【技术实现步骤摘要】
多物料自动化上料设备
[0001]本申请属于自动化上料设备
,更具体地说,是涉及一种多物料自动化上料设备。
技术介绍
[0002]现有的半导体加工设备通常是由单个供料机构供给一种物料上料,供料机构上料方式单一,多为升降加推料形式,需要采用多个直线传输机构依次呈直线排列,以便布置加工机构和对应的供料机构,整个生产线长度较长。这种半导体加工设备中供料机构分散,料仓供料部分与料仓回收部分及料仓定位部分的气缸多、动作多,单个供料机构无法兼容多款物料同时上料,工作效率较低,整个生产线长度较长,位置易发生偏离,影响精度。
技术实现思路
[0003]本申请实施例的目的在于提供一种多物料自动化上料设备,以解决现有技术中存在的半导体加工设备中供料机构分散,单个供料机构无法兼容多款物料同时上料,工作效率较低的技术问题。
[0004]为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:提供一种多物料自动化上料设备,包括:
[0005]机台;
[0006]第一上料装置,用于供应托盘,所述第一上料装置安装于所述机台上;
[0007]传输平台,用于沿X轴方向传输所述托盘,所述传输平台安装于所述机台上;
[0008]第二上料装置,用于传输承载第一物料的第一料架,并将所述第一料架中的所述第一物料输出,所述第二上料装置安装于所述机台上;
[0009]第三上料装置,用于传输承载第二物料的第二料架,并将所述第二料架中的所述第二物料输出,所述第三上料装置安装于所述机台上;以及,
[0010]放料 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种多物料自动化上料设备,其特征在于,包括:机台(10);第一上料装置(20),用于供应托盘(70),所述第一上料装置(20)安装于所述机台(10)上;传输平台(30),用于沿X轴方向传输所述托盘(70),所述传输平台(30)安装于所述机台(10)上;第二上料装置(40),用于传输承载第一物料(72)的第一料架(71),并将所述第一料架(71)中的所述第一物料(72)输出,所述第二上料装置(40)安装于所述机台(10)上;第三上料装置(50),用于传输承载第二物料的第二料架,并将所述第二料架中的所述第二物料输出,所述第三上料装置(50)安装于所述机台(10)上;以及,放料装置(60),用于将所述第一物料(72)和所述第二物料装入所述传输平台(30)上的所述托盘(70)中,所述放料装置(60)安装于所述机台(10)上。2.如权利要求1所述的多物料自动化上料设备,其特征在于,所述放料装置(60)包括用于取放所述第一物料(72)与所述第二物料的取料机构(61)、支撑所述取料机构(61)的第一支座(62)、用于驱动所述第一支座(62)沿X轴方向移动的第一驱动机构(63)、支撑所述第一驱动机构(63)的第二支座(64)、用于驱动所述第二支座(64)沿Y轴方向移动的第二驱动机构(65)和支撑所述第二驱动机构(65)的第一基架(66),所述第一支座(62)与所述第二支座(64)滑动连接,所述第二支座(64)与所述第一基架(66)滑动连接,所述第一基架(66)与所述机台(10)相连,所述第一驱动机构(63)的动力输出端与所述第一支座(62)相连,所述第二驱动机构(65)的动力输出端与所述第二支座(64)相连。3.如权利要求2所述的多物料自动化上料设备,其特征在于,所述第二驱动机构(65)的数量为两个,两个所述第二驱动机构(65)分别横跨所述传输平台(30)的两端,所述第二支座(64)的两端分别与相应所述第二驱动机构(65)相连。4.如权利要求1所述的多物料自动化上料设备,其特征在于,所述传输平台(30)的数量为多个,所述第一上料装置(20)和多个所述传输平台(30)沿X轴方向依次排列,各所述传输平台(30)的上方安装有所述放料装置(60);所述第三上料装置(50)与所述第一上料装置(20)并列设置,各所述传输平台(30)靠近所述第三上料装置(50)的一侧均安装有至少一个所述第二上料装置(40),各所述第二上料装置(40)并列设置。5.如权利要求1至4任一项所述的多物料自动化上料设备,其特征在于,所述第一上料装置(20)包括:第二基架(21),与所述机台(10)相连;存盘仓(22),用于存放多层所述托盘(70),所述存盘仓(22)安装于所述第二基架(21)上;释放机构(23),用于支撑和释放所述存盘仓(22)中的托盘(70),所述释放机构(23)安装于所述第二基架(21)上;取盘机构(24),用于承托所述存盘仓(22)底部释放的所述托盘(70)升降,所述取盘机构(24)安装于所述第二基架(21)上;以及,传输机构(25),用于在所述取盘机构(24)下降时承托并沿X轴放行传输所述取盘机构(24)释放的所述托盘(70),所述传输机构(25)安装于所述第二基架(21)上,且所述传输机
构(25)位于所述存盘仓(22)的下方。6.如权利要求5所述的多物料自动化上料设备,其特征在于,所述第二基架(21)包括支撑台(211)、...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘伟,钟志君,李猛,
申请(专利权)人:深圳新益昌科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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