本申请提供一种疏通组件及蒸镀装置。通过为线性蒸发源的喷嘴设置清除棒，其中清除棒的进气口与气源模块的输气口连通，使得气源模块可以向清除棒输送气体并从出气口排出，由于出气口靠近喷嘴设置，使得清除棒吹出的气流可以快速清除喷嘴内凝结堵塞的蒸镀材料；另外，驱动模块可以驱动清除棒运动至抵近喷嘴或伸入喷嘴内，使得出气口吹出的绝大部分或全部气流会进入喷嘴，有效避免了出气口的附近的气流耗散现象，增大了进入喷嘴内的气流量，还提高了进入到喷嘴内的气流速度，从而提高了喷嘴的疏通效率；此外，当喷嘴畅通时，驱动模块还可以驱动清除棒远离喷嘴，有效避免了清除棒对喷嘴的遮挡，提高了线性蒸发源的蒸镀效率。提高了线性蒸发源的蒸镀效率。提高了线性蒸发源的蒸镀效率。
【技术实现步骤摘要】
疏通组件及蒸镀装置
[0001]本申请涉及蒸镀
，尤其涉及一种疏通组件及蒸镀装置。
技术介绍
[0002]在制备OLED等显示面板的真空蒸镀过程中，常使用到蒸镀机，蒸镀机包括真空腔体以及安装在该腔体内的蒸镀托盘和线性蒸发源等部件；其中，待蒸镀的玻璃基板通常安装在蒸镀托盘上，线性蒸发源用于加热并蒸发蒸镀材料。
[0003]线性蒸发源在经过一定时间使用后，由于温差等原因等影响，可能会出现蒸镀材料在喷嘴内壁凝结从而造成喷嘴堵塞的现象，喷嘴堵塞会导致蒸镀材料的蒸镀速率下降，进而引发蒸镀材料在基板表面形成的薄膜厚度不均匀等问题。
[0004]目前通过在真空腔体内设置喷气疏通机构以避免堵塞，喷气疏通机构可以向喷嘴吹出高速气体以疏通喷嘴内凝结的蒸镀材料，其可以避免打开真空腔对喷嘴进行疏通作业，减少了疏通作业的所需的时间；但为了避免喷气疏通机构对喷嘴的阻挡，喷气疏通机构需要与喷嘴间隔一端距离设置，导致了喷气疏通机构吹出的部分气流会向四周耗散，导致喷嘴的疏通效率较低。
技术实现思路
[0005]本申请提供一种疏通组件及蒸镀装置，以解决现有技术中疏通组件对线性蒸发源的喷嘴的疏通效率较低浪费时间的技术问题。
[0006]一方面，本申请提供一种疏通组件，包括：
[0007]清除棒，所述清除棒用于清除蒸镀装置中线性蒸发源的喷嘴内凝结的蒸镀材料，所述清除棒的两端分别形成进气口和出气口，所述进气口连通所述出气口；
[0008]气源模块，所述气源模块具有输气口，所述输气口连通所述进气口，所述气源模块用于向所述清除棒供气；
[0009]驱动模块，所述驱动模块连接所述清除棒，所述驱动模块用于驱动所述清除棒朝靠近或远离所述喷嘴的方向运动。
[0010]在本申请一种可能的实现方式中，疏通组件包括多个清除棒，所述驱动模块包括驱动机构，所述驱动机构连接多个所述清除棒；或者
[0011]所述驱动模块包括多个所述驱动机构，每一所述驱动机构分别连接一个所述清除棒。
[0012]在本申请一种可能的实现方式中，所述清除棒的延伸方向平行于所述喷嘴的延伸方向，且所述驱动机构为伸缩气缸，所述伸缩气缸用于驱动所述清除棒沿其延伸方向运动。
[0013]在本申请一种可能的实现方式中，所述清除棒包括杆体和清除头，所述杆体呈圆柱状，所述清除头呈圆锥状或圆台状，所述清除头设置所述杆体靠近所述喷嘴的一端，所述清除头的底面抵接在所述杆体的底面；
[0014]所述清除头的底面直径小于所述喷嘴的内径。
[0015]在本申请一种可能的实现方式中，所述杆体的底面直径小于所述清除头的底面直径，所述清除头的底面设有排气口，所述排气口连通所述进气口。
[0016]在本申请一种可能的实现方式中，所述线性蒸发源呈长方体状，所述线性蒸发源具有长边和宽边；
[0017]所述疏通组件还包括第一安装架、驱动件和导轨；
[0018]所述导轨布置在所述宽边的一侧，且所述导轨的延伸方向垂直于多个所述喷嘴的排布延伸方向；所述第一安装架安装在导轨上，多个所述清除头安装在所述第一安装架上，所述驱动件连接所述第一安装架，所述驱动件用于驱动所述第一安装架沿所述导轨往复运动。
[0019]在本申请一种可能的实现方式中，所述疏通组件还包括第二安装架和毛刷，所述第二安装架活动安装在所述导轨上，所述驱动件连接所述第二安装架，所述驱动件用于驱动所述第二安装架沿所述导轨往复运动，所述毛刷安装在所述第二安装架上；
[0020]当所述驱动件驱动所述第二安装架运动至所述线性蒸发源的正上方时，所述毛刷抵接多个所述喷嘴。
[0021]在本申请一种可能的实现方式中，所述导轨上依次间隔设有多个传感器，所述多个传感器沿所述宽边相邻布置，所述多个传感器用于检测所述第一安装架和所述第二安装架在所述导轨上的位置。
[0022]在本申请一种可能的实现方式中，所述疏通组件还包括托盘，所述托盘布置在所述线性蒸发源的下侧；和/或
[0023]所述疏通组件还包括气动控制器，所述气动控制器连接所述气源模块和所述驱动模块，所述气动控制器用于控制所述气源模块向任意所述清除棒供气的供气量大小以及控制所述驱动模块的往复运动；和/或
