弹性波元件、梯型滤波器、分波器以及通信装置制造方法及图纸

实现电气特性优异的弹性波元件。弹性波谐振器，具备：包括压电体以及IDT电极的压电基板、支撑基板和第一中间层。第一中间层中，金属元素的原子比率大于压电体中的金属元素的原子比率，且氧的原子比率小于压电体中的氧的原子比率。压电体的厚度为IDT电极的电极指的最大间距的5倍以下。大间距的5倍以下。大间距的5倍以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波元件、梯型滤波器、分波器以及通信装置


[0001]本公开涉及弹性波元件等。

技术介绍

[0002]以往，已知在由支撑基板和压电基板接合而成的基板上设置有电极的弹性波元件。这样的弹性波元件例如用作通信设备中的带通滤波器。在专利文献1中，作为这样的弹性波元件，已知有使用铌酸锂或钽酸锂作为压电基板，使用硅、石英、陶瓷等作为支撑基板的弹性波元件。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本公开特许公报“特开2006
‑
319679号公报”
技术实现思路

[0006]本公开的一个方面的弹性波元件，具备：压电基板，包括压电体和IDT电极，所述IDT电极具有以规定间距布置在该压电体上的多个电极指；支撑基板，相对于所述压电基板位于所述IDT电极的相反侧；和，第一中间层，位于所述压电基板与所述支撑基板之间；所述第一中间层中：构成元素与所述压电体相同，金属元素的原子比率大于所述压电体中的金属元素的原子比率，且氧的原子比率小于所述压电体中的氧的原子比率；所述压电体的厚度为所述规定间距中的最大间距的5倍以下。
附图说明
[0007]图1是本公开的实施方式一的弹性波谐振器的概略俯视图。
[0008]图2是上述的弹性波谐振器的概略剖视图，是沿图1中的A
‑
A线的剖视图。
[0009]图3是表示上述弹性波谐振器的一个例子的TEM图像。
[0010]图4是表示上述弹性波谐振器的作用效果的图。
[0011]图5是表示上述弹性波谐振器的压电体的厚度与在将上述弹性波谐振器用于滤波器的情况下阻带中的杂散的产生之间的关系的图。
[0012]图6是表示压电体的厚度与弹性波谐振器的最大相位之间的关系的图。
[0013]图7是表示在规定的条件下制作的弹性波谐振器中，形成第一中间层时的表面处理的强度与第一中间层的厚度之间的关系的图。
[0014]图8是说明本公开的一个实施方式的通信装置的概略图。
[0015]图9是说明本公开的一个实施方式的分波器的电路图。
具体实施方式
[0016]以下将参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。此外，在以下说明中使用的附图是示意图，并不严格地表示附图中各部件的尺寸比例。
[0017]＜谐振器的结构＞
[0018]本实施方式的弹性波滤波器具备至少一个弹性波谐振器。例如，弹性波滤波器通过将多个弹性波谐振器连接成梯型来构成梯型滤波器。本实施方式的弹性波滤波器也可以在与各弹性波谐振器中的弹性波的传播方向正交的方向上，并列地具备多个弹性波谐振器。
[0019]以下，参照图1以及图2，更详细地说明本实施方式的弹性波谐振器4。图1是本实施方式的弹性波谐振器4的概略俯视图。图2是弹性波谐振器4的概略剖视图，是沿图1中的A
‑
A线的剖视图。另外，本说明书中，将弹性波谐振器4中的弹性波的传播方向TD，在包括图1的弹性波谐振器4的俯视图中，设为朝向纸面的上下方向，在包括图2的弹性波谐振器4的剖视图中，设为朝向纸面的左右方向。此外，在本说明书中，在包括图2的弹性波谐振器4的剖视图中，为了简化图示，仅示出了截面中的部件，省略了比该截面靠里侧的部件的图示。另外，弹性波谐振器为弹性波元件的一个例子。
[0020]如图1以及图2所示，本实施方式的弹性波谐振器4具备压电基板5。压电基板5具备：压电体6、和该压电体6上的IDT电极8。另外，在本说明书的包括图2的弹性波谐振器4的剖视图中，示出了IDT电极8相对于压电体6朝向纸面位于上侧。
[0021]压电体6由压电性的材料构成，例如可以使用钽酸锂的单晶、铌酸锂等。压电体6含有金属元素和氧元素。
