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本实用新型公开了一种双面抛光片检测用的光学显微镜夹具，属于晶片抛光技术领域，其特征在于，至少包括：底座；固定于底座上表面的M个支撑架；M为大于2的自然数；M个支撑架位于同一个圆周上；每个支撑架上固定有水平方向的丝杠；固定于丝杠上的晶片托；M...
该专利属于华慧科锐（天津）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华慧科锐（天津）科技有限公司授权不得商用。

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