物品搬运装置制造方法及图纸

物品搬运装置(1)具备移动体(2)、罩部(3)、移载机构(4)、控制部(5)，移载机构具备保持部(10)、回转部、升降部，前述保持部的状态能够改变成保持物品的保持状态和将物品的保持解除的解除状态，前述回转部使保持部绕沿着上下方向的回转轴心回转，前述升降部使保持部在容纳区域中的内部位置和容纳区域外的外部位置之间升降移动，控制部在保养模式下，在从操作终端接收到移载机构的动作指令的情况下，判定升降高度是否为干涉高度范围内，在升降高度为干涉高度范围外的高度的情况下，根据动作指令执行移载机构的动作，在升降高度为干涉高度范围内的情况下，禁止根据动作指令的移载机构的动作中的回转部进行的保持部的回转动作。作中的回转部进行的保持部的回转动作。作中的回转部进行的保持部的回转动作。

【技术实现步骤摘要】
物品搬运装置


[0001]本专利技术涉及搬运物品的物品搬运装置。

技术介绍

[0002]例如国际公开第2019/035286号(专利文献1)中公开了搬运系统。以下，该
技术介绍
的说明中，将专利文献1中的名称及附图标记在括号内引用。
[0003]该搬运系统(SYS)具有物品搬运装置(顶棚搬运车10)，前述物品搬运装置(顶棚搬运车10)具备移动体(行进部11)、罩部(主体部12)、移载机构(移载部13)、控制部(14)。移动体(行进部11)沿轨道行进，罩部(主体部12)被安装于移动体(行进部11)，构成为能够容纳物品(M)。移载机构(移载部13)具有保持物品(M)的保持部(15)、使保持部(15)绕旋转轴(AX)的轴旋转的回转部(旋转机构19)、使保持部(15)及回转部(旋转机构19)相对于罩部(主体部12)移动的移动部(移动机构16)，控制部(14)控制移动体(行进部11)及移载机构(移载部13)的各部分的动作。物品搬运装置(顶棚搬运车10)在被保持部(15)保持的物品(M)处于从罩部(主体部12)离开的脱离位置时允许进行的回转部(旋转机构19)的旋转，防止物品(M)与罩部(主体部12)的内壁(23a)接触。
[0004]这里，进行物品搬运装置的保养检修的情况下、发生物品搬运装置的故障的情况下等，有根据来自作业者操作的操作终端的动作指令使物品搬运装置动作的情况。此外，在罩部，也有在面向容纳物体的容纳区域的内表面设置有向该容纳区域侧突出的突出部的情况。这样的情况下，例如保持部被容纳于被罩部覆盖的容纳区域的状态下，使移载机构根据过渡成既定的姿势的动作指令动作时，根据该动作指令存在的时刻的保持部的回转角度，有保持部与突出部干涉(接触)的可能性。

