一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具，属于晶片抛光技术领域，其特征在于，至少包括：底座；固定于底座上表面的M个支撑架；M为大于2的自然数；M个支撑架位于同一个圆周上；每个支撑架上固定有水平方向的丝杠；固定于丝杠上的晶片托；M个晶片托位于同一个水平面上，所述支撑架为柱状结构，在所述支撑架的侧壁开设有连接丝杠的水平通孔，在所述支撑架的顶部开设有竖直方向的销孔；所述销孔和水平通孔相通；所述丝杠穿过通孔，所述销子自上而下穿过销孔进而对丝杠进行固定。通过采用上述技术方案，本实用新型专利技术利用多个晶片托从不同方位对晶片进行限位，能够有效防止双面抛光片在检测的过程中发生滑动，提高检测的精度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具


[0001]本技术属于晶片抛光
，具体涉及一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具。

技术介绍

[0002]众所周知，晶片是半导体领域中非常重要的元器件之前，晶片抛光工艺的好坏直接影响到晶片的质量，晶片抛光分为单面抛光和双面抛光，其中，双面抛光晶片在镜检或其他工艺步骤中，片子的一面接触较为粗糙的载物平台并有可能出现相对滑动，这样会导致检测结构或者工艺结构的失败，为此，设计开发一种防止滑动的双面抛光片检测用的光学显微镜夹具显得是尤为重要。

技术实现思路

[0003]本技术为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具，可以防止双面抛光片在检测的过程中发生滑动。
[0004]本技术的目的是提供一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具，至少包括：
[0005]底座(1)；
[0006]固定于底座(1)上表面的M个支撑架(6)；M为大于2的自然数；M个支撑架(6)位于同一个圆周上；
[0007]每个支撑架(6)上固定有水平方向的丝杠(2)；
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具，其特征在于，至少包括：底座(1)；固定于底座(1)上表面的M个支撑架(6)；M为大于2的自然数；M个支撑架(6)位于同一个圆周上；每个支撑架(6)上固定有水平方向的丝杠(2)；固定于丝杠(2)上的晶片托(3)；M个晶片托(3)位于同一个水平面上。2.根据权利要求1所述的双面抛光片检测用的光学显微镜夹具，其特征在于，所述支撑架(6)为柱状结构，在所述支撑架(6)的侧壁开设有连接丝杠(2)的水平通孔，在所述支撑架(6)的顶部开设有竖直方向的销孔；所述销孔和水平通孔相...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨子曦，陈帅，白国人，明辰，林海鹏，曲迪，
申请(专利权)人：华慧科锐天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：