一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源制造技术

本发明专利技术公开了一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源。它解决了传统自激式射频振荡电路稳定性差以及效率低的问题。电源采用了开关调整器电路，实现了可控的脉冲波对射频信号的调制作用。当该电源应用于大气压等离子体放电时，可以有效地克服大气压等离子体在连续状态下工作的射频源激励易产生的丝状放电以及电极过热问题。同时，电路中引入了由Ｌ型滤波器和反Γ型滤波器构成的Ｏ型滤波器（射频衰减量达到了３０ｄＢ以上），因此脉冲调制的射频波具有良好的传输特性。该电源电路简单，耐冲击性强，具有高功率因数、体积小、运行可靠等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源。
技术介绍
近年来，由于大气压下等离子体放电打破了真空室的限制，不但降低了设备成本，而且 操作方便，不受空间限制，更易于实现大规模的工业化生产，因此在大气压下稳定的低温冷 等离子体射流的产生及其应用引起了人们的广泛关注。由于射频下(激励频率1 100 MHz) 等离子体的击穿电压比较低，并且放电特性与低气压下的辉光放电比较接近，所以射频激励 的大气压等离子放电己经成功的应用在了杀菌、表面处理以及半导体工艺等领域。射频发生 器一般有两种输出方式；自激式振荡输出和他激式振荡输出。其中，自激式振荡电路简单， 与负载的匹配好，但是自激式振荡电路工作在较高的频率下，频率稳定性差，转换效率较低 (~75%)，并且射频传导和谐波问题较难解决。如相关
的那些普通技术人员公知的 那样，射频等离子体设备通常采用他激式射频电源，然后通过匹配网络实现射频源和等离子 体设备的射频能量最佳耦合。他激式射频电源具有较高的DC—AC转换(高于85%)，但成 本通常较为昂贵。此外，大气压下的射频气体放电通常采用有介质的放电结构形式，又称为介质阻挡放本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于大气压下等离子体放电的改进式射频电源，其特征是，它的电路结构如下：交流输入与采用通用的共差模滤波器组合而成的工频、高频滤波器连接，工频、高频滤波器与工频整流电路连接，将交流电平电整流为直流电平，工频整流电路与自激式高频逆变电源连接，变为稳定的直流电平；该直流电平经过射频滤波器后连接脉冲调整器，脉冲调整器输出可控的脉冲调制信号后控制下一级的自激式射频振荡器，然后通过射频匹配器输出间隙式的射频波并最终与等离子体负载相连；同时自激式射频振荡器还输出取样信号到信号处理器，信号处理器则将该信号反馈到脉冲调整器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李庆荣，徐向宇，卓慧锋，李建华，刘文革，
申请(专利权)人：李庆荣，徐向宇，卓慧锋，李建华，刘文革，
类型：发明
国别省市：88[中国|济南]