本发明专利技术公开了一种微型有机发光装置、其制作方法及OLED显示面板，属于有机发光显示技术领域。微型有机发光装置包括阳极层、发光层和阴极层，阳极层包括依次设置的基体、底部金属层、中部金属层和顶部金属层，中部金属层的顶部设有第一凹槽，顶部金属层设有与第一凹槽的形状相适应的第二凹槽，第二凹槽包括底壁和设于底壁两侧的侧壁，侧壁包括至少两个倾斜面，第二凹槽沿底壁向上的方向槽口依次增大。本发明专利技术的微型有机发光装置、其制作方法及OLED显示面板，解决微型有机发光装置的亮度差的问题，且避免OLED显示面板功耗增加、发热严重。发热严重。发热严重。
【技术实现步骤摘要】
一种微型有机发光装置、其制作方法及OLED显示面板
[0001]本专利技术涉及有机发光显示
，尤其涉及一种微型有机发光装置、其制作方法及OLED显示面板。
技术介绍
[0002]现有的OLED显示面板主要采用微型有机发光装置和彩色滤光片的组合结构实现彩色化。具体地，微型有机发光装置包括阴极、阳极和有机发光层，并形成多个发光单元，彩色滤光片包括黑色矩阵以及设置在黑色矩阵内的多个滤光片，多个滤光片与多个发光单元一一对应，滤光片允许透过的光线颜色与对应的发光单元的发光颜色相同，而黑色矩阵则主要承担着防止微型有机发光装置的漏光与降低微型有机发光装置的反射的作用。由于黑色矩阵设置在微型有机发光装置的上方且具有一定厚度，不可避免的会遮挡一部分微型有机发光装置的出光，从而会导致OLED显示面板的亮度和色度变差。现有技术中，通过增加微型有机发光装置的电压的方式，实现提高OLED显示面板的亮度，然而，随着电压增大，导致了OLED显示面板功耗增加、发热严重。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种微型有机发光装置、其制作方法及OLED显示面板，解决微型有机发光装置的亮度差的问题，且避免OLED显示面板功耗增加、发热严重。
[0004]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]第一方面，提供一种微型有机发光装置，包括阳极层、发光层和阴极层，所述阳极层包括依次设置的基体、底部金属层、中部金属层和顶部金属层，所述中部金属层的顶部设有第一凹槽，所述顶部金属层设有与所述第一凹槽的形状相适应的第二凹槽，所述第二凹槽包括底壁和设于所述底壁两侧的侧壁，所述侧壁包括至少两个倾斜面，所述第二凹槽沿所述底壁向上的方向槽口依次增大。
[0006]在一些可能的实施方式中，所述第二凹槽的底壁呈平面，所述第二凹槽的两个侧壁对称设置。
[0007]在一些可能的实施方式中，所述侧壁设有3个
‑
5个所述倾斜面。
[0008]在一些可能的实施方式中，每相邻两个所述倾斜面的倾斜角度之差相同。
[0009]在一些可能的实施方式中，相邻两个所述倾斜面的倾斜角度之差的取值范围为10
°‑
35
°
。
[0010]在一些可能的实施方式中，所述基体为硅基，所述底部金属层为Ti金属层或Mo金属层，所述顶部金属层为TiN金属层或ITO金属层，所述中部金属层为Al金属层。
[0011]第二方面，提供一种上述的微型有机发光装置的制作方法，包括以下步骤：
[0012]S100：制备基体、底部金属层和中部金属层；
[0013]S200：在所述中部金属层的顶部刻蚀第一凹槽；
[0014]S300：在所述中部金属层及所述第一凹槽的槽壁镀膜形成顶部金属层，所述第一
凹槽上形成第二凹槽，并且所述第二凹槽包括底壁和设于所述底壁两侧的侧壁，所述侧壁包括至少两个倾斜面，所述第二凹槽沿所述底壁向上的方向槽口依次增大。
[0015]在一些可能的实施方式中，所述第二凹槽的两个侧壁对称设置，所述侧壁包括两个倾斜面，所述中部金属层为Al金属层，步骤S200包括以下步骤：
[0016]S201：在所述中部金属层顶部制备第一光刻胶层；
[0017]S202：在所述第一光刻胶层通过曝光显影去掉A区；
[0018]S203：通过刻蚀方式对所述中部金属层进行刻蚀，形成第一开槽，其中，所述第一开槽的底壁呈平面，所述第一开槽的侧壁的倾斜角度与所述第二凹槽靠近所述底壁的所述倾斜面的倾斜角度相同，所述第一开槽的开口宽度与所述A区的宽度相同；
[0019]S204：去掉剩余所述第一光刻胶层；
[0020]S205：在所述中部金属层及所述第一开槽上制备第二光刻胶层，在所述第二光刻胶层通过曝光显影去掉B区，所述B区位于所述第一开槽上方；
[0021]S206：通过刻蚀方式对所述中部金属层进行刻蚀，形成第二开槽，其中，所述第二开槽的两个侧壁的倾斜角度对应与所述第二凹槽的两个所述倾斜面的倾斜角度相同，所述第二开槽的开口宽度与所述B区的宽度相同；
[0022]S207：去掉剩余所述第二光刻胶层。
[0023]在一些可能的实施方式中，所述第二凹槽的侧壁包括三个倾斜面，步骤S200还包括以下步骤：
[0024]S208：在所述中部金属层及所述第二开槽上制备第三光刻胶层，在所述第三光刻胶层通过曝光显影去掉C区，所述C区位于所述第二开槽上方；
