一种扫描电镜夹杂物自动统计分析用样品座制造技术

本实用新型专利技术涉及一种扫描电镜夹杂物自动统计分析用样品座，包括主体、限位板、弹簧、螺钉、紧固螺钉和连接模块，其特征在于，所述限位板通过螺钉与主体上端紧固连接，紧固螺钉旋拧在主体侧壁上并探入主体内，弹簧放置在主体底部中心位置，连接模块通过螺钉紧固连接在主体的底部。其有益效果是：该实用新型专利技术装置，适用于放置任意高度、不同尺寸且无需对上下表面进行水平加工的待测样品，可实现电镜镜筒底端到样品待测面之间工作距离的恒定，既节约了样品制备的成本，同时也提高了工作效率和统计分析结果的准确性。果的准确性。果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜夹杂物自动统计分析用样品座


[0001]本技术涉及扫描电镜辅助设备
，特别是涉及一种扫描电镜夹杂物自动统计分析用样品座。

技术介绍

[0002]全自动夹杂物分析统计系统是基于扫描电子显微镜及能谱仪的综合性分析系统，主要功能是利用背散射电子成像结合能谱仪对钢中夹杂物实现自动综合统计分析，包括分类统计、尺寸分布、位置分布等信息，对炼钢过程中合金元素、耐火材料、保护渣及冶炼工艺对夹杂物的变化规律研究有着重要的意义。自国家标准GB/T 30834
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2014《钢中非金属夹杂物的评定和统计扫描电镜法》发布实施以来，利用扫描电镜对钢中细小夹杂物进行形态、尺寸及成分的自动统计分析，已成为夹杂物检测的一种热门分析手段。在自动统计分析过程中是通过控制样品台在X、Y方向的水平移动来实现对限定区域的自动识别分析、统计的过程，因此样品待测面能否保证水平是统计分析的关键所在，设备标配的样品座适用于常规检测样品，对于夹杂物自动统计分析的样品而言要保证待测面与样品台平面水平，对样品的制备要求非常高，首先需要上磨床或者线切割来实现待测面与其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜夹杂物自动统计分析用样品座，包括主体、限位板、弹簧、螺钉、紧固螺钉和连接模块，其特征在于，所述限位板通过螺钉与主体上端紧固连接，紧固螺钉旋拧在主体侧壁上并探入主体内，弹簧放置在主体底部中心位置，连接模块通过螺钉紧固连接在主体的底部。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜夹杂物自动统计分析用样品座，其特征在于，所述主体为截面是凹槽形状的结构件，主体凹槽形底部的中心位置设有与弹簧匹配的沉孔，沉孔的深度为主体凹槽形底部厚度的二分之一。3.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：左海霞，海超，苏崇涛，高洪刚，郭晓静，刘彦海，王亚东，乔浩浩，孙健，于健，
申请(专利权)人：本钢板材股份有限公司，
类型：新型
国别省市：