用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜制造技术

本实用新型专利技术公开了用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜，包括截面样品台体上端面两侧分别设置有顶紧板和安装板；导电胶体设置在安装板上；以及水平翻转安装机构，水平翻转安装机构包括翻转固定组件和顶紧组件，翻转固定组件与顶紧组件分别设置在安装板和顶紧板上，翻转固定组件用于将安装板安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板时进行固定，顶紧组件将安装在导电胶体上的扫描样品进行顶紧固定。锁死件上的复位弹簧套杆推动锁死杆插入到安装板上的锁死槽内，从而对安装板进行翻转后固定，顶紧板的内侧运动会使卡板插入到卡套内，卡套内的卡弹片插入到卡槽内实现顶紧板和安装板之间的固定，无需通过外置螺栓的拧动便可对安装板进行快速固定。进行快速固定。进行快速固定。

【技术实现步骤摘要】
用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜


[0001]本技术属于扫描电镜
，具体涉及用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜。

技术介绍

[0002]扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，在对样品进行扫描前，需要将样品放置到样品平台上，样品平台分为T字样品台和截面样品台，若需要对样品的截面进行扫描观察，现有技术中需要将扫描样品固定在截面样品台上，截面样品台上端面平行布设有滑槽，两侧滑槽分别安装顶紧板和安装板，首先将安装板拆卸下来水平放置，通过镊子将导电胶粘接在安装板上端面，之后通过镊子将扫描样品放置到导电胶粘接面进行固定，将安装板翻转至竖向状态通过滑槽进行固定，再通过顶紧板上的螺栓以拧固方式对扫描样品进行固定；
[0003]如公告号为CN201698989U的中国专利，其公开了一种扫描电镜截面观测平台，包括基座，在基座上设置夹持样品的夹具，夹具包括固定块和滑动块，固定块设置在基座上，滑动块与基座之间设置滑动调节机构，为方便确定测量位置，在基座上设置测量固定块与滑动块之间开口的距离的刻度尺。通过滚动螺旋扭具，固定块和滑动块构成的夹口可以张开闭合，以对样品进行固定。
[0004]但是上述方案存在以下不足：上述对扫描样品的夹固方式需要通过扭具、固定块和滑动块的配合实现，由于扫描样品需要平齐于滑动块和固定块之间的安装部上边沿设置，然而上述扫描样品不能够以水平放置方式安装到固定块和滑动块之间的安装部，导致扫描样品不易在安装部进行精确安装，且通过扭具实现固定块和滑动块之间的夹紧方式不便快速对扫描样品进行固定；
[0005]如何便于扫描样品和安装部之间以水平放置方式对齐安装，同时便于对安装部进行快速固定是当下需要解决的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供用于扫描电镜的样品平台及扫描电镜，以解决上述
技术介绍
中存在的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于扫描电镜的样品平台，包括：
[0008]截面样品台体，所述截面样品台体上端面两侧分别可拆卸设置有顶紧板和安装板；
[0009]导电胶体，所述导电胶体设置在所述安装板上并用于对扫描样品进行放置安装；以及
[0010]水平翻转安装机构，所述水平翻转安装机构包括翻转固定组件和顶紧组件，所述翻转固定组件与顶紧组件分别设置在所述安装板和顶紧板上，所述翻转固定组件用于将所
述安装板安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板时进行固定，并通过所述顶紧组件将安装在导电胶体上的扫描样品进行顶紧固定。
[0011]优选的，所述导电胶体由环氧树脂、丙烯酸酯树脂、聚氯酯任意一种作为基体制备的导电胶构成。
[0012]优选的，所述翻转固定组件包括活动连接在所述安装板底端的固定块，固定块可拆卸固定设置在所述截面样品台体上的对应滑槽部内，相邻所述安装板和固定块之间设置有锁死件，锁死件用于所述安装板安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板时进行固定。
[0013]优选的，所述翻转固定组件还包括对称设置在所述安装板底端的翻转孔块，所述固定块上端面设置有双耳轴块，翻转孔块转动套设在双耳轴块上。
[0014]优选的，所述固定块上端面单侧设置有限位挡块并用于安装板翻转后的限位，且所述固定块上端面设有翻转槽并延伸至所述限位挡块侧壁上，所述安装板和所述限位挡块前端面壁上均设有锁死槽，所述锁死件上分别设置有锁死杆和复位弹簧套杆并分别插设在安装板、限位挡块上对应位置的锁死槽内，此时所述顶紧板和安装板相互平行设置，且所述复位弹簧套杆插入限位挡块上锁死槽深度大于锁死杆插入对应安装板上锁死槽深度，所述锁死槽能够限制插入的锁死杆、复位弹簧套杆发生相对转动。
