通孔桥连缺陷确定方法及装置


[0001]本专利技术涉及半导体领域，特别涉及一种通孔桥连缺陷确定方法及装置。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，集成电路的特征尺寸持续微缩，在集成电路的制造中，可以引入双重曝光工艺(double patterning，DPT)拓展光刻的物理极限，实现更加细微的电路刻蚀。
[0003]双重曝光工艺包括光刻
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刻蚀
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光刻
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刻蚀(litho
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etch
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litho
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etch，LELE)工艺，该LELE工艺可以应用于通孔层的刻蚀。在实际工艺过程中，由于套刻误差以及线宽(CD)变化，都会引起通孔位置产生变化，导致引起通孔桥连缺陷，进而影响集成电路的制造。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种通孔桥连缺陷确定方法及装置，能够确定是否存在通孔桥连缺陷，并且利用该确定方法优化通孔设计以及工艺参数。
[0005]本申请实施例提供了一种通孔桥连缺陷确定方法，所述方法包括：
[0006]获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离，形成最小距离矩阵；
[0007]确定所述最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离；
[0008]根据多个所述目标距离确定多个安全距离位置点；
[0009]根据所述安全距离位置点拟合安全距离曲线；
[0010]利用所述安全距离曲线进行积分，得到所述第一通孔和所述第二通孔之间存在桥连缺陷的失效区域和不存在桥连缺陷的成功区域。
[0011]可选地，所述根据多个所述目标距离确定多个安全距离位置点包括：
[0012]根据所述目标距离确定所述目标距离对应的阈值位置点；
[0013]将和所述阈值位置点横坐标相同，纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为安全距离位置点。
[0014]可选地，所述将和所述阈值位置点横坐标相同，纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为安全距离位置点包括：
[0015]将和所述阈值位置点横坐标相同，纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为初始位置点；
[0016]多个所述初始位置点中包括横坐标相同的多个目标位置点，根据所述第一通孔和所述第二通孔的位置关系在多个所述目标位置点中确定安全距离位置点。
[0017]可选地，所述第一通孔和所述第二通孔之间的位置关系包括第一位置关系和第二位置关系，所述第一位置关系为以所述第一通孔为原点，所述第二通孔位于所述第一通孔的第一象限和第三象限，所述第二位置关系为以所述第一通孔为原点，所述第二通孔位于所述第一通孔的第二象限和第四象限；
[0018]所述利用所述安全距离曲线进行积分包括：
[0019]根据所述第一位置关系，对二维方向进行积分，所述二维方向包括X方向和Y方向，所述X方向和所述Y方向垂直，所述Y方向的积分区间为所述安全距离曲线至正无穷；
[0020]或，
[0021]根据所述第二位置关系，对二维方向进行积分，所述Y方向的积分区间为负无穷至所述安全距离曲线。
[0022]可选地，所述获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离包括：
[0023]所述第一通孔位置固定，所述第二通孔根据高斯概率密度分布在固定范围内进行二维方向的移动，所述二维方向包括X方向和Y方向，所述X方向和所述Y方向垂直；
[0024]在所述第二通孔沿着所述X方向和所述Y方向进行移动时，获取所述第一通孔和所述第二通孔之间的最小距离。
[0025]可选地，所述确定所述最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离包括：
[0026]获取所述最小距离矩阵中的目标行，所述目标行为所述最小距离矩阵中的任一行；
[0027]确定所述目标行中第一个大于阈值的目标距离，所述阈值根据所述第一通孔和所述第二通孔不存在桥连缺陷确定。
[0028]可选地，所述获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离，形成最小距离矩阵包括：
[0029]获取固定位置不同图形轮廓的第一通孔和不同位置处的不同图形轮廓的第二通孔之间的距离，形成最小距离矩阵。
