紫外线照射装置及紫外线照射处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射装置。本发明专利技术的紫外线照射装置，具有：多个准分子灯，所述准分子灯在放电容器内形成的密闭空间中封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直方向的一个方向被开口，及气体供给机构，用来将非活性气体供给给该灯罩的内部。其特征为：在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是涉及紫外线照射处理装置，尤其是涉及在半导体基板或液晶 基板等的制造工序中，使用被利用在半导体基板或液晶基板的洗净等的准 分子灯的紫外线照射装置及紫外线照射处理装置。
技术介绍
在最近的半导体基板或是液晶基板等的制造工序中，作为除去附着于 半导体基板的硅片或液晶基板的玻璃基板的表面的有机化合物等的污垢的 方法，使用紫外线的干式洗净方法被广泛地利用。尤其是在使用从准分子 灯所放射的真空紫外光的臭氧或活性氧气的洗净方法中，提案有更有效率 且在短时间洗净的各种洗净装置，例如，公知有如专利文献l。图13是表示公开在同文献的现有的紫外线照射处理装置的结构。根据 现有的紫外线照射处理装置，在开放灯罩A的顶部，例如在不锈钢板形成 多个3mm间距的直径2mm的孔，并成为开口率40。％的多孔气体扩散板B 配置成与开放灯罩A的开放面平行。在支撑板C，在由该气体扩散板B所 区划的空间形成有连续的气体供给口 CA，而在支撑板C上从上方设有气 体供给导管D来覆盖上述气体供给口 CA。在该气体供给导管D，连接有 未图示的氮气供给源，成为将清净的氮气(非活性气体)经气体供给导管D 及气体供给口 CA供给于气体扩散板B上方的空间，而这些结构构成了气 体供给单元E。在运送室F内，构成运送机构G的多根运送机轴H为向与 工件W的运送方向正交的方向设置成旋转自如的状态，工件W载放于设 在这些各运送机轴H的多个运送滚子而被运送。另外，在运送室F的底部， 设有相连在未图示的排气装置的排气导管I，并作成可排出在内部与向运送 室F内供给的氮气一起所产生的臭氧等。如图13的箭号所示，依照上述构成的紫外线照射处理装置，氮气体从 设于灯罩A内的气体扩散板B的微细孔向下方被吐出。被吐出的氮气体，是首先相撞于准分子灯J的平坦面，在这里向横方向改变流动，从准分子 灯的两侧部向工件W表面笔直地流动掉落。所以，从准分子灯J的周围一 直到工件W的紫外线照射空间X，以氮气的流动充满着全体，而被维持在 几乎不存在氧气的非活性气体环境。因此，从准分子灯J所放射的紫外光是几乎不会被氧气所吸收而到达至紫外线照射空间x，工件w表面的紫外线强度是与现有情况相比较会长足地变高。专利文献l:日本特开2005-197291号。可是，根据上述的现有的紫外线照射处理装置，为了快速地进行工件 W的处理，成为必须从准分子灯J的周围一直到准分子灯J与工件W之间 的紫外线空间X用氮气快速地充满的情形。然而，如图13所示，在现有紫 外线照射处理装置中，互相地邻接的多个准分子灯J配置成隔着规定间隔， 因而不得不增大开放灯罩A的内容积。所以，从配置于开放灯罩A的内部 的多个准分子灯J的周围一直到工件W的紫外线照射空间X以非活性气体 的流动来充满，而成为必须经气体供给导管D及气体供给口 CA供给大量 的非活性气体，并存在成本变高的这样的问题。另外，用于将大量的非活 性气体经气体扩散板B的微细孔因将非活性气体充满于准分子灯J的周围 需要长时间，而不得不降低工件W的运送速度，存在降低生产量的这样的 问题。由此，在本专利技术中，其目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分 子灯的周围的紫外线照射装置及具备紫外线照射装置的紫外线照射处理装置。
技术实现思路
