可翻转的坩埚机构及镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及镀膜技术领域，具体公开了一种可翻转的坩埚机构及镀膜装置，该可翻转的坩埚机构中，支架设有沿X方向间隔设置的安装部和制动部；坩埚组件包括驱动组件和设于驱动组件的输出端的坩埚本体，驱动组件设于安装部，且驱动组件被配置为能驱动坩埚本体在安装部和制动部之间沿X方向移动，且当坩埚本体移动至制动部远离安装部的一侧的状态下，能驱动坩埚本体翻转。上述设置能实现坩埚本体的开口可以朝向待镀膜工件的竖直待镀膜面，进而使得蒸发过程产生的气体分子与待镀膜工件的竖直待镀膜面形成直接碰撞的效果，有利于成膜，提高了对待镀膜工件的竖直待镀膜面的成膜效果。高了对待镀膜工件的竖直待镀膜面的成膜效果。高了对待镀膜工件的竖直待镀膜面的成膜效果。

【技术实现步骤摘要】
可翻转的坩埚机构及镀膜装置


[0001]本技术涉及镀膜
，尤其涉及一种可翻转的坩埚机构及镀膜装置。

技术介绍

[0002]坩埚等镀膜材料承载机构作为镀膜设备必备的单元之一，具有重要的作用。由于镀膜药液常温状况下呈现液态，通常坩埚通过沿水平方向进入镀膜腔内进行蒸发镀膜，由于坩埚水平进入镀膜腔内蒸发时，蒸发出来的气体分子有沿竖直向运动的趋势，对于沿竖直方向摆放的待镀膜工件或者待镀膜工件的竖直待镀膜面而言，因其法线方向与蒸发出来的气体分子的运动方向大致垂直，因此与气体分子形成较少的直接碰撞，不利于成膜。
[0003]因此，亟需研究一种可翻转的坩埚机构，以实现坩埚的水平运动和翻转动作，提高对待镀膜工件的竖直待镀膜面的成膜效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可翻转的坩埚机构及镀膜装置，以实现坩埚的水平运动和翻转动作，提高对待镀膜工件的竖直待镀膜面的成膜效果。
[0005]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一方面，本技术提供一种可翻转的坩埚机构，该可翻转的坩埚机构包括：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可翻转的坩埚机构，其特征在于，包括：支架(1)，所述支架(1)设有沿X方向间隔设置的安装部(111)和制动部(112)；坩埚组件(2)，所述坩埚组件(2)包括驱动组件(21)和设于所述驱动组件(21)的输出端的坩埚本体(22)，所述驱动组件(21)设于所述安装部(111)，所述驱动组件(21)被配置为能驱动所述坩埚本体(22)在所述安装部(111)和所述制动部(112)之间沿所述X方向移动，且当所述坩埚本体(22)移动至所述制动部(112)远离所述安装部(111)的一侧的状态下或所述坩埚本体(22)靠近所述制动部(112)的过程中，能驱动所述坩埚本体(22)翻转。2.根据权利要求1所述的可翻转的坩埚机构，其特征在于，所述驱动组件(21)包括：推动件(211)，所述推动件(211)能沿所述X方向移动，所述推动件(211)设有固定部(2111)和连接部；联动件(212)，所述联动件(212)具有第一端(2121)和第二端(2122)，所述联动件(212)与所述推动件(211)沿所述X方向相对滑动设置，且所述固定部(2111)能在所述第一端(2121)和所述第二端(2122)之间移动，所述坩埚本体(22)与所述连接部连接，且与所述联动件(212)连接。3.根据权利要求2所述的可翻转的坩埚机构，其特征在于，所述坩埚本体(22)包括铰接部和拨动部，所述铰接部转动设于所述联动件(212)远离所述推动件(211)的一端；所述推动件(211)和所述拨动部传动连接，且所述固定部(2111)移动至所述第二端(2122)的过程中，所述推动件(211)能驱动所述坩埚本体(22)翻转。4.根据权利要求3所述的可翻转的坩埚机构，其特征在于，所述拨动部包括拨动槽(222)，所述拨动槽(222)的延伸方向A与所述坩埚本体(22)的开口方向B之间的夹角为α，且α大于或等于0
°
且小于或等于90
°
，所述连接部包括滑动销(2112)，所述滑动销(2112)穿设于所述拨动槽(222)且能...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐政，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：