下载一种氧化铌靶材的制备装置的技术资料

文档序号:37749200

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本实用新型公开了一种氧化铌靶材的制备装置,涉及到靶材制备技术领域,包括操作台,所述操作台的中部设置有打磨台,所述打磨台的四角处均固定连接有支撑板,所述支撑板远离打磨台的一端固定连接在操作台上,所述操作台一侧的中部固定连接有抽气泵,所述抽气泵...
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