[0024]所述气源模块包括输气机构和输气管，所述输气管一端连通所述输气机构的输气口，另一端连通多个所述出气口。
[0025]另一方面，本申请还提供一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：腔体、蒸镀托盘、线性蒸发源和上文中所述疏通组件，所述线性蒸发源、所述蒸镀托盘和所述疏通组件安装在所述腔体内，所述线性蒸发源包括坩埚和多个喷嘴，多个所述喷嘴呈线性阵列安装在所述坩埚上，所述蒸镀托盘设置于所述线性蒸发源的上方，所述蒸镀托盘用于安装玻璃基板，所述疏通组件设置于所述线性蒸发源和所述蒸镀托盘之间。
[0026]本申请提供一种疏通组件及蒸镀装置，通过为线性蒸发源的喷嘴设置清除棒，其中清除棒的进气口与气源模块的输气口连通，使得气源模块可以向清除棒输送气体并从出气口排出，由于出气口靠近喷嘴设置，使得清除棒吹出的气流可以快速清除喷嘴内凝结堵塞的蒸镀材料；另外，驱动模块可以驱动清除棒运动至抵近喷嘴或伸入喷嘴内，使得出气口吹出的绝大部分或全部气流会进入喷嘴，有效避免了出气口的附近的气流耗散现象，增大了进入喷嘴内的气流量，还提高了进入到喷嘴内的气流速度，从而提高了喷嘴的疏通效率；此外，当喷嘴畅通时，驱动模块还可以驱动清除棒远离喷嘴，有效避免了清除棒对喷嘴的遮挡，提高了线性蒸发源的蒸镀效率。
附图说明
[0027]下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0028]图1为本申请实施例提供的疏通组件的结构示意图；
[0029]图2为本申请实施例提供的清除棒的结构示意图；
[0030]图3为图2中B处的剖视图；
[0031]图4为本申请另一实施例提供的清除棒的结构示意图；
[0032]图5为图4中E处的剖视图。
[0033]附图标记：
[0034]疏通组件100、清除棒200、杆体210、进气口211、清除头220、出气口221、排气口222、空气流道230、气源模块300、输气机构310、输气管320、驱动模块400、驱动机构410、第一安装架510、驱动件520、导轨530、第二安装架540、毛刷550、托盘560、第一传感器610、第二传感器620、第三传感器630、线性蒸发源700、坩埚710、喷嘴720。
具体实施方式
[0035]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0036]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种疏通组件，其特征在于，包括：清除棒，所述清除棒用于清除蒸镀装置中线性蒸发源的喷嘴内凝结的蒸镀材料，所述清除棒的两端分别形成进气口和出气口，所述进气口连通所述出气口；气源模块，所述气源模块具有输气口，所述输气口连通所述进气口，所述气源模块用于向所述清除棒供气；驱动模块，所述驱动模块连接所述清除棒，所述驱动模块用于驱动所述清除棒朝靠近或远离所述喷嘴的方向运动。2.如权利要求1所述的疏通组件，其特征在于，所述疏通组件包括多个所述清除棒，所述驱动模块包括驱动机构，所述驱动机构连接多个所述清除棒；或者所述驱动模块包括多个所述驱动机构，每一所述驱动机构分别连接一个所述清除棒。3.如权利要求2所述的疏通组件，其特征在于，所述清除棒的延伸方向平行于所述喷嘴的延伸方向，且所述驱动机构为伸缩气缸，所述伸缩气缸用于驱动所述清除棒沿其延伸方向运动。4.如权利要求1所述的疏通组件，其特征在于，所述清除棒包括杆体和清除头，所述杆体呈圆柱状，所述清除头呈圆锥状或圆台状，所述清除头设置所述杆体靠近所述喷嘴的一端，所述清除头的底面抵接在所述杆体的底面；所述清除头的底面直径小于所述喷嘴的内径。5.如权利要求4所述的疏通组件，其特征在于，所述杆体的底面直径小于所述清除头的底面直径，所述清除头的底面设有排气口，所述排气口连通所述进气口。6.如权利要求1
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5任一项所述的疏通组件，其特征在于，所述线性蒸发源呈长方体状，所述线性蒸发源具有长边和宽边；所述疏通组件还包括第一安装架、驱动件和导轨；所述导轨布置在所述宽边的一侧，且所述导轨的延伸方向垂直于多个所述喷嘴的排布延伸方向；所述第一安装架安装在导轨上，多个所述清...
【专利技术属性】
技术研发人员：张成杰，
申请(专利权)人：TCL科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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