[0015]优选的，所述顶紧组件包括滑动固定在所述截面样品台体上滑槽部的衔接块，衔接块侧壁上设有活动孔，活动孔内沿水平方向滑动贯穿有顶推弹簧套杆，顶推弹簧套杆内端固定设置在所述顶紧板上并用于所述顶紧板和安装板之间的扫描样品进行夹紧。
[0016]优选的，所述锁死件侧壁上设置有延伸并平行于安装板和限位挡块之间的导电插板，导电插板两端均设置有导电棉块并分别和两端的安装板、限位挡块接触连接，所述导电插板侧部设置有卡板，卡板两端面均布设有卡槽，所述顶紧板前端设置有卡套，卡套内壁两端均布置有和卡槽配合卡接的卡弹片进行固定。
[0017]一种扫描电镜，包括所述的扫描电镜的样品平台。
[0018]与现有技术相比，本技术的有益效果是：将安装板通过翻转孔块和双耳轴块的配合进行九十度翻转，并缓慢松开锁死件，锁死件上的复位弹簧套杆推动锁死杆插入到安装板上的锁死槽内，从而对安装板进行翻转后固定，具有便于扫描样品和安装板之间以水平放置方式对齐安装的特点；
[0019]顶紧板的内侧运动会使卡板插入到卡套内，卡套内的卡弹片插入到卡槽内实现顶紧板和安装板之间的固定，无需通过外置螺栓的拧动便可对安装板进行快速固定。
附图说明
[0020]图1为本技术的整体结构示意图；
[0021]图2为图1的剖视示意图；
[0022]图3为图1的俯视示意图；
[0023]图4为本技术的顶紧板、固定块、安装板和衔接块配合结构示意图；
[0024]图5为图4的固定块结构示意图；
[0025]图6为图4的锁死件、锁死杆和复位弹簧套杆结构示意图。
[0026]图中：1、截面样品台体；2、顶紧板；3、安装板；4、导电胶体；5、固定块；6、锁死件；7、衔接块；8、活动孔；9、顶推弹簧套杆；10、翻转孔块；11、双耳轴块；12、限位挡块；13、翻转槽；
14、锁死槽；15、锁死杆；16、复位弹簧套杆；17、导电插板；18、导电棉块；19、卡槽；20、卡套；21、卡弹片；101、扫描样品；201、卡板。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0028]请参阅图1
‑
6，本技术提供一种技术方案：
[0029]实施例一：
[0030]一种用于扫描电镜的样品平台，包括：
[0031]截面样品台体1，截面样品台体1上端面两侧分别可拆卸设置有顶紧板2和安装板3；
[0032]导电胶体4，导电胶体4通过粘接方式设置在安装板3上边沿部并用于对扫描样品101进行放置安装；以及
[0033]水平翻转安装机构，水平翻转安装机构包括翻转固定组件和顶紧组件，翻转固定组件与顶紧组件分别设置在安装板3和顶紧板2上，翻转固定组件用于将安装板3安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板2时进行固定，并通过顶紧组件将安装在导电胶体4上的扫描样品101进行顶紧固定。
[0034]实施例二：
[0035]导电胶体4由环氧树脂、丙烯酸酯树脂、聚氯酯任意一种作为基体制备的导电胶构成，为现有产品不做赘述；
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于扫描电镜的样品平台，其特征在于，包括：截面样品台体(1)，所述截面样品台体(1)上端面两侧分别可拆卸设置有顶紧板(2)和安装板(3)；导电胶体(4)，所述导电胶体(4)设置在所述安装板(3)上并用于对扫描样品(101)进行放置安装；以及水平翻转安装机构，所述水平翻转安装机构包括翻转固定组件和顶紧组件，所述翻转固定组件与顶紧组件分别设置在所述安装板(3)和顶紧板(2)上，所述翻转固定组件用于将所述安装板(3)安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板(2)时进行固定，并通过所述顶紧组件将安装在导电胶体(4)上的扫描样品(101)进行顶紧固定。2.根据权利要求1所述的用于扫描电镜的样品平台，其特征在于：所述导电胶体(4)由环氧树脂、丙烯酸酯树脂、聚氯酯任意一种作为基体制备的导电胶构成。3.根据权利要求1所述的用于扫描电镜的样品平台，其特征在于：所述翻转固定组件包括活动连接在所述安装板(3)底端的固定块(5)，固定块(5)可拆卸固定设置在所述截面样品台体(1)上的对应滑槽部内，相邻所述安装板(3)和固定块(5)之间设置有锁死件(6)，锁死件(6)用于所述安装板(3)安装面由水平状态翻转至平行于顶紧板(2)时进行固定。4.根据权利要求3所述的用于扫描电镜的样品平台，其特征在于：所述翻转固定组件还包括对称设置在所述安装板(3)底端的翻转孔块(10)，所述固定块(5)上端面设置有双耳轴块(11)，翻转孔块(10)转动套设在双耳轴块(11)上。5.根据权利要求3所述的用于扫描电镜的样品平台，其特征在于：所述固定块(5)上端面单侧设置有限位挡块(12)并用于安装板(3)翻转后的限位，且所述固定块(5)上端面设有翻转槽(...

【专利技术属性】
技术研发人员：余锐，郭小庆，焦磊，
申请(专利权)人：合肥熠品医药科技有限公司，
类型：新型
国别省市：