一种连续自动化真空镀膜机及其镀膜方法技术

本发明专利技术公开了真空镀膜技术领域的一种连续自动化真空镀膜机及其镀膜方法，包括机壳，所述机壳的外部通过合页安装有机门，所述机壳的顶部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴一端固定安装有往复丝杠，所述往复丝杠的外部螺纹安装有往复移动螺套，所述往复移动螺套的一侧设置有敷膜机构，敷膜机构用于镀膜面的稳定敷膜，所述机壳的内部转动安装有安装机构，所述安装机构的内部安装有镀膜件；本发明专利技术中，通过设置有打散组件、敷膜机构与搅料组件，整体可形成一个完整的连续联动系统，可实现对于镀膜料的粉碎、镀膜中的镀膜蒸汽的打散与镀膜后的敷面效果，可实现镀膜件的完整连续性作业，稳定提高了真空镀膜工作效率与工作效果。稳定提高了真空镀膜工作效率与工作效果。稳定提高了真空镀膜工作效率与工作效果。

【技术实现步骤摘要】
一种连续自动化真空镀膜机及其镀膜方法


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，具体为一种连续自动化真空镀膜机及其镀膜方法。

技术介绍

[0002]真空镀膜就是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，是一种结构镀膜的常用方法，真空镀膜可有效提升材料的表面性质。
[0003]现有技术中公开了部分真空镀膜
的专利技术专利，其中申请号为CN112795896A的专利技术专利，公开了一种真空镀膜装置，包括腔体、承载单元及至少一个导电单元，其中，腔体具有相连接的第一侧壁、第二侧壁及与第二侧壁相对设置的第三侧壁，第一侧壁连接第二侧壁及第三侧壁，第一侧壁上开设有入口，用于承载单元可移动地通过入口输送至腔体内，且包括托盘及嵌设于托盘上的多个基板；导电单元设置于第二侧壁或第三侧壁上，且在靠近入口上方一侧具有伸入至腔体内部的接触组件，接触组件可抵接于托盘上，且在抵接时电性连接，继而偏压由导电单元导入，通过托盘传递至基板上，优化基板上的镀膜质量，该真空镀膜装置结构简单，且性能稳定，适合大规模推广应用。
[0004]现有技术中，真空镀膜机在内并未设置有同步对于镀膜面进行处理的结构，导致镀膜效果无法达到最均匀、最理想的状态，有的设备内设置有该结构，但会占用额外的设备体积，且同时占据能源，从而导致设备的能耗增加。
[0005]基于此，本专利技术设计了一种连续自动化真空镀膜机及其镀膜方法，以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于提供一种连续自动化真空镀膜机及其镀膜方法，以解决上述
技术介绍
中提出的现有技术中，真空镀膜机在内并未设置有同步对于镀膜面进行处理的结构，导致镀膜效果无法达到最均匀、最理想的状态，有的设备内设置有该结构，但会占用额外的设备体积，且同时占据能源，从而导致设备的能耗增加的问题
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种连续自动化真空镀膜机，包括机壳，所述机壳的外部通过合页安装有机门，所述机壳的顶部固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴一端固定安装有往复丝杠，所述往复丝杠的外部螺纹安装有往复移动螺套，所述往复移动螺套的一侧设置有敷膜机构，敷膜机构用于镀膜面的稳定敷膜，所述机壳的内部转动安装有安装机构，所述安装机构的内部安装有镀膜件，所述往复移动螺套的侧壁上固定安装有限位轴，所述限位轴的一端与机壳的内侧壁滑动连接；
[0008]所述敷膜机构包括安装块与侧连杆，所述安装块的一侧外壁上固定安装有侧连杆，所述侧连杆的一端与往复移动螺套的侧壁固定连接，所述安装块的内部设置有内置槽。
[0009]作为本专利技术的进一步方案，所述安装块的侧壁上固定安装有L齿条，所述内置槽的
