一种高精度金属工件加工方法技术

本申请涉及金属精密加工领域，公开了一种高精度金属工件加工方法，包括以下加工步骤：S1：机械手抓取金属工件并将金属工件放置在加工中心的液压夹具上；S2：液压夹具对金属工件进行定位及固定；S3：对液压夹具与金属工件接触面进行气密性检测；S4：机械手取出已加工的金属工件并将另一个待加工的金属工件放置在液压夹具上。本申请具有能够通过采用液压夹具自动对金属工件进行定位以及固定，使得金属工件在液压夹具上放置的精确度更高，使用机械化设备自动对金属工件进行上料及固定，再配合气密性检测，从而能够便于工作人员对金属工件被固定的牢固程度进行快速检测，使得金属工件加工精度大大提高。工精度大大提高。工精度大大提高。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度金属工件加工方法


[0001]本申请涉及金属精密加工的领域，尤其是涉及一种高精度金属工件加工方法。

技术介绍

[0002]离子注入机是生产半导体晶圆芯片的最主要设备之一，一台离子注入机是多个极为复杂精密的分系统的集成，其中离子源是极其重要的分系统，离子源离化电弧腔室是离子源的核心组件。离子源离化电弧腔室零部件的50％是由金属钨的精密加工件构成，30％零部件是由金属钼和钼合金（TZM）的精密加工件构成，5%零部件是由金属钽的精密加工件构成，因此钨、钼、钼合金（TZM）和钽的精密加工不规则零件在IP行业有着不可替代的作用。
[0003]目前，离子源离化电弧钨腔室的零部件加工工艺流程为磨光金属工件、电火花打穿丝孔、线切割割外形、磨床磨外形、CNC加工中心加工至图纸尺寸。当一个金属工件完成加工后，工作人员从加工中心内取出已加工的金属工件，使用气枪清理加工中心内加工模具的工作台面，将加工产生的碎屑吹落加工模具，再将另一个金属工件放置在加工模具上，通过压板螺丝将金属工件固定在加工模具内，最后加工中心对金属工件进行加工。
[0004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度金属工件加工方法，其特征在于：包括以下加工步骤：S1：机械手抓取金属工件并将金属工件放置在加工中心的液压夹具上；S2：液压夹具先从水平方向上对金属工件进行定位，液压夹具再从竖直方向上对金属工件进行固定；S3：对液压夹具与金属工件接触面进行气密性检测，若检测合格，则对金属工件进行加工，若检测不合格，则检查液压夹具工作台面是否干净，或调节液压夹具的压力，再重新对金属工件进行固定并检测；S4：机械手取出已加工的金属工件并将另一个待加工的金属工件放置在液压夹具上。2.根据权利要求1所述的一种高精度金属工件加工方法，其特征在于：金属工件加工过程中，对金属工件进行喷油冲洗。3.根据权利要求1所述的一种高精度金属工件加工方法，其特征在于：金属工件加工完成后，先对液压夹具进行喷油冲洗，再对液压夹具进行喷气冲洗。4.根据权利要求3所述的一种高精度金属工件加工方法，其特征在于：喷油冲洗时间为20
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40秒，喷气冲洗时间为20
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40秒。5.根据权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶志强，叶寒，
申请(专利权)人：上海西普瀚芯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：