用于硅片的脱胶架制造技术

本公开涉及一种用于硅片的脱胶架，配置为与脱胶装置配合连接以进行硅片的脱胶作业，上述脱胶架包括用于支撑硅片的底座、立设在底座上且彼此面对的两个侧板以及设置在两个侧板之间的用于固定硅片的夹紧结构，两个侧板分别设置在底座在长度方向上的两端，侧板包括用于与脱胶装置配合连接的第一板体和与底座连接的第二板体，其中，至少一个侧板中的第一板体可上下翻转地与第二板体连接。通过上述技术方案，在料车在送取硅片时可以将第二板体翻转，通过增加脱胶架上方的料车作业空间使得脱胶架能够适应多种料车送取硅片，降低了生产成本。料车在送取硅片时也能够更加稳定，避免了硅片磕碰的风险，送取硅片也更加节约时间，提高生产效率。高生产效率。高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
用于硅片的脱胶架


[0001]本公开涉及硅片生产领域，具体地，涉及一种用于硅片的脱胶架。

技术介绍

[0002]相关技术中，对硅片进行脱胶作业时，需要用料车将硅片送入至脱胶架，将承载有硅片的脱胶架送入脱胶装置中进行脱胶工序，待脱胶完成后将脱胶架从脱胶装置中取出，并用料车将硅片从脱胶架中取出并转运至下一道工序，在此过程中，不同的脱胶架需要与之对应的料车，极大地增加了生产成本。当料车与脱胶架不能对应时，脱胶架上的部分结构会阻碍料车作业，导致料车在送取硅片时难以稳定，有硅片磕碰的风险，送取硅片的过程也更加耗费时间，降低生产效率。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种用于硅片的脱胶架，以解决相关技术中对硅片进行脱胶作业时每一种脱胶架都需要对应形状的料车而增加生产成本的问题。
[0004]为了实现上述目的，本公开提供一种用于硅片的脱胶架，配置为与脱胶装置配合连接以进行硅片的脱胶作业，所述脱胶架包括用于支撑硅片的底座、立设在所述底座上且彼此面对的两个侧板以及设置在两个所述侧板之间的用于固定硅片的夹紧结构，两个所述侧板分别设置在所述底座在长度方向上的两端，所述侧板包括用于与脱胶装置配合连接的第一板体和与所述底座连接的第二板体，其中，至少一个所述侧板中的所述第一板体被配置为可相对于所述第二板体上下翻转地与所述第二板体连接。
[0005]可选地，所述第一板体的在所述底座的宽度方向上的两个端面分别设置有用于与脱胶装置配合连接的第三板体，所述第三板体垂直于所述第一板体，所述第三板体可转动地与所述第二板体连接以实现所述第一板体可上下翻转地与所述第二板体连接。
[0006]可选地，所述第二板体在所述底座的宽度方向上的两个端面上分别设置有第一固定轴，所述第三板体上开设有安装孔，所述第一固定轴可自转地插入在所述安装孔内。
[0007]可选地，所述第二板体包括设置在所述第一固定轴的下方的固定块，所述第三板体的下端开设有开口朝下的第一缺口，所述安装孔为腰型孔，所述固定块可滑动地设置在所述第一缺口内以固定未翻转时的所述第一板体。
[0008]可选地，所述第三板体上设置有可转动的第一挂钩，所述第一挂钩上开设有能够与所述第一固定轴过盈配合的第二缺口和能够与所述固定块过盈配合的第三缺口。
[0009]可选地，所述第一板体和所述第二板体之间通过合页连接，所述第一板体的在所述底座的宽度方向上的两个端面分别设置有用于与脱胶装置配合连接的第三板体，所述第三板体垂直于所述第一板体。
[0010]可选地，所述脱胶架还包括方管，所述方管沿所述底座的长度方向延伸且两端分别与所述第二板体连接，所述第三板体上设置有第二挂钩，所述方管上设置有第二固定轴，所述第二挂钩能够与所述第二固定轴配合以固定未翻转时的所述第一板体。
[0011]可选地，所述脱胶架还包括方管，所述方管沿所述底座的长度方向延伸且两端分别与所述第二板体连接，所述方管上还设置有限位横梁，所述限位横梁沿所述底座的宽度方向延伸设置并且端部设置在所述方管上，其中，所述限位横梁朝向硅片的端面形成有向下倾斜的斜坡面，用于在硅片安装时导向。
[0012]可选地，所述限位横梁的上端面上还设置有从所述限位横梁的上端面向上凸出的限位凸块，所述限位凸块用于将错位安装的硅片的一侧顶起。可选地，所述夹紧结构包括多个沿所述底座的长度方向延伸的夹紧杆，所述夹紧杆的两端分别设置在所述第二板体上，所述夹紧杆被配置为能够沿所述底座的宽度方向改变安装位置。
[0013]可选地，所述第二板体上开设有用于安装所述夹紧杆的多个第一异形孔，所述第一异形孔包括第一拆装孔、多个第一定位孔以及用于连通所述第一拆装孔和各个所述第一定位孔的第一通道，所述第一拆装孔与所述夹紧杆间隙配合，所述第一定位孔与所述夹紧杆过渡配合。
[0014]可选地，所述底座包括多个沿所述底座的长度方向延伸的支撑杆，所述支撑杆的两端分别设置在所述第二板体上，所述支撑杆被配置为能够沿所述底座的宽度方向改变安装位置。
[0015]可选地，所述第二板体上开设有用于安装所述支撑杆的多个第二异形孔，所述第二异形孔包括第二拆装孔、多个第二定位孔以及用于连通所述第二拆装孔和各个所述第二定位孔的第二通道，所述第二拆装孔与所述支撑杆间隙配合，所述第二定位孔与所述支撑杆过渡配合。
[0016]可选地，所述底座还包括两个第一底杆和两个第二底杆，所述第一底杆的延伸方向与所述支撑杆垂直并且设置在所述支撑杆下方，所述第二底杆沿所述底座的长度方向延伸且两端分别设置在所述侧板上，所述第一底杆的端部分别与所述第二底杆连接。
