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本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，属于半导体芯片制造技术领域；包括基台，所述基台的一侧两个基座，两个基座之间通过转轴安装有样品夹，所述样品夹包括由导电材料制成的下夹持片和上夹持片，所述上夹持片的上表面靠近端部位置通过转轴安装有具有导性能的...
该专利属于华慧科锐（天津）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华慧科锐（天津）科技有限公司授权不得商用。

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