化学桶槽气氛保持装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术是有关一种化学桶槽气氛保持装置及其方法。该化学桶槽气氛保持装置，包含：一氮气预湿器、一温度感测器、一化学桶槽、一湿度感测器及一控制器。该化学桶槽气氛保持方法，包含：利用氮气及溶液进入氮气预湿器，经由出口、水气分离器将带有湿气氮气与纯水气分离，再将带有湿气氮气导入第三入口至化学桶槽内，使氮气含有水气，维持化学桶槽内特定温度与湿度；利用加热板温度升高时将氮气增加含水量，经由出口、第三入口至化学桶槽内，使氮气含有水气；利用温度感测器的量测温度，经由控制器加以控制，以调整加热板的作动。本发明专利技术可达成化学桶槽内相对温度及湿度的气氛平衡，可减少化学桶槽内化学物质在桶槽壁上产生结晶现象，并能维持化学物质的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气氛保持装置及其方法，特别是涉及一种适用于存放 化学液体桶槽，可达成化学桶槽内相对温度及湿度气氛平衡，减少化学桶 槽内化学物质在桶槽壁上产生结晶现象，并能维持化学物质稳定性的化学 桶槽气氛保持装置及其方法。
技术介绍
现有习用的化学桶槽气氛保持装置，是利用对化学桶槽的直接加温或加湿的设计，以达到短暂的气氛平衡的效果。请参阅图4A及图4B所示，图 4a是现有习用的化学桶槽气氛保持装置的第一结构平面图，图4b是现有习 用的化学桶槽气氛保持装置的第二结构平面图。其中，现有习用的化学桶槽 气氛保持装置如图4A所示，在化学桶槽71的外部设置一加湿器711,或是 如图4B所示，在化学桶槽71的外部设置一加热器712，以使化学桶槽71内 部的气氛平衡，藉此可以减少化学桶槽71的内部桶壁上产生结晶。 此现有习用的化学桶槽气氛保持装置存在以下的缺点1、 化学桶槽71内部的气体成份不明，稳定性不佳，加温时则容易产生 化学反应，而影响化学物质在成份上的品质。2、 化学桶槽71内部的温度及相对湿度不容易控制，因此在效能方面无 法产生连续的气氛平ff效果，而不能有效的抑制结晶。前述现有习用的化学桶槽气氛保持装置，尽管能够达成在减少结晶产 生上所具备的基本要求，但是在使用时的稳定性及效能上，皆存在诸多的 缺点与不足，而无法发挥出更具体的产业应用性。由此可见，上述现有的化学桶槽气氛保持装置在产品结构与使用上显 然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问 题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设 计被发展完成，而一般产品及方法又没有适切的结构及方法能够解决上述 问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新的化学 桶槽气氛保持装置及其方法，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业 界极需改进的目标。有鉴于上述现有的化学桶槽气氛保持装置存在的缺陷，本专利技术人基于 从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运 用，积极加以研究创新，以期创设一种新的，能够改进一般现有的化学桶槽气氛保持装置，使其更具有实用性。经过 不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值 的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有的化学桶槽气氛保持装置存在的缺陷，而 提供一种新的化学桶槽气氛保持装置，所要解决的技术问题是使其可以解 决现有的化学桶槽气氛保持装置在稳定性及效能上等方面存在不足的缺 点，以及在实用化技术等方面受到限制的问题， 一方面可以达成稳定化学桶 槽内化学物质的化学性质，另一方面能够产生连续的气氛平衡效果，可有效 抑制结晶，除达成所应具备的基本功能外，并可使其兼具有能满足产业应 用性的实际发展与要求，非常适于实用。本专利技术的另一目的在于，提供一种新的化学桶槽气氛保持方法，所要 解决的技术问题是使其藉由氮气预湿器、水气分离器、加热板、温度感测 器及湿度感测器等装置，将氮气经由预湿及分离纯水气等程序后，成为带 有湿气的氮气，并将其排入化学桶槽内，以维持化学桶槽内特定的湿度，达 成化学桶槽内的气氛平衡，藉此可以减少化学桶槽内的化学物质在桶槽壁 上产生结晶的现象，而可以维持化学物质的稳定性，非常适于实用。