一种扫描电镜块状样品台制造技术

本实用新型专利技术属于扫描电镜样品台技术领域，尤其是一种扫描电镜块状样品台，针对现有的扫描电镜样块状样品台对于一些形状不规则、磁性块体、不导电材料实用性低的问题，现提出如下方案，其包括样品台底座、凹形圆台和圆形格栅片，所述凹形圆台固定安装在样品台底座的顶部，所述圆形格栅片位于所述凹形圆台的上方，所述凹形圆台顶部开设有两个对称设置的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺钉，螺钉与圆形格栅片相互配合，所述样品台底座与凹形圆台材质为铝合金材质，所述圆形格栅片的材质为铝基或者铜基合金，且圆形格栅片直径与凹形圆台直径相同。本实用新型专利技术的样品制备简单方便，不需要对样品进行特殊处理，样品可以回收再利用。样品可以回收再利用。样品可以回收再利用。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜块状样品台


[0001]本技术涉及扫描电镜样品台
，尤其涉及一种扫描电镜块状样品台。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜是一种精密测试仪器，它通过电子枪发射出稳定和可调的电子束轰击样品表面，从而激发出各种信号，并通过不同的探测装置对信号进行收集和处理，用来表征样品信息。扫描电子显微镜所涉及包含生物、医药、矿物、材料、基础物理和化学等众多领域。
[0003]现有的扫描电镜样块状样品台，一般采用夹具从块状样品的侧面固定，对于一些形状不规则、磁性块体、不导电材料实用性有待提高。例如，块体样品一般形状不规则，切割或抛磨出平整侧面相对麻烦。用螺钉直接固定不太方便，且其接触面积较小，一般采用导电胶粘在样品侧面，再用螺钉固定。但导电胶在真空中会变形，导致与样品之间剥离，增加接触电阻；磁性块体，若仅靠侧面和底面固定，依然存在被吸附到电镜极靴上的危险情况；导电性能较差的块体仅依靠侧面和底部并不能很好的转移电子，需要在观测表面粘导电胶带以增加接触面，提高导电性。但是导电胶带可能会污染样品，不利于样品回收进行后续测试。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有的扫描电镜样块状样品台对于一些形状不规则、磁性块体、不导电材料实用性低的缺点，而提出的一种扫描电镜块状样品台。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种扫描电镜块状样品台，包括样品台底座、凹形圆台和圆形格栅片，所述凹形圆台固定安装在样品台底座的顶部，所述圆形格栅片位于所述凹形圆台的上方，所述凹形圆台顶部开设有两个对称设置的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺钉，螺钉与圆形格栅片相互配合。
[0007]优选的，所述样品台底座与凹形圆台材质为铝合金材质。
[0008]优选的，所述圆形格栅片的材质为铝基或者铜基合金，且圆形格栅片直径与凹形圆台直径相同。
[0009]优选的，所述凹形圆台外径为20mm，内径为15mm，圆形格栅片外圆直径与凹形圆台的外径一致，圆形格栅片内径尺寸与凹形圆台内径尺寸一致。
[0010]优选的，所述圆形格栅片为圆形薄片状，其厚度为0.5
‑
1mm。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0012]本技术的样品制备简单方便，不需要对样品进行特殊处理，样品可以回收再利用。
附图说明
[0013]图1为本技术提出的一种扫描电镜块状样品台的结构示意图；
[0014]图2为本技术提出的一种扫描电镜块状样品台的俯视结构示意图；
[0015]图3为本技术提出的一种扫描电镜块状样品台的仰视结构示意图。
[0016]图中：1、样品台底座；2、凹形圆台；3、圆形格栅片；4、螺钉。
具体实施方式
[0017]下面将结合本实施例中的附图，对本实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0018]实施例一
[0019]参照图1
‑
3，一种扫描电镜块状样品台，包括样品台底座1、凹形圆台2和圆形格栅片3，凹形圆台2固定安装在样品台底座1的顶部，圆形格栅片3位于凹形圆台2的上方，凹形圆台2顶部开设有两个对称设置的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺钉4，螺钉4与圆形格栅片3相互配合。
