一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术属于扫描电镜用样品台领域，具体是一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，包括主台、样品杆、角度调节台、高低移动杆、万向球头、螺栓、螺母，主台与样品杆通过螺纹孔Ⅰ连接在一起，样品置放于样品杆样品槽内，通过旋转一字凹槽调整样品杆上表面至同一高度，角度调节台与主台通过安装孔Ⅰ用螺栓和螺母连接在一起，高低移动杆通过螺纹与主台连接，通过球头安装孔与万向球头相连，万向球头另一端安装在角度调节台的滑动凹槽内。本实用新型专利技术结构新颖，设计合理，简单快捷地实现了多角度观察镀膜样品断面，提高了科研效率，是扫描电镜样品台方面的创新。扫描电镜样品台方面的创新。扫描电镜样品台方面的创新。

【技术实现步骤摘要】
一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台


[0001]本技术属于扫描电镜用样品台
，特别涉及一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜（扫描电镜）是一种新型的精密电子仪器，其工作原理是扫描电子显微镜电子枪发射出的电子束加速和汇聚后，形成一束极细的高能电子束，其轰击在样品表面后会激发出一系列的光电信号，之后利用各种信号探测器对信号进行收集，进而显示出扫描图像。由于其具有放大倍数变化范围大且连续可调、景深深、分辨率高、成像立体感强、样品制备方便等优点，所以被广泛的应用于生命科学、地球科学、材料科学、生物、化学、医学等领域的研究中。
[0003]样品台是扫描电子显微镜的重要部件之一，用以承载样品，并通过电子扫描系统成像来表征样品的局部特征。
[0004]在科研和生产过程中，技术人员普遍遇到了下列问题：
[0005]1）观察硅片镀膜样品的断面时，样品通常是靠导电胶粘贴在样品台的侧面，无法保证电子束垂直的轰击在样品的断面处，样品在测试的过程中也容易脱落，影响测试结果；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台，包括主台（1）、样品杆（2）、角度调节台（3）、高低移动杆（4）、万向球头（5）、螺栓（6）和螺母（7），其特征在于：所述的主台（1）呈圆柱形，主台（1）设有螺纹孔Ⅰ（1
‑
1）、螺纹孔Ⅱ（1
‑
2）和凸台（1
‑
3），所述的螺纹孔Ⅰ（1
‑
1）位于主台（1）左半部且均匀分布，所述的螺纹孔Ⅱ（1
‑
2）位于主台（1）的右半部，所述的凸台（1
‑
3）位于主台（1）的右半部边缘位置，凸台（1
‑
3）上设有安装孔Ⅰ（1
‑3‑
1）；所述的样品杆（2）外部设有全螺纹，样品杆（2）上端设有样品槽（2
‑
1）、下端设有一字凹槽Ⅰ（2
‑
2）；所述的角度调节台（3）为半圆形，角度调节台（3）设有耳片（3
‑
1）和滑动凹槽（3
‑
2），所述的耳片（3
‑
1）上设有安装孔Ⅱ（3
‑1‑
1）；所述的高低移动杆（4）外部设有全螺纹，高低移动杆（4）上端设有球头安装孔（4
‑
1）、下端设有一字凹槽Ⅱ（4
‑
2），所述的球头安装孔（4
‑
1）设有内螺纹；所述的万向球头（5）包括连接螺杆（5
‑
1）、旋转装置（5
‑
2）和支撑杆（5
‑
3）；所述的螺栓（6）包括螺栓头部（6
‑
1）、光杆部（6
‑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志民，邵普，曹凤阳，朱昊，汪新凯，刘浩彬，陈加福，付建伟，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：新型
国别省市：