内部通过内置弹簧活动安装有柔性敷膜刷，所述内置槽的内部固定安装有内置滑杆，所述柔性敷膜刷与内置滑杆滑动连接。
[0010]作为本专利技术的进一步方案，所述安装机构包括安装主轴与安装框，所述安装主轴转动安装在机壳的内部，所述安装主轴的外部设置有扭力弹簧与外啮合齿轮，所述扭力弹簧的一端与机壳的内壁固定连接。
[0011]作为本专利技术的进一步方案，所述安装主轴的中部位置固定安装有安装框，所述安装框的内部设置安装槽，所述安装槽的内部设置有镀膜件，所述外啮合齿轮与L齿条之间相互啮合连接。
[0012]作为本专利技术的进一步方案，所述安装框的侧壁上设置有侧行程槽，所述侧行程槽的内部设置有卡位组件，卡位组件用于镀膜件的快速稳固安装。
[0013]作为本专利技术的进一步方案，所述卡位组件包括内置滑轴，所述内置滑轴固定安装在侧行程槽的内部，所述内置滑轴的外部滑动安装有卡位磁柱，所述卡位磁柱的一侧外壁上固定安装有凸轴。
[0014]作为本专利技术的进一步方案，所述凸轴穿过并延伸至侧行程槽的外侧，所述镀膜件的侧壁上设置有卡孔，卡孔内设置有内置磁柱，所述卡位磁柱与内置磁柱的磁极相异。
[0015]作为本专利技术的进一步方案，所述往复移动螺套的侧壁上转动安装有打散组件，用于气态覆膜料的同步打散，所述打散组件包括侧转动轴，所述侧转动轴与往复移动螺套转动连接，所述侧转动轴的外部固定安装有外啮合齿轮，所述侧转动轴的一端固定安装有打散叶辊，所述机壳的内侧壁上固定安装有啮合齿架，所述外啮合齿轮与啮合齿架之间相互啮合连接。
[0016]作为本专利技术的进一步方案，所述机壳的底面内壁上固定安装有镀膜料桶，所述镀膜料桶的底部固定安装有底盘，所述镀膜料桶的侧壳腔内设置有电热管，所述底盘上转动安装有搅料组件，搅料组件用于镀膜料桶内的稳定搅料，所述往复丝杠的下端固定安装有打碎螺旋杆，所述往复丝杠的底端固定安装有底驱动齿盘，所述搅料组件包括安装杆，所述安装杆的底端固定安装有底从动齿盘，所述安装杆的外部固定安装有搅料叶，所述底从动齿盘与底驱动齿盘均位于底盘的壳腔内，所述底从动齿盘与底驱动齿盘之间相互啮合连接。
[0017]本文还公开了一种连续自动化真空镀膜机的镀膜方法，包括如下步骤：
[0018]S1、先对于镀膜件进行安装，将镀膜件置入安装机构的安装槽内，当镀膜件安装至内置磁柱与卡位磁柱位置对应时，由于卡位磁柱与内置磁柱的磁极相异，内置磁柱会对于卡位磁柱产生吸引力，卡位磁柱可自动吸入镀膜件的卡孔内，完成对于镀膜件的快速定位；
[0019]S2、打开机门，将镀膜料置入镀膜料桶内，开启电热管，对于镀膜料进行加热使其逐渐气化，对于装置内加压，加热的蒸汽漂浮，蒸汽接触到镀膜件附着在其表面上；
[0020]S3、开启驱动电机，驱动电机可带动往复丝杠转动，往复丝杠带动其上的往复移动螺套运动，往复移动螺套带动其一端的敷膜机构位移，在敷膜机构位移时，L齿条可与安装机构的外啮合齿轮接触并啮合，从而带动安装机构转动，安装机构上安装的镀膜件也会同时转动；
[0021]S4、在此过程中，柔性敷膜刷可有效与转动的镀膜件外部接触，从而对于附着在镀膜件外部的膜料进行平敷，当L齿条可与安装机构的外啮合齿轮脱离啮合时，扭力弹簧又可
使安装机构整体复位，内置弹簧可持续保持柔性敷膜刷外顶的状态，可保证柔性敷膜刷与镀膜件接触的有效度；
[0022]S5、在往复移动螺套位移时，可同步带动打散组件位移，在打散组件位移时，外啮合齿轮与啮合齿架发生啮合，从而可使具有外啮合齿轮的侧转动轴转动，侧转动轴带动打散叶辊转动，打散叶辊可对于机壳内的膜料进行打散，可有效提高膜料的致密度；
[0023]S6、在往复丝杠转动时，可带动其外部的打碎螺旋杆同步转动，打碎螺旋杆可实现对于膜料的打碎，同时在打碎螺旋杆转动的同时，其外部的底驱动齿盘可带动底从动齿盘转动，底从动齿盘带动安装杆与搅料叶转动，可有效对于镀膜料桶内的镀膜料进行搅拌，被搅拌的镀膜料可向内侧运动，被打碎螺旋杆稳定打碎，提高镀膜料的蒸发速率。