[0030]可选地，所述第一通孔和所述第二通孔设置于不同通孔层。
[0031]本申请实施例提供了一种通孔桥连缺陷确定装置，所述装置包括：
[0032]获取单元，用于获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离，形成最小距离矩阵；
[0033]第一确定单元，用于确定所述最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离；
[0034]第二确定单元，用于根据多个所述目标距离确定多个安全距离位置点；
[0035]拟合单元，用于根据所述安全距离位置点拟合安全距离曲线；
[0036]积分单元，用于利用所述安全距离曲线进行积分，得到所述第一通孔和所述第二通孔之间存在桥连缺陷的失效区域和不存在桥连缺陷的成功区域。
[0037]可选地，所述第二确定单元，用于：
[0038]根据所述目标距离确定所述目标距离对应的阈值位置点；
[0039]将和所述阈值位置点横坐标相同，纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为安全距离位置点。
[0040]本申请实施例提供了一种通孔桥连缺陷确定方法，方法包括：获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离，形成最小距离矩阵，确定最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离，根据多个目标距离确定多个安全距离位置点，根
据安全距离位置点拟合安全距离曲线，利用安全距离曲线进行积分，得到第一通孔和第二通孔之间存在桥连缺陷的失效区域和不存在桥连缺陷的成功区域，由此可见，本申请中通过调整第二通孔的位置，引入套刻误差的统计特性，根据最小距离矩阵得到多个安全距离位置点，进而得到第一通孔和第二通孔之间的安全距离曲线，利用安全距离曲线进行积分，则得到第一通孔和第二通孔之间存在桥连缺陷的失效区域和不存在桥连缺陷的成功区域，后续就可以利用该失效区域和成功区域直接确定两个通孔之间是否存在桥连缺陷，并且利用该失效区域和成功区域指导通孔的优化设计和刻蚀工艺参数等。
附图说明
[0041]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0042]图1示出了的一种通孔桥连缺陷示意图；
[0043]图2示出了本申请实施例提供的一种通孔桥连缺陷确定方法的流程示意图；
[0044]图3示出了本申请实施例提供的一种通孔示意图；
[0045]图4示出了本申请实施例提供的一种最小距离矩阵示意图；
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通孔桥连缺陷确定方法，其特征在于，所述方法包括：获取固定位置的第一通孔和不同位置处的第二通孔之间的距离，形成最小距离矩阵；确定所述最小距离矩阵中每一行第一个大于或等于阈值的目标距离；根据多个所述目标距离确定多个安全距离位置点；根据所述安全距离位置点拟合安全距离曲线；利用所述安全距离曲线进行积分，得到所述第一通孔和所述第二通孔之间存在桥连缺陷的失效区域和不存在桥连缺陷的成功区域。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据多个所述目标距离确定多个安全距离位置点包括：根据所述目标距离确定所述目标距离对应的阈值位置点；将和所述阈值位置点横坐标相同，纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为安全距离位置点。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将和所述阈值位置点横坐标相同，纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为安全距离位置点包括：将和所述阈值位置点横坐标相同，纵坐标前移一个位置或纵坐标后移一个位置的位置点确定为初始位置点；多个所述初始位置点中包括横坐标相同的多个目标位置点，根据所述第一通孔和所述第二通孔的位置关系在多个所述目标位置点中确定安全距离位置点。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔之间的位置关系包括第一位置关系和第二位置关系，所述第一位置关系为以所述第一通孔为原点，所述第二通孔位于所述第一通孔的第一象限和第三象限，所述第二位置关系为以所述第一通孔为原点，所述第二通孔位于所述第一通孔的第二象限和第四象限；所述利用所述安全距离曲线进行积分包括：根据所述第一位置关系，对二维方向进行积分，所述二维方向包括X方向和Y方向，所述X方向和所述Y方向垂直，所述Y方向的积分区间为所述安全距离曲线至正无穷；或，根据所述第二位置关系，对二维方向进行积分，所述Y方向的积分区间为负无穷至所述安全距离曲线。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取固定位置的第一通孔和不同...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏晓菁，韦亚一，李静静，粟雅娟，
申请(专利权)人：广东省大湾区集成电路与系统应用研究院，
类型：发明
国别省市：