[0022]在弹性波谐振器4中，通过对包括后述的IDT电极8的导电层施加电压，激励在压电体6中沿传播方向TD传播的弹性波。在本实施方式中，如图2所示，压电体6可以具有恒定的厚度。另外，在本说明书中，“厚度恒定”并不一定是指厚度严格恒定，而是在不显着影响在压电体6中传播的弹性波的特性的范围内，允许一些变动。为了减少电气信号的损失，以及减少因温度变化引起的特性变化，压电体6的厚度优选地较薄。在本实施方式中，压电体6的厚度构成为：为后述的IDT电极8所具有的电极指14所配置的间距中的最大间距的5倍以下。此外，压电体6厚度为弹性波谐振器4激励的弹性波的波长的2.5倍以下。
[0023]IDT电极8包括一对梳齿电极10。另外，在本说明书中，在包括图1的弹性波谐振器4的俯视图中，为了改善可视性，对一个梳齿电极10施加了阴影线。梳齿电极10例如包括：汇流条12；多个电极指14，从汇流条12相互延伸；多个虚设电极16，位于多个电极指14的各个之间，从汇流条12突出。一对梳齿电极10中，多个电极指14被配置为互相啮合。
[0024]汇流条12具有大致恒定的宽度，大致沿传播方向TD形成。此外，一对汇流条12在大致正交于传播方向TD的方向上相互对置。另外，在不显著影响在压电体6中传播的弹性波的程度下，汇流条12的宽度可以变化，或者，也可以相对于传播方向TD倾斜地形成。
[0025]各电极指14大致沿汇流条12的宽度方向形成为长条状。各梳齿电极10中，多个电极指14沿传播方向TD排列。此外，从一个汇流条12延伸的电极指14与从另一个汇流条12延伸的电极指14在传播方向TD交替地配置。
[0026]各电极指14的根数不限于图1所示的根数，可以根据弹性波谐振器4所需的特性适当地设计。此外，如图1所示，每个电极指14的长度可以是大致恒定的，或者，也可以根据传播方向TD上的位置而长度彼此不同，实施为所谓的切趾。另外，IDT电极8的一部分中，电极指14的一部分也可以被“间除”。换言之，IDT电极8可以包括：在其中一部分中，没有形成电极指14的一部分的区域。
[0027]各虚设电极16大致沿着汇流条12的宽度方向突出。此外，从一个汇流条12突出的虚设电极16与从另一个汇流条12延伸的电极指14的远端在与传播方向TD正交的方向上，隔着间隙相互对置。另外，弹性波谐振器4也可以不包括虚设电极16。
[0028]弹性波谐振器4，还包括一对反射器18，一对反射器18在压电体6上，相对于电极指14位于传播方向TD的两端。反射器18包括从一对相互对置的汇流条20延伸的多个条形电极22。反射器18可以为电悬浮状态，或者，反射器18可以被赋予基准电位。另外，IDT电极8和反射器18可以在同一层中，也可以被包含在导电层中。IDT电极8和反射器18由金属材料形成，例如可以由以Al为主要成分的合金形成。
[0029]如图2所示，弹性波谐振器4还具备支撑基板26，支撑基板26相对于压电基板5位于IDT电极8的相反侧的同时支撑压电基板5。在本实施方式中，支撑基板26对在压电体6中传播的弹性波的特性造成的影响足够小。因此，支撑基板26的材料以及尺寸可以适当地设计。例如，支撑基板26可以包括绝缘材料，并且可以包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.弹性波元件，具备：压电基板，包括压电体和IDT电极，所述IDT电极具有以规定间距布置在该压电体上的多个电极指；支撑基板，相对于所述压电基板位于所述IDT电极的相反侧；和，第一中间层，位于所述压电基板与所述支撑基板之间；所述第一中间层中：构成元素与所述压电体相同，金属元素的原子比率大于所述压电体中的金属元素的原子比率，且氧的原子比率小于所述压电体中的氧的原子比率；所述压电体的厚度为所述规定间距中的最大间距的5倍以下。2.根据权利要求1所述的弹性波元件，在所述第一中间层和所述支撑基板之间，具备：由与所述支撑基板相同构成元素形成的第二中间层；所述第二中间层的厚度比所述第一中间层的厚度大。3.根据权利要求1或2所述的弹性波元...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村俊哉，菊地重之，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：