[0024]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0025]1.本专利技术中，通过在内设置有敷膜机构，在进行镀膜时，打开机门，将镀膜料置入镀膜料桶内，开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续自动化真空镀膜机，包括机壳(1)，其特征在于：所述机壳(1)的外部通过合页安装有机门(3)，所述机壳(1)的顶部固定安装有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)的输出轴一端固定安装有往复丝杠(4)，所述往复丝杠(4)的外部螺纹安装有往复移动螺套(16)，所述往复移动螺套(16)的一侧设置有敷膜机构(7)，敷膜机构(7)用于镀膜面的稳定敷膜，所述机壳(1)的内部转动安装有安装机构(8)，所述安装机构(8)的内部安装有镀膜件(15)，所述往复移动螺套(16)的侧壁上固定安装有限位轴(6)，所述限位轴(6)的一端与机壳(1)的内侧壁滑动连接；所述敷膜机构(7)包括安装块(75)与侧连杆(76)，所述安装块(75)的一侧外壁上固定安装有侧连杆(76)，所述侧连杆(76)的一端与往复移动螺套(16)的侧壁固定连接，所述安装块(75)的内部设置有内置槽(74)。2.根据权利要求1所述的一种连续自动化真空镀膜机，其特征在于：所述安装块(75)的侧壁上固定安装有L齿条(73)，所述内置槽(74)的内部通过内置弹簧(72)活动安装有柔性敷膜刷(71)，所述内置槽(74)的内部固定安装有内置滑杆(77)，所述柔性敷膜刷(71)与内置滑杆(77)滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种连续自动化真空镀膜机，其特征在于：所述安装机构(8)包括安装主轴(82)与安装框(84)，所述安装主轴(82)转动安装在机壳(1)的内部，所述安装主轴(82)的外部设置有扭力弹簧(81)与外啮合齿轮(83)，所述扭力弹簧(81)的一端与机壳(1)的内壁固定连接。4.根据权利要求3所述的一种连续自动化真空镀膜机，其特征在于：所述安装主轴(82)的中部位置固定安装有安装框(84)，所述安装框(84)的内部设置安装槽(85)，所述安装槽(85)的内部设置有镀膜件(15)，所述外啮合齿轮(83)与L齿条(73)之间相互啮合连接。5.根据权利要求4所述的一种连续自动化真空镀膜机，其特征在于：所述安装框(84)的侧壁上设置有侧行程槽(86)，所述侧行程槽(86)的内部设置有卡位组件(87)，卡位组件(87)用于镀膜件(15)的快速稳固安装。6.根据权利要求5所述的一种连续自动化真空镀膜机，其特征在于：所述卡位组件(87)包括内置滑轴(871)，所述内置滑轴(871)固定安装在侧行程槽(86)的内部，所述内置滑轴(871)的外部滑动安装有卡位磁柱(872)，所述卡位磁柱(872)的一侧外壁上固定安装有凸轴(873)。7.根据权利要求6所述的一种连续自动化真空镀膜机，其特征在于：所述凸轴(873)穿过并延伸至侧行程槽(86)的外侧，所述镀膜件(15)的侧壁上设置有卡孔，卡孔内设置有内置磁柱(14)，所述卡位磁柱(872)与内置磁柱(14)的磁极相异。8.根据权利要求1所述的一种连续自动化真空镀膜机，其特征在于：所述往复移动螺套(16)的侧壁上转动安装有打散组件(5)，用于气态覆膜料的同步打散，所述打散组件(5)包括侧转动轴(51)，所述侧转动轴(51)与往复移动螺套(16)转动连接，所述侧转动轴(51)的外部固定安装有外啮合齿轮(52)，所述侧转动轴(51)的一端固定安装有打散叶辊(53)，所述机壳(1)的内侧壁上固定安装有啮合齿架，所述外啮合齿轮(52)与啮合...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：辛集伟博新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：