下载可翻转的坩埚机构及镀膜装置的技术资料

文档序号:37653642

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本实用新型涉及镀膜技术领域,具体公开了一种可翻转的坩埚机构及镀膜装置,该可翻转的坩埚机构中,支架设有沿X方向间隔设置的安装部和制动部;坩埚组件包括驱动组件和设于驱动组件的输出端的坩埚本体,驱动组件设于安装部,且驱动组件被配置为能驱动坩埚本体...
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