一种用于MOCVD加热器的绝缘组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于MOCVD加热器的绝缘组件，用以适配连接件、第一基板和第二基板，第一基板和第二基板套设于连接件，包括：绝缘套管，套设于连接件，包括贯穿第二基板的第一绝缘部，第一绝缘部包括突出于第二基板的第一突出部；第一固定绝缘件，固定绝缘件内侧设置有第一凹槽，第一凹槽与第一突出部相适配；第一凹槽与第一绝缘部使连接件与第二基板绝缘隔离。本实用新型专利技术可以在保证强度的同时提高电气隔离安全性，尤其适用于结构紧凑、安装空间小的加热器系统。间小的加热器系统。间小的加热器系统。

【技术实现步骤摘要】
一种用于MOCVD加热器的绝缘组件


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种用于MOCVD加热器的绝缘组件。

技术介绍

[0002]在半导体生产过程都需高温环境，都要使用各类加热器，加热器本身部件在使用过程中都处于高温环境，且结构复杂，都是多层板结构，每层板电气属性都不同，最少有正极、负极、悬空三种电气属性。
[0003]为了降低安装和维护难度，需要将电气属性不同的多层板连接并固定在一起，形成一个整体，方便安装和维护。不同电气属性的板连接在一起，互相隔离的可靠性至关重要，直接影响加热器的品质甚至整台设备的安全。
[0004]现有技术中通常使用圆柱形绝缘陶瓷贯穿两个不同电气属性的基板，然后再通过固定陶瓷将基板隔离开，最后使用金属连接件穿过基板、固定陶瓷和绝缘陶瓷后通过固定部进行固定。但该结构在安装空间较小时，固定陶瓷和绝缘陶瓷的尺寸就要求较小，因此其壁厚也会减小，导致安装或使用时陶瓷容易破裂，造成损毁。
[0005]为了解决上述问题，如图1所示，现有技术将圆柱形绝缘陶瓷更换为若干剖面为T型的陶瓷3和4插入电极板1和2，金属杆6作为连接件穿过基板和T型的陶瓷，然后通过固定部5固定。该结构在安装空间较小时，由于T型的陶瓷3和4除了在贯穿电极板的地方外径较小以外，其他地方均可具有较大的外径，因此具有较佳的强度，但T型的陶瓷3和4之间的间隙会导致金属杆6与电极板1或2之间间隙太小，使用过程中容易被电流击穿导致短路造成损毁。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种用于MOCVD加热器的绝缘组件，以在保证强度的同时提高电气隔离安全性。
[0007]本技术提供的用于MOCVD加热器的绝缘组件，用以适配MOCVD加热器中的连接件、第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板套设于所述连接件，包括：绝缘套管，套设于所述连接件，包括贯穿第二基板的第一绝缘部，所述第一绝缘部包括突出于所述第二基板的第一突出部；第一固定绝缘件，所述固第一定绝缘件内侧设置有第一凹槽，所述第一凹槽与所述第一突出部相适配；所述第一凹槽与所述第一绝缘部使所述连接件与所述第二基板绝缘隔离。
[0008]进一步，所述绝缘套管还具有支撑绝缘部，所述支撑绝缘部设置于所述第一基板和第二基板之间。
[0009]进一步，所述支撑绝缘部距离所述连接件中心轴的最大距离，大于所述第一绝缘部距离所述连接件中心轴的最大距离。
[0010]进一步，所述支撑绝缘部的外径大于所述第一绝缘部的外径。
[0011]进一步，所述第一基板和第二基板之间具有两个所述绝缘套管，两个所述绝缘套
管的支撑绝缘部相邻。
[0012]进一步，所述支撑绝缘部的一端与所述第一绝缘部形成一体，所述支撑绝缘部的另一端包括第二绝缘部，所述第二绝缘部贯穿所述第一基板，所述第二绝缘部具有突出于所述第一基板的第二突出部。
[0013]进一步，所述第一固定绝缘件开设有中心穿孔，所述连接件通过所述中心穿孔贯穿所述第一固定绝缘件，所述中心穿孔的尺寸小于所述第一凹槽的尺寸。
[0014]进一步，所述第一固定绝缘件远离绝缘套管的一侧设置有锁紧件，所述锁紧件套设于所述连接件，所述锁紧件沿所述连接件的方向移动调节，将所述第一固定绝缘件锁紧于所述绝缘套管。
[0015]进一步，所述第一突出部突出于第二基板的高度为0.1mm至5mm。
[0016]进一步，所述凹槽的直径为3mm至9mm。
[0017]进一步，所述支撑绝缘部的管径小于等于10mm。
[0018]本技术通过使绝缘套管贯穿并突出第二基板，在固定绝缘件上设置凹槽，使突出部和凹槽相配合，使得连接件与第二基板之间绝缘隔离，且增大了基板与连接件之间的电气距离，能避免连接件与第二基板之间的间隙过小，增强了连接件与基板之间的电气绝缘性，从而避免间隙在使用过程中被电流击穿，进而避免因为短路而造成损毁，提高电气隔离安全性。进一步的，通过将绝缘套管的中间部分设计成具有较大外径以保证强度，因此可以在保证强度的同时提高电气隔离安全性，尤其适用于结构紧凑、安装空间小的加热器系统。
