一种扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描电镜样品台，属于半导体芯片制造技术领域；包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电材料制成的下夹持片和上夹持片，所述上夹持片的上表面靠近端部位置通过转轴安装有具有导性能的标记指针；所述上夹持片包括靠近基台铰接端设有拱高部和位于夹持端的夹持部。采用上述技术方案，本实用新型专利技术可以避免导电胶带对样品的污染以及满足在电镜下快速寻找的要观察的区域，同时可以满足多角度观察样品的需求。可以满足多角度观察样品的需求。可以满足多角度观察样品的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜样品台


[0001]本技术涉及半导体芯片制造
，涉及一种扫描电镜样品台。

技术介绍

[0002]扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。在制备扫描电镜样品时通常使用碳导电胶带将样品粘贴在样品台上，但对于一些特殊的样品使用导电胶带粘贴容易造成样品污染，取下样品时也容易损坏样品，在观察时想要寻找特殊的位置观察需要花费时间寻找，或者提前用记号笔做标注，但这样会对样品造成污染，而记号笔的标记中的挥发性物质也会对扫描电镜的真空环境造成影响，此外一般的扫描电镜样品台多为美铝合金制成的圆形台，样品观测时平贴在样品台上，想要从多角度观察样品有一定困难。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的问题，本技术提供了一种避免导电胶带对样品的污染以及满足在电镜下快速寻找的要观察的区域，从多角度观察样品的扫描电镜样品台，
[0004]本技术是这样实现的，一种扫描电镜样品台，包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜样品台，包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电材料制成的下夹持片和上夹持片，所述上夹持片的上表面靠近端部位置通过转轴安装有具有导性能的标记指针；所述上夹持片包括靠近基台铰接端设有拱高部和位于夹持端的夹持部。2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述上夹持片和下夹持片的夹持面上涂覆有导电层。3.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：所述上夹持片和下夹持片的两侧设有夹持凸...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昊，曲迪，宋学颖，梁娟，王磊，王俊，陈帅，
申请(专利权)人：华慧科锐天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：