一种氧化铌靶材的制备装置制造方法及图纸

技术编号:37749200 阅读:33 留言:0更新日期:2023-06-05 23:35
本实用新型专利技术公开了一种氧化铌靶材的制备装置,涉及到靶材制备技术领域,包括操作台,所述操作台的中部设置有打磨台,所述打磨台的四角处均固定连接有支撑板,所述支撑板远离打磨台的一端固定连接在操作台上,所述操作台一侧的中部固定连接有抽气泵,所述抽气泵的进气口连通有软管,所述软管贯穿操作台的侧壁并伸入打磨台的内部,所述固定组件包括导管和吸盘,所述导管的一端在打磨台内部与软管连通,所述导管的另一端与吸盘连通。该氧化铌靶材的制备装置,将氧化铌靶材放置在吸盘上后,启动抽气泵抽气工作,通过软管、导管和吸盘向下吸住氧化铌靶材,从而从顶部对氧化铌靶材进行打磨,保持氧化铌靶材的稳定性,无需夹持,避免出现夹痕。夹痕。夹痕。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化铌靶材的制备装置


[0001]本技术涉及靶材制备
,特别涉及一种氧化铌靶材的制备装置。

技术介绍

[0002]氧化铌靶材的制备过程中通常需要进行打磨以确保靶材表面的光滑程度,现有的打磨操作中往往使用夹具从靶材的侧面进行夹持,夹持部位难以进行打磨,需要人工转动靶材更换夹持部位再次打磨,降低了打磨操作的工作效率。因此,专利技术一种氧化铌靶材的制备装置来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种氧化铌靶材的制备装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种氧化铌靶材的制备装置,包括操作台,所述操作台呈回字形,所述操作台的中部设置有打磨台,所述打磨台的四角处均固定连接有支撑板,所述支撑板远离打磨台的一端固定连接在操作台上,所述操作台一侧的中部固定连接有抽气泵,所述抽气泵的进气口连通有软管,所述软管贯穿操作台的侧壁并伸入打磨台的内部,所述打磨台的上端设置有多组固定组件,所述固定组件包括导管和吸盘,所述导管的一端在打磨台内部与软管连通,所述导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧化铌靶材的制备装置,包括操作台(1),其特征在于:所述操作台(1)呈回字形,所述操作台(1)的中部设置有打磨台(2),所述打磨台(2)的四角处均固定连接有支撑板(3),所述支撑板(3)远离打磨台(2)的一端固定连接在操作台(1)上,所述操作台(1)一侧的中部固定连接有抽气泵(5),所述抽气泵(5)的进气口连通有软管(4),所述软管(4)贯穿操作台(1)的侧壁并伸入打磨台(2)的内部,所述打磨台(2)的上端设置有多组固定组件,所述固定组件包括导管(6)和吸盘(7),所述导管(6)的一端在打磨台(2)内部与软管(4)连通,所述导管(6)的另一端与吸盘(7)连通。2.根据权利要求1所述的一种氧化铌靶材的制备装置,其特征在于:所述导管(6)的中部设置有控制组件,所述控制组件包括控制球(25)、连轴(26)、螺纹杆(24)和旋杆(23),所述控制球(25)呈半球状,所述控制球(25)的一端固定连接在连轴(26)上,所述控制球(25)的另一端固定连接在螺纹杆(24)上,所述连轴(26)远离控制球(25)的一端转动连接在导管(6)的内壁上,所述导管(6)的侧壁开设有与螺纹杆(24)吻合的螺纹孔,所述螺纹杆(24)螺纹连接在螺纹孔内,所述螺纹杆(24)远离控制球(25)的一端固定连接有旋杆(23)。3.根据权利要求1所述的一种氧化铌靶材的制备装置,其特征在于:所述打磨台(2)的上方设置有打磨组件,所述打磨组件包括吊架(14)、第二电机(15)、转轴(17)和打磨盘(16),所述第二电机(15)固定连接在吊架(14)的上表面,所述第二电机(15)的驱动轴贯穿吊架(14)并固定连接在转轴(17)的顶部,所述打磨盘(16)固定连接在转轴(17)的底部上,所述吊架(14)远离第二电机(15)的一端固定连接有T型块。4.根据权利要求3所述的一种氧化铌靶材的制备装置,其特征在于:所述操作台(...

【专利技术属性】
技术研发人员:张炜
申请(专利权)人:扬州三和化工有限公司
类型:新型
国别省市:

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