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本发明涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种平板音圈电机，其线圈组件包括至少一个线圈和至少一个导磁块，线圈整体为环形，线圈环绕设置在导磁块的周向，磁轨组件包括背铁和磁铁阵列，磁铁阵列固定在背铁上，线圈组件设置在磁铁阵列沿Z轴方向的中心，当线...
该专利属于雅科贝思精密机电（南通）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过雅科贝思精密机电（南通）有限公司授权不得商用。

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