本发明专利技术提供的一种薄膜检测装置，属于光学检测技术领域，包括：样品室结构和支撑结构、透镜结构、真空系统，其中样品室结构内部形成有容纳腔，样品室结构上端设置有扫描电镜；样品室结构开设适于光束通过的第一开孔；支撑结构与所述样品室结构连接，并适于支撑样品室结构；透镜结构设置于样品室结构的下方，适于接收扫描电镜的光束；真空系统设置于样品室结构的侧方。本装置将真空系统放置在样品室结构的侧方，并将透镜结构放置在样品室结构的下方，保证样品室结构上端的扫描电镜发射的光束能够通过第一开孔被透镜结构接收到，在对薄膜材料进行检测时无需扫描电镜和透射电镜分别对薄膜材料进行检测，简化检测过程，提高了检测效率。效率。效率。
【技术实现步骤摘要】
一种薄膜检测装置
[0001]本专利技术涉及光学检测
，具体涉及一种薄膜检测装置。
技术介绍
[0002]随着科技水平的不断发展，薄膜材料的应用越来越广泛。对薄膜材料的结构、性质、性能等分析需求也越来越多。对于薄膜材料微观形貌的观测方式，通常选择用扫描电子显微镜和投射电子显微镜来进行。扫描电子显微镜简称扫描透镜，是通过电子枪发射电子束，电子束经磁透镜聚焦之后，在样品表面作光栅状扫描，对电子和样品表面相互作用产生的信号进行检测，达到分析样品的成分、形貌及结构的目的。透射电子显微镜，简称透射电镜 ，是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上，电子与样品中的原子碰撞而改变方向，从而产生立体角散射。
[0003]薄膜检测装置通常包括样品室和样品台，薄膜样品设置于样品台上并位于样品室内，样品室和样品台围合形成空腔，并通过真空系统对空腔内抽真空。现有技术中，真空系统通常设置于样品室和样品台的正下方，因此样品室和样品台的下方没有空间再安装其他设备，在对薄膜材料进行检测时需要扫描电镜和透射电镜分别对薄膜材料进行检测，使得检测过程繁琐，检测效率低下。
技术实现思路
[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的需要扫描电镜和透射电镜分别对薄膜材料进行检测缺陷，从而提供一种薄膜检测装置。
[0005]本专利技术提供了一种薄膜检测装置，包括：样品室结构，内部形成有容纳腔，所述样品室结构上端设置有扫描电镜；所述样品室结构开设有适于扫描电镜的光束通过的第一开孔；支撑结构，与所述样品室结构连接，并适于支撑所述样品室结构；透镜结构，设置于所述样品室结构的下方，并适于接收所述扫描电镜的光束；真空系统，设置于所述样品室结构的侧方，并与所述样品室结构的容纳腔连通设置。
[0006]作为优选方案，所述支撑结构包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部支撑于所述样品室结构的外侧并周向分布，所述第二支撑部支撑于所述样品室结构的底部，所述第二支撑部上开设有适于扫描电镜的光束穿过的第二开孔。
[0007]作为优选方案，样品室结构包括样品室主体和样品台，所述样品台设置在所述样品室主体的底部，所述样品台与所述样品室主体可拆卸连接，所述第一支撑部对应所述样品室主体外周设置，所述第二支撑部对应所述样品台底面设置。
[0008]作为优选方案，所述样品室主体与所述第一支撑部固定连接，所述第一支撑部位置固定，所述第二支撑部与所述样品台底面抵接，所述第二支撑部沿竖直方向可移动设置。
[0009]作为优选方案，样品室主体包括本体和支撑柱，所述支撑柱具有若干个，若干个所
述支撑柱均匀周向设置在所述本体的外侧。
[0010]作为优选方案，所述本体包括顶壁、第一周壁和第二周壁，所述顶壁适于盖设在所述第一周壁的顶端上；所述顶壁开设有电镜孔，所述电镜孔适于与所述扫描电镜连接；所述第一周壁的侧壁上开设有若干第一连接孔；所述第二周壁适于与所述第一周壁底端连接；所述第二周壁与所述支撑柱连接，若干个所述支撑柱均匀周向设置对应所述第二周壁的外周设置。
[0011]作为优选方案，所述第一周壁内向倾斜设置，所述第一连接孔的轴线与所述样品台的中心相交设置。
[0012]作为优选方案，所述样品台中心开设有安装槽，所述第一开孔设置在所述第一安装槽的中心处。
[0013]作为优选方案，所述样品台还包括：密封钉，适于安装在所述第一开孔内；所述密封钉为中空结构。
[0014]作为优选方案，所述样品台（12）朝向所述样品室本体（112）的一面靠近边缘沿周向开设有密封槽（123），所述密封槽内设置有密封圈。
[0015]本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的薄膜检测装置，通过支撑结构对样品室结构起到支撑作用，将真空系统放置在样品室结构的侧方，将透镜结构放置在样品室结构的下方，保证样品室结构上端的扫描电镜发射的光束能够通过第一开孔被透镜结构接收到，在对薄膜材料进行检测时无需扫描电镜和透射电镜分别对薄膜材料进行检测，简化检测过程，提高了检测效率。