[0025]S209：通过刻蚀方式对所述中部金属层进行刻蚀，形成第三开槽，其中，所述第三开槽的两个侧壁的倾斜角度对应与所述第二凹槽的三个所述倾斜面的倾斜角度相同，所述第三开槽的开口宽度与所述C区的宽度相同；
[0026]S210：去掉剩余所述第三光刻胶层。
[0027]第三方面，提供一种OLED显示面板，包括上述的微型有机发光装置和彩色滤光片。
[0028]本专利技术的有益效果：
[0029]本专利技术提供的一种微型有机发光装置、其制作方法及OLED显示面板，第二凹槽通过设置底壁和底壁两侧的侧壁，侧壁包括至少两个倾斜面，使第二凹槽的槽壁呈类弧形。当上层发光层发光，经过阳极层反射时，能够使得光线尽可能多的向正上方反射，有效减少光线向其他方向反射比例，进而提高微型有机发光装置的亮度。在同等功耗和输入电压下，提高了OLED显示面板的亮度，且避免了出现功耗增加、发热严重等问题。
附图说明
[0030]图1是本专利技术的具体实施方式提供的微型有机发光装置的示意图；
[0031]图2是本专利技术的具体实施方式提供的微型有机发光装置的制作方法的流程图；
[0032]图3是本专利技术的具体实施方式提供的制备基体、底部金属层和中部金属层的示意图；
[0033]图4是本专利技术的具体实施方式提供的在中部金属层的顶部刻蚀第一凹槽的示意图；
[0034]图5是本专利技术的具体实施方式提供的在中部金属层顶部制备第一光刻胶层的示意图；
[0035]图6是本专利技术的具体实施方式提供的在第一光刻胶层去掉A区的示意图；
[0036]图7是本专利技术的具体实施方式提供的中部金属层形成第一开槽的示意图；
[0037]图8是本专利技术的具体实施方式提供的去掉剩余第一光刻胶层的示意图；
[0038]图9是本专利技术的具体实施方式提供的在中部金属层及第一开槽上制备第二光刻胶层的示意图；
[0039]图10是本专利技术的具体实施方式提供的在第二光刻胶层去掉B区的示意图；
[0040]图11是本专利技术的具体实施方式提供的中部金属层形成第二开槽的示意图；
[0041]图12是本专利技术的具体实施方式提供的去掉剩余第二光刻胶层的示意图；
[0042]图13是本专利技术的具体实施方式提供的在中部金属层及第二开槽上制备第三光刻胶层的示意图；
[0043]图14是本专利技术的具体实施方式提供的在第三光刻胶层去掉C区的示意图；
[0044]图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微型有机发光装置，包括阳极层、发光层和阴极层，所述阳极层包括依次设置的基体(1)、底部金属层(2)、中部金属层(3)和顶部金属层(4)，其特征在于，所述中部金属层(3)的顶部设有第一凹槽(31)，所述顶部金属层(4)设有与所述第一凹槽(31)的形状相适应的第二凹槽(41)，所述第二凹槽(41)包括底壁和设于所述底壁两侧的侧壁，所述侧壁包括至少两个倾斜面，所述第二凹槽(41)沿所述底壁向上的方向槽口依次增大。2.根据权利要求1所述的微型有机发光装置，其特征在于，所述第二凹槽(41)的底壁呈平面，所述第二凹槽(41)的两个侧壁对称设置。3.根据权利要求1或2所述的微型有机发光装置，其特征在于，所述侧壁设有3个
‑
5个所述倾斜面。4.根据权利要求1或2所述的微型有机发光装置，其特征在于，每相邻两个所述倾斜面的倾斜角度之差相同。5.根据权利要求1或2所述的微型有机发光装置，其特征在于，相邻两个所述倾斜面的倾斜角度之差的取值范围为10
°‑
35
°
。6.根据权利要求1或2所述的微型有机发光装置，其特征在于，所述基体(1)为硅基，所述底部金属层(2)为Ti金属层或Mo金属层，所述顶部金属层(4)为TiN金属层或ITO金属层，所述中部金属层(3)为Al金属层。7.一种如权利要求1
‑
6任一项所述的微型有机发光装置的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：S100：制备基体(1)、底部金属层(2)和中部金属层(3)；S200：在所述中部金属层(3)的顶部刻蚀第一凹槽(31)；S300：在所述中部金属层(3)及所述第一凹槽(31)的槽壁镀膜形成顶部金属层(4)，所述第一凹槽(31)上形成第二凹槽(41)，并且所述第二凹槽(41)包括底壁和设于所述底壁两侧的侧壁，所述侧壁包括至少两个倾斜面，所述第二凹槽(41)沿所述底壁向上的方向槽口依次增大。8.根据权利要求1所述的微型有机发光装置的制作方法，其特征在于，所述第二凹槽(41)的两个侧壁对称设置，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王卫卫，周文斌，孙剑，高裕弟，
申请(专利权)人：昆山工研院半导体显示研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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