一种平板音圈电机制造技术

本发明专利技术涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种平板音圈电机，其线圈组件包括至少一个线圈和至少一个导磁块，线圈整体为环形，线圈环绕设置在导磁块的周向，磁轨组件包括背铁和磁铁阵列，磁铁阵列固定在背铁上，线圈组件设置在磁铁阵列沿Z轴方向的中心，当线圈通电时，磁轨组件和导磁块形成的磁场共同对线圈施加安培力，通过导磁块增加了平板音圈电机在其输出方向的受力，从而在相同的铜耗下实现推力密度的提升，同时保证平板音圈电机整个运行过程平稳，出力均匀。并且对于平板音圈电机的结构改动较小，无需对现有的生产工艺进行较大改动，适用性良好，方便工业生产。方便工业生产。方便工业生产。

【技术实现步骤摘要】
一种平板音圈电机


[0001]本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种平板音圈电机。

技术介绍

[0002]基于安培力原理制造的平板型音圈电机的结构简单、维护方便、可靠性高、能量转换效率高，具有固定行程、直接驱动特性、平滑输出和线性控制等特点，而且电气与机械时间常数低，推力/质量比高，无齿槽效应，不需要换向，理论上有无限的位置灵敏度，无嵌齿、无滞后响应，因而被很好地应用在需要高速、高加速度、高响应速度的伺服控制系统中，满足快速、高精度定位的光刻机短行程精密定位单元的需要。
[0003]目前，半导体设备中的精密定位单元使用的平板音圈电机，有两种典型的结构，其中一种是单线圈式平板音圈电机，另一种是双线圈式平板音圈电机。然而在这两种结构中，其驱动磁路均由线圈周围的磁铁阵列提供，当应用于半导体设备中时，特别是高真空环境下，线圈中通电电流较小时，其推力密度无法满足应用场景的需要；而线圈中通电电流较大时，则温升较快。为了满足对平板音圈电机的推力密度要求，同时降低平板音圈电机表面的温升，通常方案是采用冷却板对线圈进行冷却，以带走平板音圈电机产生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板音圈电机，其特征在于，包括：线圈组件(100)，所述线圈组件(100)包括至少一个线圈(101)和至少一个导磁块(102)，所述线圈(101)和所述导磁块(102)均固定在同一支架上，所述线圈(101)环绕设置在所述导磁块(102)的周向；以及磁轨组件(200)，所述磁轨组件(200)包括背铁和磁铁阵列，所述磁铁阵列固定在所述背铁上，所述线圈组件(100)设置在所述磁铁阵列的中心，所述线圈(101)通电时，所述磁轨组件(200)和所述导磁块(102)形成的磁场共同对所述线圈(101)施加安培力。2.根据权利要求1所述的平板音圈电机，其特征在于，所述背铁包括上背铁(201)和下背铁(202)，所述磁铁阵列包括第一磁组和第二磁组，所述第一磁组设置在所述上背铁(201)，所述第二磁组设置在所述下背铁(202)，所述线圈组件(100)夹设在所述第一磁组与所述第二磁组之间。3.根据权利要求2所述的平板音圈电机，其特征在于，所述第一磁组包括第一主磁极磁铁(203a)和第二主磁极磁铁(203c)，所述第一主磁极磁铁(203a)和所述第二主磁极磁铁(203c)的磁极相反；所述第二磁组包括第三主磁极磁铁(203d)和第四主磁极磁铁(203f)，所述第三主磁极磁铁(203d)和所述第一主磁极磁铁(203a)相对设置且磁极相同，所述第四主磁极磁铁(203f)和所述第二主磁极磁铁(203c)相对设置且磁极相同。4.根据权利要求3所述的平板音圈电机，其特征在于，所述第一磁组还包括第一间隔磁铁(203b)，所述第一间隔磁铁(203b)夹设在所述第一主磁极磁铁(203a)和所述第二主磁极磁铁(203c)之间；所述第二磁组还包括第二间隔磁铁(203e)，所述第二间隔磁铁(203e)夹设在所述第三主磁极磁铁(203d)和所述第四主磁极磁铁(203f)之间。5.根据权利要求4所述的平板音圈电机，其特征在于，所述线圈(101)设置为一个，所述下背铁(202)、所述第二磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚艺华，印欣，时磊，王善明，石佳蒙，
申请(专利权)人：雅科贝思精密机电南通有限公司，
类型：发明
国别省市：