本实用新型专利技术公开一种沉积室供气装置及蒸镀设备，包括进气座、连接座、输气管道和连接件，进气座内设置有进气流道，进气流道具有清洁气进口、反应气进口和出气口，清洁气进口用于通入清洁气体，反应气进口用于通入反应气体，连接座设置在进气座的外壁，连接座背离进气座的一侧开设有连接槽，连接槽与出气口连通，输气管道上套设有磁铁，输气管道的一端密封插设于连接槽中并与出气口连通，另一端连通沉积室内部，连接槽的槽壁开设有第一连接孔，输气管道的管壁开设有第二连接孔，连接件穿过第一连接孔和第二连接孔。蒸镀设备包括上述的沉积室供气装置。通过设置连接座和连接件，实现快速拆装，节省作业时间，降低人工成本，延长磁铁的使用寿命。磁铁的使用寿命。磁铁的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
沉积室供气装置及蒸镀设备
[0001]本技术涉及面板制造
，尤其涉及一种沉积室供气装置及蒸镀设备。
技术介绍
[0002]在面板的制造过程中，采用蒸镀的方式在基片上沉积有机薄膜层，即用高熔点的材料制成的蒸发源将淀积材料加热、蒸发、淀积于基片上，在此过程中需要通过供气装置将反应气体和清洁气体通入真空沉积室内。如图1所示，现有的供气装置包括输气管道2
′
，输气管道2
′
上套设有磁铁3
′
，输气管道2
′
的两端分别通过螺栓4
′
与进气座1
′
上的管道和送气座5
′
上的管道连接，螺栓4
′
的安装方向与输气管道2
′
的延伸方向一致，其中，磁铁3
′
提供反作用磁场，对输气管道2
′
起到绝缘作用，避免输气管道2
′
中发生沉积。现有技术的缺陷为：由于磁铁3
′
与进气座1
′
以及送气座5
′
之间的空间有限，导致连接螺栓4
′
时操作难度较高，不易安装和拆卸，增加了作业时间和人工成本，且无法避免与磁铁3
′
发生干涉碰撞，缩短了磁铁3
′
的使用寿命。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于：提供一种沉积室供气装置及蒸镀设备，其拆装较为方便，磁铁的使用寿命较长，有利于减少作业时间和人工成本。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种沉积室供气装置，包括：
[0006]进气座，所述进气座内设置有进气流道，所述进气流道具有清洁气进口、反应气进口和出气口，所述清洁气进口用于通入清洁气体，所述反应气进口用于通入反应气体；
[0007]连接座，所述连接座设置在所述进气座的外壁，所述连接座背离所述进气座的一侧开设有连接槽，所述连接槽与所述出气口连通；
[0008]输气管道，所述输气管道上套设有磁铁，所述输气管道的一端密封插设于所述连接槽中并与所述出气口连通，另一端连通沉积室内部；
[0009]连接件，所述连接槽的槽壁开设有第一连接孔，所述输气管道的管壁开设有第二连接孔，所述连接件穿过所述第一连接孔和所述第二连接孔。
[0010]作为沉积室供气装置的一种优选方案，所述连接件为螺栓，所述第二连接孔为螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一连接孔与所述螺纹孔螺纹连接。
[0011]作为沉积室供气装置的一种优选方案，还包括出气管，所述出气管插设于所述出气口并与所述进气流道连通，所述连接座的一端套设于所述出气管，所述出气管与所述连接槽连通。
[0012]作为沉积室供气装置的一种优选方案，所述连接座包括连接管段和安装段，所述连接槽开设于所述安装段背离所述连接管段的一端，并与所述连接管段连通，所述连接管段套设于所述出气管，并与所述出气管连通。
[0013]作为沉积室供气装置的一种优选方案，所述连接槽的槽底开设有通气孔，所述通
气孔的两端分别连通于所述出气管和所述连接槽。
[0014]作为沉积室供气装置的一种优选方案，还包括：
[0015]密封环，密封套设在所述连接槽的槽壁和所述输气管道之间。
[0016]作为沉积室供气装置的一种优选方案，还包括：
[0017]送气座，设置在所述沉积室的外壁，所述输气管道包括第一管段和第二管段，所述第一管段位于所述送气座内，所述第一管段背离所述第二管段的一端连通于所述沉积室，所述第二管段背离所述第一管段的一端插设于所述连接槽。