[0020]本实施例中，凹形圆台2内部不仅仅局限于圆形，也可以是方形，可依据与块体样品的实际形状要求选择合适的形状，在下述方案中，仅以圆形凹槽为例。
[0021]本实施例中，凹形圆台2外径为20mm，内径为15mm，圆形格栅片3外圆直径与凹形圆台2的外径一致，圆形格栅片3内径尺寸与凹形圆台2内径尺寸一致。
[0022]本实施例中，圆形格栅片3中心镂空处的图案并不单一，可以是规则的格子状、十字状、扇形状或者完全镂空。
[0023]本实施例中，圆形格栅片3由铜材料制成，圆形格栅片3为圆形薄片状，其厚度为0.5
‑
1mm，圆形格栅片3具有一定的硬度，不易变形。
[0024]工作原理，样品不需要特殊处理，用螺钉固定的圆形格栅能将块体紧紧压实在凹形圆台2内部，适用多种不同类型的块体，由于块体被固定在凹形圆台2的内部和圆形格栅3之间，即使是磁性较强的块体也可以放入扫描电镜中测试，在扫描电镜电子束扫描样品时，磁性块体不会被吸附扫描电镜镜筒的极靴上，由于块体被紧密固定在凹形圆台2的内部和圆形格栅3片之间，块体的上部与圆形格栅片3紧密连接，块体下部与凹形圆台2底部连接从而减少了块体的接触电阻，增加样品的导电能力，尤其对导电性不好的材料增益最大，圆形格栅片3采用铜材料制成，铜作为金属具有较好的导热性能，由铜材料制成的圆形格栅片3能导走热量，对于一些不耐受扫描电镜电子束轰击，出现辐射损伤的块体尤为适用。
[0025]实施例二
[0026]参照图1
‑
3，一种扫描电镜块状样品台，包括样品台底座1、凹形圆台2和圆形格栅片3，凹形圆台2固定安装在样品台底座1的顶部，圆形格栅片3位于凹形圆台2的上方，凹形圆台2顶部开设有两个对称设置的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺钉4，螺钉4与圆形格栅片3相互配合。
[0027]本实施例中，凹形圆台2内部不仅仅局限于圆形，也可以是方形，可依据与块体样品的实际形状要求选择合适的形状，在下述方案中，仅以圆形凹槽为例。
[0028]本实施例中，凹形圆台2外径为20mm，内径为15mm，圆形格栅片3外圆直径与凹形圆台2的外径一致，圆形格栅片3内径尺寸与凹形圆台2内径尺寸一致。
[0029]本实施例中，圆形格栅片3中心镂空处的图案并不单一，可以是规则的格子状、十字状、扇形状或者完全镂空。
[0030]本实施例中，圆形格栅片3由铜材料制成，圆形格栅片3为圆形薄片状，其厚度为0.5
‑
1mm，圆形格栅片3具有一定的硬度，不易变形。
[0031]工作原理，使用前，预先将凹形圆台2用酒精擦拭或者超声干净。依据凹形圆台2能容纳的尺寸预先处理好样品，扫描电镜的凹形圆台2的凹槽底部可预先贴上碳导电胶带，将样品的待测面朝上放置在凹形圆台2的凹形槽内。之后，将圆形格栅片3置于凹形圆台2上方，通过螺钉4将块状样品紧密固定在凹槽与圆形格栅片3之间，并确保圆形格栅片3与块状样品相接触，以增加其导电性能。
[0032]以上所述，仅为本实施例较佳的具体实施方式，但本实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本实施例揭露的技术范围内，根据本实施例的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实施例的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜块状样品台，包括样品台底座(1)、凹形圆台(2)和圆形格栅片(3)，其特征在于，所述凹形圆台(2)固定安装在样品台底座(1)的顶部，所述圆形格栅片(3)位于所述凹形圆台(2)的上方，所述凹形圆台(2)顶部开设有两个对称设置的螺纹孔，螺纹孔内螺纹连接有螺钉(4)，螺钉(4)与圆形格栅片(3)相互配合。2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜块状样品台，其特征在于，所述样品台底座(1)与凹形圆台(2)材质为铝合金材质。3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜块状样品台，...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱欣欣，党娟，程雅琳，王欢欢，徐艳丽，许明哲，刘坤洋，聂孟威，
申请(专利权)人：开封时代新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：