附图说明
[0019]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本技术的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0020]图1是现有的一种用于MOCVD加热器的可耐高温的绝缘结构组件的结构示意图；
[0021]图2是本技术较佳实施例提供的用于MOCVD加热器的绝缘组件的结构示意图；
[0022]图3是本技术较佳实施例提供的另一用于MOCVD加热器的绝缘组件的结构示意图。
具体实施方式
[0023]以下结合说明书附图及具体实施例对本申请技术方案做进一步的详细阐述。除非另有定义，本申请所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。
[0024]可以参阅图2，本技术较佳实施例提供的一种用于MOCVD加热器的绝缘组件，用以适配MOCVD加热器中的连接件20、第一基板10和第二基板30，所述第一基板10和第二基板30套设于所述连接件20，包括：绝缘套管40，套设于所述连接件20，包括贯穿所述第二基板30的第一绝缘部42，所述第一绝缘部42具有突出于所述第二基板30的第一突出部422；第一固定绝缘件61，所述第一固定绝缘件61内侧设置有第一凹槽62，所述第一凹槽62与所述第一突出部422相适配；所述第一凹槽62与所述第一绝缘部42使所述连接件20与所述第二
基板30绝缘隔离。
[0025]本实施例所述的绝缘组件可耐高温，在适配并紧固多个层叠设置且电气属性不同的基板后，可以用于MOCVD加热器，保持基板之间的绝缘隔离和位置稳定。所述绝缘组件通过使绝缘套管的贯穿并突出任意基板而具有一突出部，配套设置带有凹槽的固定绝缘件，使突出部和凹槽相配合，使得连接件与该基板之间绝缘隔离，且增大了该基板与连接件之间的电气距离，在保证强度的同时提高了电气隔离安全性。
[0026]在一些实施例中，连接件20可以是金属螺杆，呈杆状或条状，也可以是片状的支撑片，适宜在其上做出多种形状。所述连接件20用于贯穿连接多块基板，多块基板包括上述第一基板10和第二基板30。多块基板层叠设置、相互连接固定并绝缘，且电气属性不同。示例性地，第一基板10为极性基板，第二基板30为适配基板。第一基板10的电气属性可以为正极、负极或悬空中的任意一种，第二基板30的电气属性不同于第一基板10。第一基板10和第二基板30可以是导电基板，如金属板，也可以是绝缘基板，绝缘基板的材料依基板的电气属性而定。绝缘套管40和第一固定绝缘件61可以为陶瓷套管或其他可耐高温的绝缘套管。
[0027]相邻基板间固定有绝缘套管40，可以继续参阅图2，第一基板10和第二基板30之间固定有绝缘套管40，所述绝缘套管4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于MOCVD加热器的绝缘组件，用以适配MOCVD加热器中的连接件(20)、第一基板(10)和第二基板(30)，所述第一基板(10)和第二基板(30)套设于所述连接件(20)，其特征在于，包括：绝缘套管(40)，套设于所述连接件(20)，包括贯穿所述第二基板(30)的第一绝缘部(42)，所述第一绝缘部(42)具有突出于所述第二基板(30)的第一突出部(422)；第一固定绝缘件(61)，所述第一固定绝缘件(61)内侧设置有第一凹槽(62)，所述第一凹槽(62)与所述第一突出部(422)相适配；所述第一凹槽(62)与所述第一绝缘部(42)使所述连接件(20)与所述第二基板(30)绝缘隔离。2.根据权利要求1所述的用于MOCVD加热器的绝缘组件，其特征在于，所述绝缘套管(40)还具有支撑绝缘部(44)，所述支撑绝缘部(44)设置于所述第一基板(10)和第二基板(30)之间。3.根据权利要求2所述的用于MOCVD加热器的绝缘组件，其特征在于，所述支撑绝缘部(44)的外径大于所述第一绝缘部(42)的外径。4.根据权利要求2所述的用于MOCVD加热器的绝缘组件，其特征在于，所述第一基板(10)和第二基板(30)之间具有两个所述绝缘套管(40)，两个所述绝缘套管(40)的所述支撑绝缘部(44)相邻。5.根据权利要求2所述的用于MOCVD加热器的绝缘组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：万飞华，周慧娟，
申请(专利权)人：楚赟科技绍兴有限公司，
类型：新型
国别省市：