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术提出的一种化学桶槽气氛保持装置，其包含 一氮气预湿器，具有一 第一入口、 一第二入口及一出口，该第一入口通入氮气，该第二入口通入溶 液，该出口导出加湿后的氮气，另，该氮气预湿器的底部设有一加热板； 一温 度感测器，是设置于该氮气预湿器壁上，可感测该氮气预湿器内温度的装 置； 一化学桶槽，具有 一 第三入口 ，该第三入口是连接该出口 ； 一湿度感测 器，是设置于该化学桶槽壁上，可感测该化学桶槽内湿度的装置；以及一控 制器，是分别连接且控制该加热板、该温度感测器及该湿度感测器；其中，当 该氮气及该溶液进入该氮气预湿器，藉由该湿度感测器的量测湿度，经由该 控制器加以控制，以调整该加热板的温度，当该加热板温度升高时，能将氮 气增加其含水量，经由该出口、该第三入口至该化学桶槽内，使该氮气含有 水气，另藉由该温度感测器的量测温度，经由该控制器加以控制，以调整 该加热纟反的作动。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一 步实现。 前述的化学桶槽气氛保持装置，其更包含一水气分离器，其是介于该 出口及该第三入口，该水气分离器具有一输入管路及一输出管路，该输入 管路连接该出口 ，该输出管路连接该第三入口，该水气分离器是将该氮气预 湿器所加湿的氮气与纯水气分离的装置。4前述的化学桶槽气氛保持装置，其中所述的氮气预湿器的第 一入口及 第二入口处前分别各设有 一 自动补充阀。本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本专利技术提出的一种化学桶槽气氛保持方法，其包含以下步骤(a).利用该氮气 及该溶液进入该氮气预湿器，藉由该湿度感测器的量测湿度，经由该控制器 加以控制，以调整该加热板的温度；(b).利用该加热板温度升高时，能够将 氮气增加其含水量，经由该出口、该第三入口至该化学桶槽内，使氮气含有 水气；以及(c).利用该温度感测器的量测温度，经由该控制器加以控制，以 调整该加热板的作动。本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案 可知，本专利技术的主要
技术实现思路
如下为了达到上述目的，本专利技术提供了一种化学桶槽气氛保持装置，其包 含一氮气预湿器、 一温度感测器、 一化学桶槽、 一湿度感测器以及一控制 器。氮气预湿器，具有一第一入口、 一第二入口及一出口，第一入口通入 氮气，第二入口通入溶液，出口是导出加湿后的氮气，另外，该氮气预湿器 底部设有一加热板；温度感测器是设置于该氮气预湿器壁上，可感测氮气预 湿器内温度的装置；化学桶槽具有一第三入口，第三入口是连接出口；湿度 感测器是设置于该化学桶槽壁上，可感测化学桶槽内湿度的装置；以及控 制器是分别连接且控制加热板、温度感测器及湿度感测器；其中，当氮气及 溶液进入氮气预湿器，经由出口、第三入口至化学桶槽内，使氮气含有水 气，藉由湿度感测器的量测湿度，经由控制器加以控制，以调整加热板的温 度，当加热板温度升高时，能将氮气增加其含水量，另藉由温度感测器的量 测温度，经由控制器加以控制，以调整加热板的作动。另外为达到上述目的，本专利技术还提供了一种化学桶槽气氛保持方法，其 包含s31:利用氮气及该溶液进入氮气预湿器，经由出口、经水气分离器 将带有湿气的氮气与纯水气分离，再将带有湿气的氮气导入第三入口至化 学桶槽内，使氮气含有水气，以维持化学桶槽内特定的温度与湿度。s31利 用加热板温度升高时，能将氮气增加其含水量，经由出口、第三入口至化 学桶槽内，使氮气含有水气。s33:利用温度感测器的量测温度，经由控制 器加以控制，以调整加热板的作动。借由上述技术方案，本专利技术至少具有 下列优点及有益效果1 、控制器可以在最短的时间内达成维持化学桶槽内气氛平衡所需的温 度、湿度的状态条件，能够减緩甚至停止产生结晶速率。2、利用控制器的连结，配合温度、湿度感测器自动调节加湿氮气的温 湿度，可以有效的减少化学桶槽内壁结晶的产生。3、加湿氮气进入化学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学桶槽气氛保持装置，其特征在于其包含：　一氮气预湿器，具有一第一入口、一第二入口及一出口，该第一入口通入氮气，该第二入口通入溶液，该出口导出加湿后的氮气，另，该氮气预湿器的底部设有一加热板；　一温度感测器，是设置于该氮气预湿器壁上，可感测该氮气预湿器内温度的装置；　一化学桶槽，具有一第三入口，该第三入口是连接该出口；　一湿度感测器，是设置于该化学桶槽壁上，可感测该化学桶槽内湿度的装置；以及　一控制器，是分别连接且控制该加热板、该温度感测器及该湿度感测器；　其中，当该氮气及该溶液进入该氮气预湿器，藉由该湿度感测器的量测湿度，经由该控制器加以控制，以调整该加热板的温度，当该加热板温度升高时，能将氮气增加其含水量，经由该出口、该第三入口至该化学桶槽内，使该氮气含有水气，另藉由该温度感测器的量测温度，经由该控制器加以控制，以调整该加热板的作动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黎源欣，
申请(专利权)人：亚泰半导体设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]