下载紫外线照射装置及紫外线照射处理装置的技术资料

文档序号:3764245

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本发明的目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射装置。本发明的紫外线照射装置,具有:多个准分子灯,所述准分子灯在放电容器内形成的密闭空间中封入有放电气体,并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极;灯罩,包...
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