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一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台制造技术
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下载一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台的技术资料
文档序号:36362912
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本实用新型属于扫描电镜用样品台领域,具体是一种便于观察硅片镀膜断面形貌的扫描电镜样品台,包括主台、样品杆、角度调节台、高低移动杆、万向球头、螺栓、螺母,主台与样品杆通过螺纹孔Ⅰ连接在一起,样品置放于样品杆样品槽内,通过旋转一字凹槽调整样品杆...
该专利属于郑州大学所有,仅供学习研究参考,未经过郑州大学授权不得商用。
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