[0017]通过上述技术方案，在料车在送取硅片时，可以将脱胶架上的第二板体翻转，通过增加脱胶架上方的料车作业空间使得脱胶架能够适应多种料车送取硅片，降低了生产成本。同时翻转后的第二板体不会阻碍料车的作业，使得料车在送取硅片时能够更加稳定，避免了硅片在送取过程中磕碰的风险，送取硅片的过程也更加节约时间，提高生产效率。
[0018]本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0019]附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
[0020]图1和图2是本公开示例性实施方式提供的用于硅片的脱胶架的结构示意图；
[0021]图3是图1和图2中所示出的用于硅片的脱胶架的侧视图；
[0022]图4是图2中A部分的放大图；
[0023]图5是图2中B部分的放大图；
[0024]图6是本公开另一种示例性实施方式提供的用于硅片的脱胶架的结构示意图。
[0025]附图标记说明
[0026]1‑
底座，11
‑
支撑杆，12
‑
第二异形孔，121
‑
第二拆装孔，122
‑
第二定位孔，123
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第二通道，13
‑
第一底杆，14
‑
第二底杆，2
‑
侧板，21
‑
第一板体，22
‑
第二板体，221
‑
第一固定轴，
222
‑
固定块，23
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合页，24
‑
第三板体，241
‑
安装孔，242
‑
第一缺口，25
‑
第一挂钩，251
‑
第二缺口，252
‑
第三缺口，26
‑
第二挂钩，3
‑
夹紧结构，31
‑
夹紧杆，32
‑
第一异形孔，321
‑
第一拆装孔，322
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第一定位孔，323
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第一通道，4
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方管，41
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片的脱胶架，配置为与脱胶装置配合连接以进行硅片的脱胶作业，其特征在于，所述脱胶架包括用于支撑硅片的底座(1)、立设在所述底座(1)上且彼此面对的两个侧板(2)以及设置在两个所述侧板(2)之间的用于固定硅片的夹紧结构(3)，两个所述侧板(2)分别设置在所述底座(1)在长度方向上的两端，所述侧板(2)包括用于与脱胶装置配合连接的第一板体(21)和与所述底座(1)连接的第二板体(22)，其中，至少一个所述侧板(2)中的所述第一板体(21)被配置为可相对于所述第二板体(22)上下翻转地与所述第二板体(22)连接。2.根据权利要求1所述的用于硅片的脱胶架，其特征在于，所述第一板体(21)的在所述底座(1)的宽度方向上的两个端面分别设置有用于与脱胶装置配合连接的第三板体(24)，所述第三板体(24)垂直于所述第一板体(21)，所述第三板体(24)可转动地与所述第二板体(22)连接，所述第一板体(21)通过所述第三板体(24)相对于所述第二板体(22)上下翻转。3.根据权利要求2所述的用于硅片的脱胶架，其特征在于，所述第二板体(22)在所述底座(1)的宽度方向上的两个端面上分别设置有第一固定轴(221)，所述第三板体(24)上开设有安装孔(241)，所述第一固定轴(221)可自转地插入在所述安装孔(241)内。4.根据权利要求3所述的用于硅片的脱胶架，其特征在于，所述第二板体(22)包括设置在所述第一固定轴(221)的下方的固定块(222)，所述第三板体(24)的下端开设有开口朝下的第一缺口(242)，所述安装孔(241)为腰型孔，所述固定块(222)可滑动地设置在所述第一缺口(242)内以固定未翻转时的所述第一板体(21)。5.根据权利要求4所述的用于硅片的脱胶架，其特征在于，所述第三板体(24)上设置有可转动的第一挂钩(25)，所述第一挂钩(25)上开设有能够与所述第一固定轴(221)过盈配合的第二缺口(251)和能够与所述固定块(222)过盈配合的第三缺口(252)。6.根据权利要求1所述的用于硅片的脱胶架，其特征在于，所述第一板体(21)和所述第二板体(22)之间通过合页(23)连接，所述第一板体(21)的在所述底座(1)的宽度方向上的两个端面分别设置有用于与脱胶装置配合连接的第三板体(24)，所述第三板体(24)垂直于所述第一板体(21)。7.根据权利要求6所述的用于硅片的脱胶架，其特征在于，所述脱胶架还包括方管(4)，所述方管(4)沿所述底座(1)的长度方向延伸且两端分别与所述第二板体(22)连接，所述第三板体(24)上设置有第二挂钩(26)，所述方管(4)上设置有第二固定轴(41)，所述第二挂钩(26)能够与所述第二固定轴(41)配合以固定未...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾勇杰，毛剑波，迪大明，成路，冯亚波，冯少辉，杨浩，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：