[0016]2.本专利技术提供的薄膜检测装置，支撑结构包括第一支撑部和第二支撑部，其中第一支撑部支撑在样品室结构的外侧并周向分布，第二支撑部支撑与样品室结构的底部，第二支撑部开设有适于扫描电镜的光束通过的第二开孔，使第二支撑部在对样品室结构起到支撑的同时不影响透镜结构的正常使用；当需要更换样品时，仅通过第一支撑部对样品室结构进行支撑，保证样品室结构的稳定。
[0017]3.本专利技术提供的薄膜检测装置，其中样品室结构包括样品室主体和样品台，样品台上放置有样品，其中样品室主体和样品台可拆卸连接，可以方便对样品进行更换或者对样品进行调节。
[0018]4.本专利技术提供的薄膜检测装置，其中样品室主体与第一支撑部固定连接，能够进一步保证第一支撑部对样品室主体的支撑作用；第二支撑部与样品台底面抵接连接，并且为了便于对样品台上样品的更换，第二支撑部可以进行上下移动，增加了样品台在进行换样品时的便捷性。
[0019]5.本专利技术提供的薄膜检测装置，其中样品室主体包括本体和支撑柱，支撑柱具有若干个，并且若干个支撑柱均匀周向设置在本体外侧，本体通过支撑柱与第一支撑部固定连接，周向分布的支撑柱能够保证本体在使用过程中更加稳定。
[0020]6.本专利技术提供的薄膜检测装置，其中本体包括顶壁、第一周壁和第二周壁，顶壁上开设有适于扫描电镜连接的第一连接孔，适于电子探测器等电子元器件的连接；并且将第一周壁内向倾斜设置，使第一连接孔的轴线与样品台的中心相交设置，这样设置能够保证电子探测器等电子元器件的中心正好打在样品的中心，能够保证对样品的正常检测分析。
[0021]7.本专利技术提供的薄膜检测装置，在样品台中心开设有安装槽，安装槽适于放置样
品，通过将样品放置在安装槽内，保证样品处于固定位置，使得样品无需进行位置调节，避免了繁琐的调整过程，使得本方案更加高效、便捷。
[0022]8.本专利技术提供的薄膜检测装置，还设置有密封钉，密封钉适于安装在第一开孔内，并且密封钉为中空结构，使得扫描电镜发射的光束能够通过密封钉的内部，在样品台上开设仅通过光束大小的第一开孔难度较大，导致成本增加，并且在用密封胶对样品进行密封的过程中容易造成第一开孔的封堵，而密封钉开孔成本较低，并且密封钉封堵后可以随时进行更换，增加本装置的实用性。
[0023]9.本专利技术提供的薄膜检测装置，为了保证样品台和样品室本体的密封性，还设置有密封槽和密封圈，密封槽设置在所述样品台的边缘处；密封圈适于放置在所述密封槽内，进一步保证了样品台和样品室本体的密封性。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1为本专利技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种薄膜检测装置，其特征在于，包括：样品室结构（1），内部形成有容纳腔，所述样品室结构（1）上端设置有扫描电镜；所述样品室结构（1）开设有适于扫描电镜的光束通过的第一开孔（122）；支撑结构（2），与所述样品室结构（1）连接，并适于支撑所述样品室结构（1）；透镜结构（3），设置于所述样品室结构（1）的下方，并适于接收所述扫描电镜的光束；真空系统，设置于所述样品室结构（1）的侧方，并与所述样品室结构（1）的容纳腔连通设置。2.根据权利要求1所述的薄膜检测装置，其特征在于，所述支撑结构（2）包括第一支撑部（21）和第二支撑部（22），所述第一支撑部（21）支撑于所述样品室结构（1）的外侧并沿周向分布，所述第二支撑部（22）支撑于所述样品室结构（1）的底部，所述第二支撑部（22）上开设有适于扫描电镜的光束穿过的第二开孔。3.根据权利要求2所述的薄膜检测装置，其特征在于，样品室结构（1）包括样品室主体（11）和样品台（12），所述样品台（12）设置在所述样品室主体（11）的底部，所述样品台（12）与所述样品室主体（11）可拆卸连接，所述第一支撑部（21）对应所述样品室主体（11）外周设置，所述第二支撑部（22）对应所述样品台（12）底面设置。4.根据权利要求3所述的薄膜检测装置，其特征在于，所述样品室主体（11）与所述第一支撑部（21）固定连接，所述第一支撑部（21）位置固定，所述第二支撑部（22）与所述样品台（12）底面抵接，所述第二支撑部（22）沿竖直方向可移动设置。5.根据权利要求3所述的薄膜检测装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭浩东，靳佳，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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