本实用新型专利技术涉及检测设备领域，特别涉及扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括样品基座及插设于所述样品基座上的样品台，沿着所述样品台边沿插设有多个样品支座；样品支座的内端插入样品台，样品支座的上表面开设有竖向凹槽，竖向凹槽的一端穿出样品支座的外端，样品支座的外壁设有第一斜面和第二斜面，第一斜面和第二斜面分别位于竖向凹槽的两侧，第一斜面和第二斜面的上沿分别延伸至竖向凹槽的槽口。与现有技术相比，本实用新型专利技术结构合理，可以通过多个样品台同时装载多种样品进行观察，同一样品支座上的竖向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，提高了观测效率。提高了观测效率。提高了观测效率。
【技术实现步骤摘要】
扫描电子显微镜多样品装载组合装置
[0001]本技术涉及检测设备领域，特别涉及扫描电子显微镜多样品装载组合装置。
技术介绍
[0002]扫描电子显微镜因为其观测尺度跨幅大，能够分析的微区面积大可到达平方毫米的量级，小可至平方微米的量级，图像的几何分辨率可达到或优于纳米级。其样品制备相对简单，附件以及其他功能丰富。目前，扫描电镜已广泛应用于物理、化学、材料、冶金、矿物、地质、生物等领域，是科研、生产等领域中应用最广泛的显微分析仪器之一，是当前必不可少的分析手段。样品台是SEM的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征。然而，目前SEM常用的样品台对装载样品的断面斜面观察有一定的限制，只适用于平面或断面的观察，不能在一个样品台上观察到样品的斜面、平面及断面样品形貌；当需要对样品的平面、断面及斜面进行观测时，需要选择多个类型不同的样品台并先后进样，增加了扫描电子显微镜的观测时间，影响观测效率。
技术实现思路
[0003]为了解决上述问题，本技术提供扫描电子显微镜多样品装载组合装置。
[0004]本技术采用的技术方案如下：扫描电子显微镜多样品装载组合装置，关键在于：包括样品基座及插设于所述样品基座上的样品台，沿着所述样品台边沿插设有多个样品支座；
[0005]所述样品支座的内端插入所述样品台，所述样品支座的上表面开设有竖向凹槽，所述竖向凹槽的一端穿出所述样品支座的外端，所述样品支座的外壁设有第一斜面和第二斜面，第一斜面和第二斜面分别位于所述竖向凹槽的两侧，所述第一斜面和第二斜面的上沿分别延伸至所述竖向凹槽的槽口。
[0006]优选的，所述样品台为矩形，所述样品台的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。
[0007]优选的，还包括锁紧螺栓和定位板，所述锁紧螺栓活动穿过所述定位板的中心后，与所述样品台的中心螺纹连接。
[0008]优选的，所述第一斜面与第二斜面的倾角不相同。
[0009]优选的，所述样品台底部设有支柱，所述样品基座上开设有固定孔，所述固定孔与所述支柱一一对应。
[0010]有益效果：与现有技术相比，本技术提供的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，结构合理，可以通过多个样品台同时装载多种样品进行观察，同一样品支座上的竖向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描电子显微镜的观测时间，提高了观测效率。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图；
[0012]图2为图1的俯视图；
[0013]图3为样品支座的结构示意图。
具体实施方式
[0014]为使本领域技术人员更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作详细说明。
[0015]如图1
‑
3中所示，扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括样品基座1及插设于所述样品基座1上的样品台2，沿着所述样品台2边沿插设有多个样品支座3；
[0016]所述样品支座3的内端插入所述样品台2，所述样品支座3的上表面开设有竖向凹槽31，所述竖向凹槽31的一端穿出所述样品支座3的外端，所述样品支座3的外壁设有第一斜面32和第二斜面33，第一斜面32和第二斜面33分别位于所述竖向凹槽31的两侧，所述第一斜面32和第二斜面33的上沿分别延伸至所述竖向凹槽31的槽口。各样品支座上分别装载不同的样品进行观察，同一样品支座上的竖向凹槽的槽底可用于样品平面观察，竖向凹槽的侧壁可用于端面观察，第一斜面和第二斜面可以用于样品的斜面观察。
[0017]本实施例中，所述样品台2为矩形，所述样品台2的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座3为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。样品支座和样品台滑动配合，使得样品更换方便、快捷。
[0018]本实施例中，还包括锁紧螺栓4和定位板5，所述锁紧螺栓4活动穿过所述定位板5的中心后，与所述样品台2的中心螺纹连接。通过旋紧锁紧螺栓，将定位板与各样品支座压紧，从而将样品支座与样品固定。
[0019]本实施例中，所述第一斜面32与第二斜面33的倾角不相同。可以从不同的倾斜角度进行样品斜面形貌观察，优选的，第一斜面的倾角范围为55
°‑
65
°
，第二斜台面的倾角范围为25
°‑
35
°
。
[0020]本实施例中，所述样品台2底部设有支柱6，所述样品基座1上开设有固定孔7，所述固定孔7与所述支柱6一一对应。可以实现样品台的有效固定，防止样品在测试过程中发生漂移，优选的，固定孔有5～11个，其中一个所述固定孔位于样品基座的中心，剩余固定孔围绕该中心固定孔均匀分布，支柱与固定孔一一对应。
[0021]最后需要说明，上述描述仅为本技术的优选实施例，本领域的技术人员在本技术的启示下，在不违背本技术宗旨及权利要求的前提下，可以做出多种类似的表示，这样的变换均落入本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：包括样品基座(1)及插设于所述样品基座(1)上的样品台(2)，沿着所述样品台(2)边沿插设有多个样品支座(3)；所述样品支座(3)的内端插入所述样品台(2)，所述样品支座(3)的上表面开设有竖向凹槽(31)，所述竖向凹槽(31)的一端穿出所述样品支座(3)的外端，所述样品支座(3)的外壁设有第一斜面(32)和第二斜面(33)，第一斜面(32)和第二斜面(33)分别位于所述竖向凹槽(31)的两侧，所述第一斜面(32)和第二斜面(33)的上沿分别延伸至所述竖向凹槽(31)的槽口。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述样品台(2)为矩形...
【专利技术属性】
技术研发人员：何文杰，
申请(专利权)人：方达医药技术苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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