本专利技术的紫外线照射装置，具有多个准分子灯，所述准分子灯在被 形成于放电容器内的密闭空间封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上 述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直 方向的一个方向开口；及气体供给机构，用于将非活性气体供给给该灯罩 的内部，该紫外线照射装置其特征为在上述灯罩内，空间封闭体被配置 由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。另外，本专利技术的紫外线照射装置，其特征为是在互相邻接的上述准分子灯之间配置有上述空间封闭体，而该空间封闭体的基端部被固定于上 述灯罩的顶部。本专利技术的紫外线照射装置，是在近年来，被要求对于大面积的被处理 体照射紫外线，因此，就必须增加被收容于灯罩内的准分子灯的发光长度。 例如， 一边运送被处理体一边对于被处理体照射紫外线时，准分子灯的发 光长度必须作成对于被处理体的运送方向正交的方向的全长度还要长。增长准分子灯的发光长度，则必须增长构成发光管的合成石英玻璃管 的长度。要增长准分子灯1支的全长度，如下所述，存在合成石英玻璃管 的制造上的问题、或是准分子灯设置上的问题，因而较困难。所谓合成石英玻璃管的制造上的问题，为将要制作全长度较长的合成 石英玻璃管，则会变形弯曲，而很难加工成特性稳定的灯。另外，随着合 成石英玻璃管的全长度变长，不易于运送(作业性)，而会伤及合成石英玻 璃管，会成为高成本的灯。所谓准分子灯的设置上的问题，是指将全长度长的准分子灯设在灯罩 时，使得准分子灯翘曲而准分子灯的中心部接近于工件，会发生紫外线放 射的参差不齐而产生基板的处理参差不齐，或者进一步翘曲时，则准分子 灯接触于工件而摩擦工件表面而对于工件有带来机械性损坏的问题。所以，如图4所示，准备其全长比被处理体的运送方向正交的方向的全长度还要短的准分子灯1A、 1B，形成各个准分子灯1A、 1B的发光区域 SA、 SB重叠的区域Q，由此，通常来进行着增长发光长度。然而，如图4 所示，与全长较短的准分子灯相比较，则在各个准分子灯1A、 1B的中心 轴方向形成有多余的空间。因此，为了减少形成于上述的准分子灯1A、 1B的中心轴方向的多余 空间，本专利技术的紫外线照射装置其特征为是上述空间封闭体配置在上述 准分子灯的中心轴上，而互相地邻接的上述准分子灯的各个发光区域，重 叠在对于上述准分子灯的中心轴正交的假想直线上。另外，上述紫外线照射装置其特征为是具有用于将上述准分子灯固定在上述灯罩内的支撑体，且对于该支撑体固定有上述准分子灯与上述空 间封闭体的双方。另外，本专利技术的紫外线照射处理装置，其特征为具备上述紫外线照射装置，而且具有向上述准分子灯的中心轴正交的方向运送被处理体的运 送机构。依照本专利技术的紫外线照射装置，在灯罩内，空间封闭体被配置于由准 分子灯所占有的空间以外的空间，因此准分子灯的周围空间的容积变少。 从而，即使不将多量非活性气体供给于灯罩内也可将准分子灯的周围作成 非活性气体气氛，而可减少供给非活性气体所必需的成本。另外，如上所 述，通过减小准分子灯的周围空间的容积，可将准分子灯的周围快速地作 成非活性气体气氛，因此可提升生产量。另外，在本专利技术的紫外线照射装置中，在互相邻接的上述准分子灯之 间配置有上述空间封闭体，而该空间封闭体的基端部被固定于上述灯罩的 顶部，因此可将空间封闭体确实地固定在灯罩的内部。另外，在本专利技术的紫外线照射装置中，上述空间封闭体被配置于上述 准分子灯的中心轴上，而互相地邻接的上述准分子灯的各个发光区域，重 叠在对于上述准分子灯的中心轴正交的假想直线上，因此在使用全长较短 的准分子灯时，由空间封闭体来封闭被形成于准分子灯的中心轴方向的空 间，在灯罩的内部可减小准分子灯的周围空间的容积，而且可将紫外线确 实地照射在大面积的被处理体。另外，根据本专利技术的紫外线照射装置，具备用以将上述准分子灯固定 在上述灯罩的支撑体，且对于该支撑体固定有上述准分子灯与上述空间封 闭体的双方，因此对于其运送方向的宽度不相同的多种被处理体使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紫外线照射装置，其具有：多个准分子灯，所述准分子灯是在放电容器内形成的密闭空间中封入放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯并在垂直方向的一个方向开口；及气体供给机构，用于将非活性气体供给该灯罩的内部，该紫外线照射装置其特征为：　在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：远藤真一，菅敏幸，石原肇，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]