一种金属零件精密自动加工设备制造技术

本申请涉及金属精密加工领域，公开了一种金属零件精密自动加工设备，包括加工中心、第一送料机构、抓取机构和夹持定位机构，夹持定位机构包括底座、对板状零部件进行支撑的支撑柱、对板状零部件进行定位的定位组件、对板状零部件进行固定夹持组件和冲洗组件。本申请具有能够通过采用抓取机构和夹持定位机构对板状零部件进行上料及固定，减少了因人工上料导致的板状零部件位置偏差，同时，冲洗组件对支撑柱及底座进行冲洗，从而减少因残留碎屑导致的板状零部件位置偏差，进而降低了板状零部件的加工误差，提高了产品收得率，大大降低了生产成本。产成本。产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种金属零件精密自动加工设备


[0001]本申请涉及金属精密加工的领域，尤其是涉及一种金属零件精密自动加工设备。

技术介绍

[0002]离子注入机是生产半导体晶圆芯片的最主要设备之一，离子注入机设备包含以下5个部分：离子源、引出电极（吸极）、离子分离器、加速管、扫描系统和工艺室。一台离子注入机是多个极为复杂精密的分系统的集成，其中离子源是极其重要的分系统，离子源离化电弧腔室是离子源的核心组件，离子源离化电弧腔室的零部件大多由金属钨精密加工制成并呈板状或柱状。
[0003]目前，离子源离化电弧钨腔室板状零部件的加工工艺流程为磨光钨板、电火花打穿丝孔、线切割割外形、磨床磨外形、CNC加工中心加工至图纸尺寸。当一个钨板完成加工后，工作人员从加工中心内取出钨板半成品，使用气枪清理加工中心内加工模具的工作台面，将加工产生的碎屑吹落加工模具，再将另一个钨板放置在加工模具上，通过压板螺丝将钨板固定在加工模具内，最后加工中心对钨板进行加工。
[0004]由于是人工上下料，工作人员使用气枪清理工作台面后，易出现微小碎屑残留在工作台面上的情况，进而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属零件精密自动加工设备，包括用于对板状零部件进行加工的加工中心(1)，其特征在于：还包括第一送料机构(2)，用于对板状零部件进行上料运输；抓取机构(3)，用于将板状零部件从第一送料机构(2)抓取送入加工中心(1)内；夹持定位机构(4)，设置于加工中心(1)内，用于固定抓取机构(3)送入的板状零部件；所述夹持定位机构(4)包括底座(41)、支撑柱(42)、定位组件(43)、夹持组件(44)和冲洗组件(45)，所述底座(41)固定设置在加工中心(1)内，所述支撑柱(42)设置在底座(41)上并对板状零部件进行抵接支撑，所述定位组件(43)设置在底座(41)上并对支撑柱(42)上的板状零部件进行挤压定位，所述夹持组件(44)设置在底座(41)上并将板状零部件抵压固定在支撑柱(42)上，所述冲洗组件(45)设置在底座(41)上并对支撑柱(42)及底座(41)进行冲洗。2.根据权利要求1所述的一种金属零件精密自动加工设备，其特征在于：所述定位组件(43)包括多个定位柱(431)和推压部(432)，多个所述定位柱(431)设置在底座(41)上并抵接板状零部件的相邻两侧壁，多个所述推压部(432)设置在底座(41)上并抵接板状零部件相对定位柱(431)的另相邻两侧壁；所述推压部(432)包括推压基座(4321)、弹性柱销(4322)和销头(4323)，所述推压基座(4321)固定设置在底座(41)上，所述弹性柱销(4322)设置在推压基座(4321)靠近板状零部件的侧壁上，所述销头(4323)设置在弹性柱销(4322)靠近板状零部件的端部，且所述销头(4323)抵紧板状零部件。3.根据权利要求2所述的一种金属零件精密自动加工设备，其特征在于：所述定位柱(431)靠近板状零部件的侧壁设置为平面壁(6)，所述定位柱(431)远离板状零部件的一侧弧形设置。4.根据权利要求1所述的一种金属零件精密自动加工设备，其特征在于：所述夹持组件(44)包括油压缸本体(441)、压块(442)和连接杆(443)，所述油压缸本体(441)设置在底座(41)上，所述压块(442)转动设置在油压缸本体(441)的伸缩杆顶端，所述连接杆(443)的两端分别与压块(442)以及油压缸本体(441)转动连接。5.根据权利要求1所述的一种金属零件精密自动加工设备，其特征在于：所述支撑柱(42)内贯穿开设有通气孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶志强，叶寒，
申请(专利权)人：上海西普瀚芯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：