[0018]作为沉积室供气装置的一种优选方案，所述连接件设置有多个，所述连接槽的槽壁沿周向和/或轴向间隔开设多个所述第一连接孔，所述输气管道的管壁上沿周向和/或轴向间隔开设多个所述第二连接孔，每个所述连接件穿过一个所述第一连接孔和一个所述第二连接孔。
[0019]作为沉积室供气装置的一种优选方案，所述进气座由金属制成。
[0020]第二方面还提供一种蒸镀设备，包括沉积室和上述任一技术方案所述的沉积室供气装置，所述沉积室供气装置设置在所述沉积室外，并连通于所述沉积室内部。
[0021]本技术的有益效果为：通过在进气座的外壁设置连接座，使得连通沉积室内部的输气管道能插接于连接座上的连接槽，并通过连接件固定输气管道和连接座，且在需要拆装输气管道时，只需沿连接槽的径向拆掉连接件后将输气管道从连接槽抽出即可。在拆装输气管道和进气座时，无需对磁铁进行挪位避让，使得输气管道与连接座之间的连接不受磁铁与进气座之间狭小的空间限制，节省作业时间，降低人工成本，并有利于延长磁铁的使用寿命。
附图说明
[0022]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0023]图1为现有的沉积室供气装置的结构示意图。
[0024]图2为本技术实施例的沉积室供气装置和沉积室的结构示意图。
[0025]图3为本技术实施例的安装座的剖视图。
[0026]图4为本技术实施例的安装座的侧视图。
[0027]图5为本技术一个实施例的安装座的主视图。
[0028]图6为本技术另一个实施例的安装座的主视图。
[0029]图1中：
[0030]1′
、进气座；10
′
、进气流道；2
′
、输气管道；3
′
、磁铁；4
′
、螺栓；5
′
、送气座；50
′
、送气流道。
[0031]图2至图6中：
[0032]1、进气座；101、清洁气进口；102、反应气进口；
[0033]2、连接座；201、连接槽；21、连接管段；22、安装段；220、第一连接孔；200、通气孔；
[0034]3、输气管道；31、第一管段；32、第二管段；
[0035]4、磁铁；5、沉积室；6、出气管；7、连接件；8、密封环；
[0036]9、送气座。
具体实施方式
[0037]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0038]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0039]如图2至图6所示，本实施例提供一种沉积室供气装置，该沉积室供气装置包括进气座1、连接座2和输气管道3，进气座1内设置有进气流道，进气流道具有清洁气进口101、反应气进口102和出气口，清洁气进口101用于通入清洁气体，反应气进口102本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种沉积室供气装置，其特征在于，包括：进气座，所述进气座内设置有进气流道，所述进气流道具有清洁气进口、反应气进口和出气口，所述清洁气进口用于通入清洁气体，所述反应气进口用于通入反应气体；连接座，所述连接座设置在所述进气座的外壁，所述连接座背离所述进气座的一侧开设有连接槽，所述连接槽与所述出气口连通；输气管道，所述输气管道上套设有磁铁，所述输气管道的一端密封插设于所述连接槽中并与所述出气口连通，另一端连通沉积室内部；连接件，所述连接槽的槽壁开设有第一连接孔，所述输气管道的管壁开设有第二连接孔，所述连接件穿过所述第一连接孔和所述第二连接孔。2.根据权利要求1所述的沉积室供气装置，其特征在于，所述连接件为螺栓，所述第二连接孔为螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一连接孔与所述螺纹孔螺纹连接。3.根据权利要求1所述的沉积室供气装置，其特征在于，还包括：出气管，所述出气管插设于所述出气口并与所述进气流道连通，所述连接座的一端套设于所述出气管，所述出气管与所述连接槽连通。4.根据权利要求3所述的沉积室供气装置，其特征在于，所述连接座包括连接管段和安装段，所述连接槽开设于所述安装段背离所述连接管段的一端，并与所述连接管段连通，所述连接管段套设于所述出气管，并与所述出气管连通。5.根据权利要求4所述的沉积室供气装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨贤烁，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。