技术实现思路

[0005]因此，希望实现能够避免保持部和突出部的干涉且使移载机构适当地动作的物品搬运装置。
[0006]鉴于上述内容的物品搬运装置的技术方案为，一种搬运物品的物品搬运装置，其特征在于，具备移动体、罩部、移载机构、控制部，前述移动体为了前述物品的搬运而移动，前述罩部被支承于前述移动体，覆盖容纳搬运中的前述物品的容纳区域的侧周的至少一部分，前述移载机构进行前述物品的保持、与移载对象部位之间的前述物品的移载，前述控制部控制前述移动体及前述移载机构，前述移载机构具备保持部、回转部、升降部，前述保持部被支承于前述移动体，状态能够改变成保持前述物品的保持状态和解除前述物品的保持的解除状态，前述回转部使前述保持部绕沿着上下方向的回转轴心回转，前述升降部使前述保持部在前述容纳区域中的内部位置和前述容纳区域外的外部位置之间升降移动，前述罩部具备面向前述容纳区域的内表面构造，前述内表面构造包括突出部，前述突出部形成为在上下方向上的特定部位向前述容纳区域侧突出，前述移载机构在前述保持部由前述升降部实现的升降高度为规定的干涉高度范围内的情况下，有借助前述回转部使前述保持部
回转从而与前述突出部干涉的情况，在前述保持部由前述升降部实现的升降高度为前述干涉高度范围外的高度的情况下，即使借助前述回转部使前述保持部回转也不与前述内表面构造干涉，前述控制部能够执行根据来自由作业者操作的操作终端的指令使前述移载机构动作的保养模式，前述控制部在前述保养模式下，在从前述操作终端接收到前述移载机构的动作指令的情况下，判定前述升降高度是否为前述干涉高度范围内，在前述升降高度为前述干涉高度范围外的高度的情况下，根据前述动作指令执行前述移载机构的动作，在前述升降高度为前述干涉高度范围内的情况下，禁止根据前述动作指令的前述移载机构的动作中的前述回转部进行的前述保持部的回转动作。
[0007]根据该技术方案，即使是保养模式下作业者发出了错误的移载机构的动作指令的情况，在有由于进行保持部的回转动作而保持部与突出部干涉的可能性的情况下也能够不进行保持部的回转动作，并且在除此以外的情况下能够使移载机构进行根据动作指令的动作。由此，能够避免保持部和突出部的干涉，且适当地进行与动作指令对应的移载机构的动作。
[0008]有关本申请的技术的更多的特征和优点，根据参照附图描述的以下的例示性且非限定性的实施方式的说明，会变得更明确。
附图说明
[0009]图1是表示物品搬运装置的利用形态的图。
[0010]图2是物品搬运装置的侧视图。
[0011]图3是表示干涉高度范围的图。
[0012]图4是表示容纳于容纳区域的物品的状态的图。
[0013]图5是控制部进行的移载机构的控制的控制框图。
[0014]图6是表示控制部进行的移载机构的控制的流程的流程图。
[0015]图7是表示干涉的情况的通知例的图。
具体实施方式
[0016]1.物品搬运装置的实施方式参照附图，关于物品搬运装置的实施方式进行说明。如图1所示，物品搬运装置1例如设置于工厂、车间内的多个搬运对象场所90之间，构成为能够沿移动路径R移动来搬运物品W，搬运物品W时能够改变该物品W的姿势。
[0017]以下，将物品搬运装置1沿着移动路径R行进的方向设为“进行方向X”、将俯视时与进行方向X正交的方向设为“宽度方向Y”来说明。此外，将与进行方向X及宽度方向Y的双方正交的方向设为“铅垂方向Z”来说明。这里，将进行方向X的前方侧设为“前侧X1”、后方侧设为“后侧X2”来说明。此外，将朝向进行方向X的前侧X1的状态作为基准来定义左右，具体地，朝向进行方向X的前侧X1，将宽度方向Y上的左侧设为“左侧Y1”、将右侧设为“右侧Y2”来说明。
[0018]物品W相当于被物品搬运装置1搬运的搬运对象物。在本实施方式中，物品W是收纳半导体基板的容器，形成为长方体状，构成为能够将多个半导体基板分在多层来收纳。物品W的上表面及底面呈被封堵的状态，特别地，在上表面设置物品W的搬运时被物品搬运装置1
把持的凸缘部W1(参照图2)。此外，在物品W的四个侧面中的一面设置用于将半导体基板装入和取出的开口部。物品W的余下的三个侧面呈被封堵的状态。
[0019]搬运对象场所90为作为物品W的搬运源、物品W的搬运目的地的场所。如图1所示，搬运对象场所90被沿移动路径R设置于多个部位。在搬运对象场所90，例如进行物品W的处理。搬运对象场所90包括进行相对于半导体基板的处理的处理装置90a、用于在搬运对象场所90和物品搬运装置1之间交接物品W的交接部90b。交接部90b是所谓的装载端口。收纳于在交接部90b被接收的物品W的半导体基板被处理装置90a具备的取出装置等取出时，在处理装置90a处，例如进行基板洗涤、烘焙、抗蚀剂的涂覆、剥离等处理。
[0020]移动路径R是指物品搬运装置1移动的路径。在本实施方式中，移动路径R被从利用物品搬运装置1的建筑物的顶棚悬挂支承的轨道99(参照图2)规定。因此，在本实施方式中，物品搬运装置1构成为所谓顶棚搬运车。
[0021]图2是物品搬运装置1搬运物品W的状态的侧视图。如图2所示，物品搬运装置1具备移动体2、罩部3、移载机构4、控制部5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物品搬运装置，是搬运物品的物品搬运装置，其特征在于，具备移动体、罩部、移载机构、控制部，前述移动体为了前述物品的搬运而移动，前述罩部被支承于前述移动体，覆盖容纳搬运中的前述物品的容纳区域的侧周的至少一部分，前述移载机构进行前述物品的保持、前述移载机构与移载对象部位之间的前述物品的移载，前述控制部控制前述移动体及前述移载机构，前述移载机构具备保持部、回转部、升降部，前述保持部被支承于前述移动体，状态能够改变成保持前述物品的保持状态和解除前述物品的保持的解除状态，前述回转部使前述保持部绕沿着上下方向的回转轴心回转，前述升降部使前述保持部在前述容纳区域中的内部位置和前述容纳区域外的外部位置之间升降移动，前述罩部具备面向前述容纳区域的内表面构造，前述内表面构造包括突出部，前述突出部形成为在上下方向上的特定部位向前述容纳区域侧突出，前述移载机构在前述保持部由前述升降部实现的升降高度为规定的干涉高度范围内的情况下，有借助前述回转部使前述保持部回转从而与前述突出部干涉的情况，在前述保持部由前述升降部实现的升降高度为前述干涉高度范围外的高度的情况下，即使借助前述回转部使前述保持部回转也不与前述内表面构造干涉，前述控制部能够执行根据来自由作业者操作的操作终端的指令使前述移载机构动作的保养模式，前述控制部在前述保养模式下，在从前述操作终端接收到前述移载机构的动作指令的情况下，判定前述升...

【专利技术属性】
技术研发人员：安部健史，岸辽司，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：