【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体生产设备，更具体地说，是涉及一种摆臂机构及固晶设备。
技术介绍
1、固晶设备是半导体封装工序必备的关键生产设备之一，其主要作用是将芯片(晶圆)与封装基板之间的电连接点(焊点)牢固连接，以实现电气连接和物理支持。而摆臂机构是固晶设备的重要组成部分，其用于在固晶过程中完成取放晶的动作。
2、现有固晶设备的摆臂机构，通常是通过伺服电机控制摆臂整体旋转，再由另外一个伺服电机控制摆臂上下运动进行取晶和固晶，摆臂的运动惯量较大，影响固晶效率。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种摆臂机构及固晶设备，以解决现有技术中存在的摆臂的运动惯量较大，固晶效率较低的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：
3、第一方面提供一种摆臂机构，包括：
4、安装座；
5、摆臂，所述摆臂绕第一方向可转动地连接于所述安装座；
6、转动装置，所述转动装置安装于所述安装座，所述转动装置用于驱动所述安装座绕第二方向转动；
7、摆动装置，所述摆动装置用于驱动所述摆臂绕所述第一方向摆动。
8、在第一方面的其中一个实施例中，所述摆臂与所述安装座之间设有弹性结构，所述弹性结构用于使所述摆臂与所述安装座弹性连接。
9、在第一方面的其中一个实施例中，所述弹性结构包括第一弹片，所述第一弹片的两端分别连接于所述摆臂和所述安装座。
10、在第一方面的其中一个实施例中，所述弹性结构还
11、在第一方面的其中一个实施例中，设所述摆臂远离所述安装座的一端为固晶端位；所述摆臂机构包括翘起组件，所述翘起组件与所述摆臂靠近所述安装座的一端连接，所述翘起组件用于使所述摆臂的所述固晶端位翘起。
12、在第一方面的其中一个实施例中，设所述摆臂与所述安装座转动连接处为支点位；所述翘起组件包括弹性件，所述弹性件的一端与所述安装座抵接，所述弹性件的另一端与所述摆臂抵接，且所述弹性件与所述摆臂抵接的位置位于所述支点位远离所述固晶端位的一侧以及位于所述固晶端位翘起方向的同一侧上。
13、在第一方面的其中一个实施例中，所述翘起组件还包括保持件，所述弹性件为压簧，所述压簧套设于所述保持件。
14、在第一方面的其中一个实施例中，设所述摆臂远离所述安装座的一端为固晶端位，设所述摆臂与所述安装座转动连接处为支点位；
15、所述摆动装置包括第一驱动电机，所述第一驱动电机具有输出端，所述输出端以所述支点位为圆心沿所述第一方向转动，所述输出端与所述摆臂固定连接，且所述输出端连接在所述支点位远离所述固晶端位的一侧。
16、第二方面提供一种固晶设备，包括本申请提供的所述摆臂机构。
17、本申请第一方面提供的摆臂机构，通过转动装置驱动摆臂沿第二方向转动，使摆臂的端部到达固晶位置，再通过摆动装置驱动摆臂沿第一方向摆动，从而使得摆臂的端部只需小幅度翘起即可完成取固晶的动作，取代现有采用伺服电机控制摆臂上下运动进行取晶和固晶，能够大大降低摆臂的运动惯量，提升固晶效率。
18、本申请第二方面提供的固晶设备，采用了本申请提供的摆臂机构，使摆臂的端部能够以小幅度翘起的方向完成取固晶的动作，能够大大降低摆臂的运动惯量，提高固晶效率。
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1.一种摆臂机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的摆臂机构，其特征在于，所述摆臂与所述安装座之间设有弹性结构，所述弹性结构用于使所述摆臂与所述安装座弹性连接。
3.如权利要求2所述的摆臂机构，其特征在于，所述弹性结构包括第一弹片，所述第一弹片的两端分别连接于所述摆臂和所述安装座。
4.如权利要求3所述的摆臂机构，其特征在于，所述弹性结构还包括第二弹片，所述第二弹片的两端分别连接于所述摆臂和所述安装座，所述第二弹片与所述第一弹片相互垂直设置。
5.如权利要求1-4任一项所述的摆臂机构，其特征在于，设所述摆臂远离所述安装座的一端为固晶端位；所述摆臂机构包括翘起组件，所述翘起组件与所述摆臂靠近所述安装座的一端连接，所述翘起组件用于使所述摆臂的所述固晶端位翘起。
6.如权利要求5所述的摆臂机构，其特征在于，设所述摆臂与所述安装座转动连接处为支点位；所述翘起组件包括弹性件，所述弹性件的一端与所述安装座抵接，所述弹性件的另一端与所述摆臂抵接，且所述弹性件与所述摆臂抵接的位置位于所述支点位远离所述固晶端位的一侧以及位于所述固
7.如权利要求6所述的摆臂机构，其特征在于，所述翘起组件还包括保持件，所述弹性件为压簧，所述压簧套设于所述保持件。
8.如权利要求1-4、6-7任一项所述的摆臂机构，其特征在于，设所述摆臂远离所述安装座的一端为固晶端位，设所述摆臂与所述安装座转动连接处为支点位；
9.如权利要求8所述的摆臂机构，其特征在于，所述第一驱动电机为音圈电机。
10.一种固晶设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的摆臂机构。
...【技术特征摘要】
1.一种摆臂机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的摆臂机构，其特征在于，所述摆臂与所述安装座之间设有弹性结构，所述弹性结构用于使所述摆臂与所述安装座弹性连接。
3.如权利要求2所述的摆臂机构，其特征在于，所述弹性结构包括第一弹片，所述第一弹片的两端分别连接于所述摆臂和所述安装座。
4.如权利要求3所述的摆臂机构，其特征在于，所述弹性结构还包括第二弹片，所述第二弹片的两端分别连接于所述摆臂和所述安装座，所述第二弹片与所述第一弹片相互垂直设置。
5.如权利要求1-4任一项所述的摆臂机构，其特征在于，设所述摆臂远离所述安装座的一端为固晶端位；所述摆臂机构包括翘起组件，所述翘起组件与所述摆臂靠近所述安装座的一端连接，所述翘起组件用于使所述摆臂的所述固晶端位翘起。
6.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡新平，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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